本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種集合式干法制絨裝置及生產(chǎn)線。

背景技術(shù)：

在太陽(yáng)能電池中，為降低硅片對(duì)太陽(yáng)光的反射，盡可能的將光能轉(zhuǎn)換為電能，提高光電轉(zhuǎn)換效率。硅片在制成電池片之前都需要對(duì)硅片表面進(jìn)行處理，以降低光的反射率，在光伏行業(yè)中該工藝的名稱叫做“制絨工藝”。由于制絨工藝的好壞直接影響太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，故制絨工藝屬于太陽(yáng)能硅片生產(chǎn)制造過(guò)程中的關(guān)鍵工藝。近些年來(lái)，隨著金剛線切割硅片的成本的大幅降低，越來(lái)越多的切片產(chǎn)商用金剛線切割的多晶硅片產(chǎn)量在整個(gè)切片產(chǎn)量中所占比例越來(lái)越高。隨之而來(lái)的問(wèn)題就是金剛線切割多晶硅片的表面制絨工藝用傳統(tǒng)的制絨工藝效果達(dá)不到預(yù)期。業(yè)內(nèi)急需一種新工藝來(lái)解決該問(wèn)題。“干法黑硅”技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，經(jīng)過(guò)該技術(shù)處理的電池片可以將轉(zhuǎn)換效率提高0.5％以上，由于光伏市場(chǎng)上多晶硅片的產(chǎn)量十分巨大，所以該該技術(shù)具有十分重要的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。

在常規(guī)晶體硅電池制造工藝流程中，第一步是制絨，然后是擴(kuò)散、清洗、PECVD鍍膜、印刷、燒結(jié)等工序。目前常用的濕法酸制絨工藝，清洗后制絨可以在同一種設(shè)備里完成。對(duì)于干法制絨工藝，硅片首先要進(jìn)行前清洗、然后才能干法制絨。在干法制絨完成后，還需要后清洗才能轉(zhuǎn)移到下一道工序擴(kuò)散。

為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，降低生產(chǎn)成本，本發(fā)明將前清洗，干法制絨，后清洗整合到一臺(tái)設(shè)備上，中間用自動(dòng)化硅片上下料和傳輸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種集合式干法制絨裝置及生產(chǎn)線，很大程度上解決了上述問(wèn)題。

本發(fā)明提供的集合式干法制絨裝置，包括前清洗機(jī)構(gòu)、后清洗機(jī)構(gòu)、自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)和RIE干法制絨機(jī)；

所述前清洗機(jī)構(gòu)與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端連接；

所述后清洗機(jī)構(gòu)與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的出料端連接；

所述RIE干法制絨機(jī)與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)連接。

進(jìn)一步地，所述前清洗機(jī)構(gòu)包括依次連接的插片上料機(jī)、花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、自動(dòng)化清洗機(jī)和花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端連接；

所述后清洗機(jī)構(gòu)包括依次連接的花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂、自動(dòng)化清洗機(jī)、自動(dòng)疊片機(jī)和花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的出料端連接。

進(jìn)一步地，所述插片上料機(jī)包括硅片存放裝置、硅片輸送裝置、花籃提升機(jī)構(gòu)、取料機(jī)械手和硅片提升裝置；

所述硅片存放裝置、硅片輸送裝置和花籃提升機(jī)構(gòu)依次連接；

所述取料機(jī)械手安裝在所述硅片存放裝置上方；

所述硅片提升裝置安裝在所述硅片存放裝置下方并與所述硅片存放裝置連接，從而改變硅片存放裝置的高度。

進(jìn)一步地，所述花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括花籃旋轉(zhuǎn)裝置、花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一和花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二；

所述花籃旋轉(zhuǎn)裝置安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)上，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)的進(jìn)料端，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)底部。

進(jìn)一步地，所述自動(dòng)化清洗機(jī)包括槽體機(jī)構(gòu)、機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)和干燥機(jī)構(gòu)；

