本實用新型涉及一種掃描電鏡EBSD樣品臺,屬于多功能掃描電鏡測量領域。

背景技術：

近年來，裝配在掃描電子顯微鏡（SEM）上的電子背散射衍射花樣（Electron Back-scattering Patterns，簡稱EBSP）晶體微區(qū)取向和晶體結(jié)構(gòu)的分析技術取得了較大發(fā)展，該技術也被稱為電子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，簡稱EBSD）或取向成像顯微技術（Orientation Imaging Microscopy，簡稱OIM）等等，成為研究材料形變、回復和再結(jié)晶過程的有效手段。

EBSD技術是目前材料微觀組織研究領域常用的表征手段，測試表征時需要樣表征面與水平面的夾角為70°。目前商用的EBSD樣品臺功能單一，一般一次只能裝載一個樣品進行測試，樣品的高度無法調(diào)節(jié)，對樣品的厚度有限制，且測試效率低，極大的限制了材料微觀表征的效果。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是針對以上不足之處，提供了一種掃描電鏡EBSD樣品臺。

本實用新型解決技術問題所采用的方案是，一種掃描電鏡EBSD樣品臺，包括樣品臺主體，所述樣品臺主體前側(cè)面設置有若干個相互獨立的放置空腔，所述放置空腔內(nèi)設置有載物臺，所述樣品臺主體后側(cè)設置有螺絲，每個放置空腔底面中部設置有貫穿樣品臺主體的螺孔，螺絲前端貫穿螺孔后伸入放置空腔內(nèi)并抵靠載物臺后側(cè)面，螺絲與螺孔螺紋配合，所述樣品臺主體下方設置有折桿，所述折桿包括豎直桿，豎直桿下部設置有插接柱，豎直桿上部設置有斜桿，斜桿與豎直面的夾角為70度，樣品臺主體安裝在斜桿與上，樣品臺主體下側(cè)面與斜桿平行，樣品臺主體前側(cè)面、載物臺前側(cè)面與斜桿垂直。

進一步的，所述樣品臺主體為長方體。

進一步的，所述載物臺呈臺階狀，載物臺后部周側(cè)向外突出由凸部。

進一步的，所述放置空腔前部設置有用以擋住凸部的限位部。

進一步的，所述載物臺與放置空腔側(cè)壁之間的間隙不超過1mm。

進一步的，所述螺絲前端與載物臺轉(zhuǎn)動連接。

進一步的，所述載物臺后側(cè)面中部設置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內(nèi)。

進一步的，所述載物臺前側(cè)面涂覆有導電膠。

進一步的，所述樣品臺主體、載物臺、折桿均與鋁合金材質(zhì)。

進一步的，所述放置空腔不少于3個。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：結(jié)構(gòu)簡單，設計合理，操作方便，適用性廣、針對性強、不易損壞，可實現(xiàn)多個厚度不均樣品同時裝載并能靈活調(diào)整每個樣品高度的功能，適用于不同厚度的樣品調(diào)整高度對齊。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型專利進一步說明。

圖1為該實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為該實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為載物臺與放置空腔的配合結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：

1-樣品臺主體；2-放置空腔；201-限位部；3-載物臺；301-凸部；4-螺絲；5-折桿；501-斜桿；502-豎直桿；503-插接柱。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型進一步說明。

如圖1-3所示，一種掃描電鏡EBSD樣品臺，包括樣品臺主體1，所述樣品臺主體1前側(cè)面設置有若干個相互獨立的放置空腔2，所述放置空腔2內(nèi)設置有載物臺3，所述樣品臺主體1后側(cè)設置有螺絲4，每個放置空腔底面中部設置有貫穿樣品臺主體1的螺孔，螺絲4前端貫穿螺孔后伸入放置空腔2內(nèi)并抵靠載物臺3后側(cè)面，螺絲4與螺孔螺紋配合，所述樣品臺主體1下方設置有折桿5，所述折桿5包括豎直桿502，豎直桿502下部設置有插接柱503，豎直桿502上部設置有斜桿501，斜桿501與豎直面的夾角為70度，樣品臺主體1安裝在斜桿501與上，樣品臺主體1下側(cè)面與斜桿501平行，樣品臺主體1前側(cè)面、載物臺3前側(cè)面與斜桿501垂直。

在本實施例中，所述樣品臺主體1為長方體。

在本實施例中，所述載物臺3呈臺階狀，載物臺3后部周側(cè)向外突出由凸部301。

在本實施例中，所述放置空腔2前部設置有用以擋住凸部301的限位部201。

在本實施例中，所述載物臺3與放置空腔2側(cè)壁之間的間隙不超過1mm。

在本實施例中，所述螺絲4前端與載物臺3轉(zhuǎn)動連接。

在本實施例中，所述載物臺3后側(cè)面中部設置有圓孔，螺釘前端伸入圓孔內(nèi)。

在本實施例中，所述載物臺3前側(cè)面涂覆有導電膠。

在本實施例中，所述樣品臺主體1、載物臺3、折桿5均與鋁合金材質(zhì)，極大地減輕了本身的質(zhì)量，輕巧便利，且鋁合金耐磨，延長了使用壽命。

在本實施例中，所述放置空腔2不少于3個。

本實用新型可適用于多數(shù)不同厚度樣品，以常見的AZ31鎂合金為例：

進行掃描電鏡觀察時，需將各樣品面進行機械打磨得到一個與觀察面平行的打磨面，接著將幾個打磨后的AZ31樣品用導電膠分別膠黏在不同載物臺3上，根據(jù)各樣品的厚度，再旋轉(zhuǎn)下方的螺絲4進行升降載物臺3的操作，使各樣品的觀察面齊平，因為載物臺3與放置空腔2間隙很小，幾乎相重合，所以上下底面總能保持平行，同時，由于載物臺3上設有凸部301，放置空腔2前部設置有用以擋住凸部301的限位部201，限定了螺絲4對臺面的提升極限高度，使得內(nèi)載物臺3不會由于翻轉(zhuǎn)、傾斜而掉落造成損壞、丟失，樣品安置完成后，將該樣品臺下方用于定向70°的折桿5底部的插接柱503插入多功能電鏡內(nèi)的底座孔位，關上艙門，調(diào)整參數(shù)，即可進行測量。

上列較佳實施例，對本實用新型的目的、技術方案和優(yōu)點進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。