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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號:12888855閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施例涉及半導(dǎo)體器件。根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體器件包括:通孔,形成為穿透半導(dǎo)體襯底;第一緩沖器電路和第二緩沖器電路;布線形成層,形成在所述半導(dǎo)體襯底的上層中;連接布線部分,假設(shè)從所述半導(dǎo)體襯底到所述布線形成層的方向為向上方向,則所述連接布線部分形成在所述通孔的上部,所述連接布線部分在芯片內(nèi)端面上,該芯片內(nèi)端面為所述通孔的面對所述半導(dǎo)體襯底的上部部分的端面;第一路徑,連接所述第一緩沖器電路和所述通孔;以及第二路徑,連接所述第二緩沖器電路和所述通孔。所述第一路徑和所述第二路徑經(jīng)由所述連接布線部分電連接。

技術(shù)研發(fā)人員:高柳浩二
受保護的技術(shù)使用者:瑞薩電子株式會社
技術(shù)研發(fā)日:2013.04.27
技術(shù)公布日:2017.11.07
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