本實(shí)用新型涉及一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,屬于掃描電鏡耗材領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡，是一種利用電子束轟擊樣品，收集樣品表面信號從而成像的電子光學(xué)儀器。由于其具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大等特點(diǎn)，現(xiàn)已經(jīng)被廣泛地應(yīng)用于材料、化學(xué)、生物、微電子等多領(lǐng)域的研究和工業(yè)生產(chǎn)。

在掃描電鏡測試過程中，在形貌分析時，要求電子束與觀察的表面垂直，目前商用的掃描電鏡樣品臺功能單一，樣品的高度無法調(diào)節(jié)，對樣品的形狀和厚度有限制，測試效率低，極大的限制了材料微觀表征的效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對以上不足之處，提供了一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺。

本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的方案是，一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，包括外殼、底座、若干載物臺、若干側(cè)方螺釘、若干底部螺釘，所述底座設(shè)置在外殼下方并與外殼相連接以支撐外殼，所述外殼內(nèi)設(shè)設(shè)置有放置槽，所述放置槽內(nèi)間隔設(shè)置有若干載物臺，所述放置槽底部設(shè)置有若干螺孔A，所述外殼前后側(cè)壁設(shè)置有若干螺孔B，所述底部螺釘一端貫穿螺孔A并與載物臺相連接，底部螺釘與螺孔A螺紋連接，載物臺能經(jīng)底部螺釘帶動相對放置槽上下升降，所述側(cè)方螺釘一端貫穿螺孔B并伸入放置槽內(nèi)并位于載物臺正上方，側(cè)方螺釘與螺孔B螺紋連接。

進(jìn)一步的，所述載物臺包括載物板，載物板底面中部設(shè)置有底柱，底部螺釘上端與底柱轉(zhuǎn)動連接。

進(jìn)一步的，所述底柱內(nèi)設(shè)置有圓孔，底部螺釘上端伸入圓孔內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述載物臺前后側(cè)面與槽體前后側(cè)壁之間的縫隙不超過0.5mm。

進(jìn)一步的，所述外殼內(nèi)對稱設(shè)置有兩個放置槽，位于外殼前側(cè)的側(cè)方螺釘伸入前側(cè)的放置槽內(nèi)，位于外殼后側(cè)的側(cè)方螺釘伸入后側(cè)的放置槽內(nèi)。

進(jìn)一步的，每個放置槽內(nèi)間隔設(shè)置5個載物臺。

進(jìn)一步的，所述載物臺上涂覆有導(dǎo)電膠。

進(jìn)一步的，所述外殼、底座、載物臺均為鋁合金材質(zhì)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，操作方便，可放置規(guī)則長方體、不規(guī)則塊狀體和薄片狀樣品，通用性高，一次性最多可放多個樣品，避免了頻繁的放真空、裝樣、抽真空等操作，提高了掃描測試的速率，既提高了掃描質(zhì)量又提升了掃描效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型專利進(jìn)一步說明。

圖1為該實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2為該實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3為該實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖三。

圖中：

1-外殼；2-底座；3-載物臺；4-側(cè)方螺釘；5-底部螺釘；6-放置槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

如圖1-3所示，一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺，包括外殼1、底座2、若干載物臺3、若干側(cè)方螺釘4、若干底部螺釘5，所述底座2設(shè)置在外殼1下方并與外殼1相連接以支撐外殼1，所述外殼1內(nèi)設(shè)設(shè)置有放置槽6，所述放置槽6內(nèi)間隔設(shè)置有若干載物臺3，所述放置槽6底部設(shè)置有若干螺孔A，所述外殼1前后側(cè)壁設(shè)置有若干螺孔B，所述底部螺釘5一端貫穿螺孔A并與載物臺3相連接，底部螺釘5與螺孔A螺紋連接，載物臺3能經(jīng)底部螺釘5帶動相對放置槽6上下升降，所述側(cè)方螺釘4一端貫穿螺孔B并伸入放置槽6內(nèi)并位于載物臺3正上方，側(cè)方螺釘4與螺孔B螺紋連接，使用時先將樣品放置在載物臺3上表面，調(diào)整各個底部螺釘5使格載物臺3是的樣品上表面齊平，最后通過側(cè)方螺釘4將樣品固定在放置槽6內(nèi)，由于載物臺3上的樣品可通過側(cè)方螺釘4固定，此裝置可以替代導(dǎo)電膠的使用，還可通過底部螺釘5控制載物臺3的高度，保證整個樣品臺上的所有樣品高度基本一致。

