掃描電鏡載物臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掃描電子顯微鏡領(lǐng)域，特別涉及掃描電鏡載物臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡，掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù)的出現(xiàn)，使人類對(duì)物質(zhì)表面微觀世界的觀察能力發(fā)生了質(zhì)的飛躍。近年來，這一技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于各種學(xué)科領(lǐng)域，如冶金、材料、醫(yī)學(xué)、地質(zhì)學(xué)、生物學(xué)、機(jī)械加工、半導(dǎo)體制造及陶瓷品的檢驗(yàn)等領(lǐng)域。尤其在材料領(lǐng)域中，掃描電鏡技術(shù)正在發(fā)揮著極其重要的作用，涉及材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、損傷機(jī)制、界面狀況及材料性能預(yù)測(cè)等各方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其生產(chǎn)過程，可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動(dòng)的方式，還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
[0003]然而，一些待測(cè)材料，特別是拉伸試樣，大多數(shù)都是拉伸測(cè)試產(chǎn)生的斷口塊狀試樣，歸因于不同材料間本征成分、組織的差異性，不同斷裂件經(jīng)拉伸產(chǎn)生的斷口尺寸差異較大，其形狀也各異。為了在掃描電鏡下觀測(cè)這些材料，一般都是將其對(duì)外委托加工成底面平整的樣品，然后再置于載物臺(tái)進(jìn)行相關(guān)測(cè)試。遺憾的是，樣品的重新加工降低了測(cè)試效率、造成人力物力的浪費(fèi)。更為嚴(yán)重的是，對(duì)樣品進(jìn)行加工這一措施不僅容易使樣品表面遭受破壞，甚至帶來報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，從而導(dǎo)致整個(gè)研究過程前功盡棄。因此，如何對(duì)拉伸試樣進(jìn)行合理、高效、無風(fēng)險(xiǎn)測(cè)試成為該領(lǐng)域目前面臨的新問題。
[0004]中國專利申請(qǐng)?zhí)?01520200781.9，公開日2015年7月1日的專利文件，公開了一種掃描電鏡載物臺(tái)，包括有載物平臺(tái)和爪狀插桿，載物平臺(tái)下表面設(shè)有與掃描電鏡樣品室的樣品座連接的螺桿，載物平臺(tái)上表面開設(shè)有多個(gè)螺紋插孔，爪狀插桿的頂部裝有金屬爪、下部為插桿螺桿，爪狀插桿的插桿螺桿對(duì)應(yīng)裝在載物平臺(tái)的螺紋插孔內(nèi)。該實(shí)用新型的技術(shù)效果是:爪狀插桿能夠插入多個(gè)不同直徑的柱狀樣品，樣品置入爪狀插桿后，爪狀插桿能將樣品牢牢卡住，當(dāng)測(cè)試完畢之后可以直接取出樣品。樣品即插即用，方便測(cè)試不同的柱狀樣品，提高測(cè)試效率，特別適用于底部不平整的柱狀樣品。但是，該實(shí)用新型中金屬爪固定的樣品形狀受到限制，不能夾持形狀各異的斷口進(jìn)行觀測(cè)。
[0005]此外，中國專利申請(qǐng)?zhí)?01420695658.4，公開日2015年4月2日的專利文件，也公開了一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，在一圓形的載物臺(tái)上安裝有4個(gè)呈長(zhǎng)方形分布的支撐塊，在長(zhǎng)向的兩塊支撐塊之間分別連接有滑桿，在每根滑桿上套設(shè)有活動(dòng)的夾塊，在兩夾塊中間設(shè)置有套在滑桿上的彈簧。該實(shí)用新型在傳統(tǒng)的掃描電鏡載物臺(tái)加裝滑桿和夾塊，能適用于不規(guī)則樣品的夾持，并能很大程度保證觀測(cè)面處于水平放置。但該實(shí)用新型夾持樣品時(shí)裝置與樣品的接觸是面接觸，夾持不穩(wěn)定，可靠性差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中掃描電鏡載物臺(tái)存在夾持形狀不規(guī)則試樣穩(wěn)定性差、可靠性低、影響正常觀測(cè)的缺陷，提供一種掃描電鏡載物臺(tái)。
[0007]本實(shí)用新型是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的:一種掃描電鏡載物臺(tái)，其特點(diǎn)在于，所述掃描電鏡載物臺(tái)包括載物托盤、至少三個(gè)夾持螺釘座和若干夾持螺釘，在所述載物托盤上設(shè)置有多個(gè)定位圓孔，所述夾持螺釘座通過所述定位圓孔固定在所述載物托盤上，所述夾持螺釘?shù)耐饴菁y擰入相應(yīng)的所述夾持螺釘座上的螺紋孔。
[0008]較佳地，所述夾持螺釘座包括橫孔段、支撐段和定位段，所述螺紋孔設(shè)置在所述橫孔段上。
[0009]較佳地，所述螺紋孔在軸線方向上與所述支撐段的軸線方向垂直。
[0010]較佳地，所述定位段為圓柱形，所述定位段的直徑與所述定位圓孔的直徑相匹配，所述支撐段的直徑比所述定位段的直徑大4-6mm。