所述機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)安裝在所述槽體機(jī)構(gòu)上方；

所述干燥機(jī)構(gòu)與所述槽體機(jī)構(gòu)連接，所述槽體機(jī)構(gòu)連接桁架機(jī)器人；

所述槽體機(jī)構(gòu)由多個(gè)槽體組成，每個(gè)槽體內(nèi)部盛著工藝液體，每個(gè)槽體內(nèi)部集成自動(dòng)溫控單元和自動(dòng)加液?jiǎn)卧?/p>

進(jìn)一步地，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂為安裝在所述干燥機(jī)構(gòu)端部的多關(guān)節(jié)機(jī)器人。

進(jìn)一步地，所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)包括上料花籃進(jìn)出模組、上料花籃升降模組、上料晶片進(jìn)給模組、上料移載模組、上料載板定位輸送模組、升降模組、下料晶片進(jìn)給模組、下料移載模組和下料載板定位輸送模組；

所述上料花籃進(jìn)出模組用于將盛滿硅片的花籃放入上料花籃升降模組并將空花籃移出；

所述上料花籃升降模組用于將將盛滿硅片的花籃移動(dòng)到進(jìn)花籃位置，滿花籃進(jìn)入，將取走硅片的空花籃移動(dòng)到出花籃位置，空花籃流出；

所述上料晶片進(jìn)給模組將硅片移動(dòng)到載板空位對(duì)應(yīng)的位置并導(dǎo)正；

所述上料移載模組將硅片移動(dòng)到載板位置，放硅片；

所述上料載板定位輸送模組，對(duì)載板進(jìn)行夾緊定位，輸送到升降模組；

所述升降模組將放好硅片的載板傳輸?shù)絉IE干法制絨機(jī)；

所述下料載板定位輸送模組對(duì)RIE干法制絨機(jī)制絨后的載板進(jìn)行夾緊定位，輸送載板到所述下料移載模組；

所述下料移載模組將載板上的載板上的硅片放置到晶片進(jìn)給流水線上；

所述下料晶片進(jìn)給模組將流水線上的硅片輸送到打包流水線上。

進(jìn)一步地，所述RIE干法制絨機(jī)包括腔體系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)、載板上傳輸機(jī)構(gòu)和載板下傳輸機(jī)構(gòu)，所述腔體系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)、載板上傳輸機(jī)構(gòu)依次連接；

所述腔體系統(tǒng)包括五個(gè)單獨(dú)的腔體，分別為裝載腔、緩存腔、工藝腔、冷卻腔和卸載腔；

所述載板下傳輸機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述腔體系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)、載板上傳輸機(jī)構(gòu)的下方。

進(jìn)一步地，所述自動(dòng)疊片機(jī)包括輸送設(shè)備、硅片放料機(jī)構(gòu)、直線升降機(jī)構(gòu)、氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置；

所述硅片放料機(jī)構(gòu)布置在所述輸送設(shè)備的前端，所述氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置設(shè)置在所述硅片放料機(jī)構(gòu)下方，用于對(duì)硅片的位置進(jìn)行校正；

所述直線升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置下方。

本發(fā)明的集合式干法制絨裝置具有如下有益效果：

本發(fā)明將前清洗機(jī)構(gòu)，干法制絨，后清洗機(jī)構(gòu)整合到一臺(tái)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，降低生產(chǎn)成本，中間用自動(dòng)化硅片上下料和傳輸。

