技術編號：11406931
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種可調(diào)節(jié)高度的掃描電鏡樣品臺,屬于掃描電鏡耗材領域。背景技術掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡，是一種利用電子束轟擊樣品，收集樣品表面信號從而成像的電子光學儀器。由于其具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大等特點，現(xiàn)已經(jīng)被廣泛地應用于材料、化學、生物、微電子等多領域的研究和工業(yè)生產(chǎn)。在掃描電鏡測試過程中，在形貌分析時，要求電子束與觀察的表面垂直，目前商用的掃描電鏡樣品臺功能單一，樣品的高度無法調(diào)節(jié)，對樣品的形狀和厚度有限制，測試效率低，極大的限制了材料微觀表征的效果。發(fā)明...
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