[0011]較佳地，所述夾持螺釘?shù)囊欢藶槠筋^，另一端為平頭或錐頭。
[0012]較佳地，所述載物托盤為圓形盤，其直徑為80-120mm。
[0013]較佳地，所述定位圓孔為通孔，所述定位圓孔均勻地排列在所述載物托盤上，排列呈正六邊形。
[0014]較佳地，所述定位圓孔的直徑范圍為3-6_。
[0015]較佳地，所述夾持螺釘座的所述支撐段的長(zhǎng)度為8-14mm。
[0016]較佳地，所述夾持螺釘座的數(shù)量為3-12個(gè)。
[0017]本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于:本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)可以直接承載未經(jīng)加工的拉伸斷裂試樣，有效的降低了測(cè)試成本，并且避免了試樣污染及報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)，提高了測(cè)試的準(zhǔn)確性。其能夠?qū)崿F(xiàn)自由組合、靈活變化，從而穩(wěn)定夾持各種形狀不規(guī)則的試樣，降低了測(cè)試成本，提高了測(cè)試效率和準(zhǔn)確度。同時(shí)所述掃描電鏡載物臺(tái)還可以同時(shí)對(duì)多個(gè)形狀不規(guī)則的塊狀試樣進(jìn)行測(cè)試，可以大大提高試驗(yàn)效率，并且節(jié)省能耗。
【附圖說明】
[0018]本實(shí)用新型上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢(shì)將通過下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標(biāo)記始終表示相同的特征，其中:
[0019]圖1為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖2為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)中夾持螺釘座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖3為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)中載物托盤的俯視圖。
[0022]圖4為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)的應(yīng)用示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為讓本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作詳細(xì)說明。
[0024]在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用其它不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。
[0025]實(shí)施例一:
[0026]圖1為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)中夾持螺釘座的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)中載物托盤的俯視圖。圖4為本實(shí)用新型掃描電鏡載物臺(tái)的應(yīng)用示意圖。
[0027]如圖1至圖4所示，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中公開了一種掃描電鏡載物臺(tái)，其包括載物托盤10、至少三個(gè)夾持螺釘座20和若干夾持螺釘30。夾持螺釘座20的數(shù)量可以選取3-12個(gè)，本實(shí)施例中夾持螺釘座設(shè)置為三個(gè)。載物托盤10優(yōu)選為圓形盤，其直徑為80_120mm，例如其直徑可以設(shè)置為100mm。在載物托盤10上設(shè)置有多個(gè)定位圓孔11，定位圓孔11為通孔，且定位圓孔11均勻地排列在載物托盤10上，排列呈正六邊形。通過定位圓孔11將夾持螺釘座20固定在載物托盤10上，夾持螺釘30的外螺紋擰入相應(yīng)的夾持螺釘座20上的螺紋孔內(nèi)。定位圓孔11的直徑范圍為3-6mm，例如本實(shí)施例中定位圓孔11的直徑設(shè)置為5_。
[0028]優(yōu)選地，夾持螺釘座20包括橫孔段21、支撐段22和定位段23，將所述螺紋孔設(shè)置在橫孔段21上。特別地將所述螺紋孔在軸線方向上設(shè)置成與支撐段22的軸線方向垂直。夾持螺釘座20的支撐段22的長(zhǎng)度范圍為8-14mm。例如本實(shí)施例中夾持螺釘座20的支撐段22的長(zhǎng)度設(shè)置為10mmo
[0029]此處的定位段23優(yōu)選為圓柱形，且定位段23的直徑與定位圓孔11的直徑相匹配，支撐段22的直徑比定位段23的直徑大4-6mm。特別地，夾持螺釘30的一端為平頭，另一端為平頭或錐頭。
[0030]結(jié)合本實(shí)施例夾持1個(gè)試樣的過程對(duì)所述掃描電鏡載物臺(tái)的工作原理具體說明:
[0031]步驟一、首先根據(jù)待測(cè)塊狀試樣大小和形狀在載物托盤10上選擇三個(gè)合適的定位圓孔11。
[0032]步驟二、選取三個(gè)夾持螺釘座20并將其定位段23置入上述步驟一選擇的三個(gè)定位圓孔11中。由于定位段23與定位圓孔11的相互配合，使得三個(gè)