在本實(shí)施例中，所述載物臺3包括載物板，載物板底面中部設(shè)置有底柱，底部螺釘5上端與底柱轉(zhuǎn)動連接。

在本實(shí)施例中，所述底柱內(nèi)設(shè)置有圓孔，底部螺釘5上端伸入圓孔內(nèi)。

在本實(shí)施例中，所述載物臺3前后側(cè)面與槽體前后側(cè)壁之間的縫隙不超過0.5mm。

在本實(shí)施例中，所述外殼1內(nèi)對稱設(shè)置有兩個放置槽6，位于外殼1前側(cè)的側(cè)方螺釘4伸入前側(cè)的放置槽6內(nèi)，位于外殼1后側(cè)的側(cè)方螺釘4伸入后側(cè)的放置槽6內(nèi)。

在本實(shí)施例中，每個放置槽6內(nèi)間隔設(shè)置5個載物臺3，使用時可批量實(shí)驗(yàn)，簡單易操作。

在本實(shí)施例中，所述載物臺3上涂覆有導(dǎo)電膠。

在本實(shí)施例中，根據(jù)需要可以選擇使用導(dǎo)電膠或是通過側(cè)方螺釘4固定，掃描時不會出現(xiàn)樣品晃動的現(xiàn)象，有效地提高了掃描測試質(zhì)量

在本實(shí)施例中，所述外殼1、底座2、載物臺3均為鋁合金材質(zhì)，極大地減輕了樣品臺本身的質(zhì)量，且在掃描電鏡下導(dǎo)電性良好，使用起來更加輕松，且鋁合金耐磨，延長了樣品臺的使用壽命。

在本實(shí)施例中，可以通過直接手旋底部螺釘5來調(diào)整物體上表面的高度，調(diào)整方式簡單，達(dá)到減少掃描測試誤差的效果。

本實(shí)用新型可適用于規(guī)則長方體、不規(guī)則塊狀體和薄片狀樣品，以常見的AZ31鎂合金為例：

對于規(guī)則長方體樣品，進(jìn)行電鏡掃描時，將樣品放置在載物臺3上，手旋底部螺釘5調(diào)整樣品高度，之后通過旋動側(cè)方螺釘4將物體夾緊即可（或通過導(dǎo)電膠將樣品直接粘在載物臺3上，通過手旋底部螺釘5來調(diào)整樣品高度）。

對于不規(guī)則塊狀體樣品，將樣品用導(dǎo)電膠粘在載物臺3上，通過手旋底部螺釘5來調(diào)整樣品高度。

對于薄片狀樣品，若要掃描其表面，則直接將樣品通過導(dǎo)電膠粘在載物臺3上，手旋底部螺釘5調(diào)整高度，以致待測面水平高度高于外殼1表面，即可進(jìn)行掃描；若要掃描其斷面，則直接將樣品緊貼外殼1上的放置槽6的內(nèi)壁放置，用側(cè)方螺釘4旋緊，即可進(jìn)行掃描。

當(dāng)要進(jìn)行多個樣品批量掃描時，在裝置樣品前手旋松動其中一個底部螺頂，將載物臺3上提至適當(dāng)高度，再旋緊側(cè)方螺釘4，其他樣品裝樣時，以第一個樣品為水平高度標(biāo)準(zhǔn)，通過旋動對應(yīng)的底部螺頂使所有樣品待測面高度齊平。

特別地，此樣品臺在使用時，具有以下優(yōu)點(diǎn)：①實(shí)現(xiàn)了多個樣品批量掃描；②實(shí)現(xiàn)了樣品高度的可控性；③減少了導(dǎo)電膠的使用；④可適應(yīng)于多種形狀的樣品。此樣品臺結(jié)構(gòu)簡單，具有通用性，既提高了掃描質(zhì)量又提升了掃描效率。

上列較佳實(shí)施例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。