另外，本發(fā)明還提供了一種生產(chǎn)線，包括上述集合式干法制絨裝置。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的集合式干法制絨裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的插片上料機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例一提供的花籃回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例一提供的RIE干法制絨機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)疊片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1－前清洗機(jī)構(gòu)；2－后清洗機(jī)構(gòu)；3－自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)；4－RIE干法制絨機(jī)；11－插片上料機(jī)；12－花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；13－自動(dòng)化清洗機(jī)；14－花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂；21－自動(dòng)疊片機(jī)；111－硅片存放裝置；112－硅片輸送裝置；113－花籃提升機(jī)構(gòu)；114－取料機(jī)械手；115－硅片提升裝置；7－硅片；121－花籃旋轉(zhuǎn)裝置；122－花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一；123－花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二；131－槽體機(jī)構(gòu)；132－機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)；133－干燥機(jī)構(gòu)；134－桁架機(jī)器人；31－花籃進(jìn)出模組；32－上料花籃升降模組；33－上料晶片進(jìn)給模組；34－上料移載模組；35－上料載板定位輸送模組；36－升降模組；37－下料晶片進(jìn)給模組；38－下料移載模組；39－下料載板定位輸送模組；41－腔體系統(tǒng)；42－離子源系統(tǒng)；43－載板上傳輸機(jī)構(gòu)；44－載板下傳輸機(jī)構(gòu)；411－裝載腔；412－緩存腔；413－工藝腔；414－冷卻腔；415－卸載腔；211－輸送設(shè)備；212－硅片放料機(jī)構(gòu)；213－直線升降機(jī)構(gòu)；214－氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。

實(shí)施例一

圖1為本發(fā)明實(shí)施例一提供的集合式干法制絨裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的插片上料機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例一提供的花籃回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例一提供的RIE干法制絨機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實(shí)施例一提供的自動(dòng)疊片機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

如圖1－圖8所示，本實(shí)施例提供的集合式干法制絨裝置，包括前清洗機(jī)構(gòu)1、后清洗機(jī)構(gòu)2、自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3和RIE干法制絨機(jī)4；

所述前清洗機(jī)構(gòu)1與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3的進(jìn)料端連接；

所述后清洗機(jī)構(gòu)2與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3的出料端連接；

所述RIE干法制絨機(jī)4與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3連接；

所述前清洗機(jī)構(gòu)1包括依次連接的插片上料機(jī)11、花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12、自動(dòng)化清洗機(jī)13和花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂14，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂14與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3的進(jìn)料端連接；

所述后清洗機(jī)構(gòu)2包括依次連接的花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂14、自動(dòng)化清洗機(jī)13、自動(dòng)疊片機(jī)21和花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂14與所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3的出料端連接。

所述插片上料機(jī)11包括硅片存放裝置111、硅片輸送裝置112、花籃提升機(jī)構(gòu)113、取料機(jī)械手114和硅片提升裝置115；

所述硅片存放裝置111、硅片輸送裝置112和花籃提升機(jī)構(gòu)113依次連接；

所述取料機(jī)械手114安裝在所述硅片存放裝置111上方；

所述硅片提升裝置115安裝在所述硅片存放裝置111下方并與所述硅片存放裝置111連接，從而改變硅片存放裝置111的高度。

操作時(shí)，操作人員只需整疊的硅片7放到硅片存放裝置111中。其中的硅片存放裝置111主要由八塊尼龍擋板組成。

為了將整疊的硅片上面幾層硅片分開，方便用吸盤將硅片吸起，在硅片兩側(cè)固定了吹氣裝置。由于硅片的被吸走，整疊的硅片的高度隨之下降，需要使用硅片提升裝置115將整疊的硅片抬升一定的高度，使最上層的硅片與與吸盤高度保持一致。

取料機(jī)械手114主要由一個(gè)二軸機(jī)器人和底部的真空吸盤組成。其作用就是將硅片從硅片存放裝置111中取出，放置到硅片輸送裝置112上。

硅片輸送裝置112主要就是用來(lái)輸送硅片，將硅片一片的插入空花籃中。為了順利的將硅片輸送到花籃的規(guī)定的位置，硅片輸送裝置112前部配備了一套可以伸縮的輸送機(jī)，在空花籃提升到規(guī)定的位置后，可伸縮的輸送機(jī)插入花籃中，以方便將硅片順利的插入花籃中的規(guī)定位置。

所述花籃自動(dòng)回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)12包括花籃旋轉(zhuǎn)裝置121、花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一122和花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二123；

所述花籃旋轉(zhuǎn)裝置121安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)13上，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一122安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)13的進(jìn)料端，所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二123安裝在所述自動(dòng)化清洗機(jī)13底部。

花籃旋轉(zhuǎn)裝置121的主要功能就是將將花籃橫向旋轉(zhuǎn)90°，方便后續(xù)的花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一122接收花籃。

