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一種陣列基板及其制備方法、顯示裝置與流程

文檔序號(hào):12725233閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種陣列基板的制備方法,其特征在于,包括:

在襯底基板上形成金屬層,所述金屬層包括漏極和觸控信號(hào)線;

形成第一鈍化層和平坦層,所述第一鈍化層和所述平坦層上具有第一漏極接觸孔和觸控信號(hào)線接觸孔,以分別露出漏極和觸控信號(hào)線;其中,所述第一鈍化層靠近所述金屬層,且所述第一鈍化層通過(guò)干刻工藝形成;

形成觸控電極,所述觸控電極穿過(guò)所述第一鈍化層和所述平坦層上的所述觸控信號(hào)線接觸孔與所述觸控信號(hào)線相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,形成第一鈍化層和平坦層,具體包括:

利用干刻工藝形成第一鈍化層,所述第一鈍化層具有第一觸控信號(hào)線接觸孔和第一子漏極接觸孔;

形成平坦層,所述平坦層具有第二觸控信號(hào)線接觸孔和第二子漏極接觸孔;其中,所述第一觸控信號(hào)線接觸孔和所述第二觸控信號(hào)線接觸孔連通,以形成觸控信號(hào)線接觸孔,所述第一子漏極接觸孔和所述第二子漏極接觸孔連通,以形成第一漏極接觸孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法,其特征在于,形成平坦層,具體包括:

通過(guò)曝光、顯影工藝形成平坦層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,形成第一鈍化層和平坦層,具體包括:

形成第一鈍化層薄膜;

形成平坦層薄膜,對(duì)所述平坦層薄膜進(jìn)行固化;

利用干刻工藝同時(shí)對(duì)所述第一鈍化層薄膜和固化后的所述平坦層薄膜進(jìn)行刻蝕,以形成觸控信號(hào)線接觸孔和第一漏極接觸孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的制備方法,其特征在于,所述第一鈍化層的厚度小于所述平坦層的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在形成觸控電極之后,所述方法還包括:

形成第二鈍化層,所述第二鈍化層具有第二漏極接觸孔,所述第一漏極接觸孔與所述第二漏極接觸孔連通;

形成像素電極,所述像素電極穿過(guò)所述第一漏極接觸孔和所述第二漏極接觸孔與所述漏極相連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于,在形成金屬層之前,所述方法還包括:

在襯底基板上形成遮光圖案;所述遮光圖案位于所述陣列基板的像素界定區(qū);

在形成有所述遮光圖案的襯底基板上形成緩沖層;

在形成有所述緩沖層的襯底基板上形成有源層;

在形成有所述有源層的襯底基板上形成柵絕緣層;

在形成有所述柵絕緣層上的襯底基板上形成柵極;

在形成有所述柵極的襯底基板上形成中間介電層;所述漏極穿過(guò)所述中間介電層和所述柵絕緣層與所述有源層接觸。

8.一種陣列基板,其特征在于,包括襯底基板以及依次設(shè)置在襯底基板上的金屬層、第一鈍化層、平坦層和觸控電極;所述金屬層包括源漏極和觸控信號(hào)線;

其中,所述第一鈍化層和所述平坦層上具有第一漏極接觸孔和觸控信號(hào)線接觸孔,所述觸控電極穿過(guò)觸控信號(hào)線接觸孔與所述觸控信號(hào)線相連接;所述第一鈍化層通過(guò)干刻工藝形成。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括設(shè)置在觸控電極上的第二鈍化層和像素電極;所述第二鈍化層具有第二漏極接觸孔,所述第一漏極接觸孔和所述第二漏極接觸孔連通,所述像素電極穿過(guò)所述第一漏極接觸孔和所述第二漏極接觸孔與所述漏極相連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括依次設(shè)置在所述襯底基板和所述金屬層之間的遮光圖案、緩沖層、有源層、柵絕緣層、柵極和中間介電層;

其中,所述源漏極穿過(guò)所述中間介電層和所述柵絕緣層上的過(guò)孔與所述有源層接觸,所述遮光圖案靠近所述襯底基板設(shè)置。

11.一種顯示裝置,其特征在于,包括權(quán)利要求8-10任一項(xiàng)所述的陣列基板。

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