技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種刻蝕終點(diǎn)檢測設(shè)備固定裝置，包括：固定套筒，呈圓筒狀，一端設(shè)有平面固定端，以上下可調(diào)節(jié)的方式固定于反應(yīng)腔的觀察窗蓋；探頭固定座，呈圓筒狀，一端封閉且中心開有圓孔，可沿所述固定套筒內(nèi)壁滑動；以及終點(diǎn)檢測探頭，一端安裝在所述探頭固定座的圓孔處，另一端從所述探頭固定座座內(nèi)伸出。本發(fā)明能夠消除外部光線等因素的影響，提高檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性，并且探測范圍可調(diào)，操作簡單。

技術(shù)研發(fā)人員：胡冬冬;李娜;車東晨;許開東
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇魯汶儀器有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.19
技術(shù)公布日：2017.07.21