花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一122的主要功能就是將空花籃向上翻轉(zhuǎn)90°，將花籃有橫放改為立放。

花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)二123的主要功能就是將裝插滿硅片的花籃向下翻轉(zhuǎn)90，便于自動(dòng)化清洗機(jī)13接收花籃。

所述自動(dòng)化清洗機(jī)13包括槽體機(jī)構(gòu)131、機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)132和干燥機(jī)構(gòu)133；

所述機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)132安裝在所述槽體機(jī)構(gòu)131上方；

所述干燥機(jī)構(gòu)133與所述槽體機(jī)構(gòu)131連接，所述槽體機(jī)構(gòu)131連接桁架機(jī)器人134；

桁架機(jī)器人134：主要將盛滿硅片的花籃抓取后放在自動(dòng)化前清洗的上料工位上。

所述槽體機(jī)構(gòu)131由多個(gè)槽體組成，每個(gè)槽體內(nèi)部盛著工藝液體，每個(gè)槽體內(nèi)部集成自動(dòng)溫控單元和自動(dòng)加液?jiǎn)卧?/p>

槽體機(jī)構(gòu)131：該設(shè)備主由七個(gè)工藝槽體構(gòu)成，槽體機(jī)構(gòu)131主要作用就內(nèi)部盛著工藝液體，其內(nèi)部集成了自動(dòng)溫控單元，自動(dòng)加液?jiǎn)卧?，可以使槽體內(nèi)部的工藝液體保持工藝要求規(guī)定的溫度和濃度。工作時(shí)機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)132抓著插滿硅片的花籃挨個(gè)的放入各個(gè)工藝槽中，完成清洗工藝。

機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)132：在槽體頂部布置了兩條長(zhǎng)導(dǎo)軌，可以在槽體上方任意位置停留，底部安裝了可以取放花籃的裝置。機(jī)械手抓取移栽機(jī)構(gòu)132在PLC的控制下可以按照程序設(shè)定的工藝要求將插滿硅片的花籃在各個(gè)槽體種提留規(guī)定的時(shí)間。

干燥機(jī)構(gòu)133：干燥機(jī)構(gòu)133主要用來(lái)將經(jīng)過(guò)工藝槽體中液體浸泡過(guò)的硅片表面烘干，以滿足后續(xù)的工藝要求。其主要由加熱裝置和鼓風(fēng)裝置組成。主要原理就是有加熱器將空氣加熱，由鼓風(fēng)機(jī)將熱空氣抽取了吹向硅片表面，加速硅片的干燥。

所述花籃翻轉(zhuǎn)機(jī)械臂14為安裝在所述干燥機(jī)構(gòu)133端部的多關(guān)節(jié)機(jī)器人。

多關(guān)節(jié)機(jī)器人：其一作用就是將盛滿硅片的“橫放”花籃翻轉(zhuǎn)成“立放”并放至自動(dòng)化上料機(jī)的上料軌道上。另一作用是自動(dòng)化上料機(jī)底部的空花籃由“立放”翻轉(zhuǎn)至“橫放”，并將空花籃抓取之自動(dòng)化清洗機(jī)底部的花籃回送輸送機(jī)上。

所述自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3包括上料花籃進(jìn)出模組31、上料花籃升降模組32、上料晶片進(jìn)給模組33、上料移載模組34、上料載板定位輸送模組35、升降模組36、下料晶片進(jìn)給模組37、下料移載模組38和下料載板定位輸送模組39；

所述上料花籃進(jìn)出模組31用于將盛滿硅片的花籃放入上料花籃升降模組32并將空花籃移出；

所述上料花籃升降模組32用于將將盛滿硅片的花籃移動(dòng)到進(jìn)花籃位置，滿花籃進(jìn)入，將取走硅片的空花籃移動(dòng)到出花籃位置，空花籃流出；

所述上料晶片進(jìn)給模組33將硅片移動(dòng)到載板空位對(duì)應(yīng)的位置并導(dǎo)正；

所述上料移載模組34將硅片移動(dòng)到載板位置，放硅片；

所述上料載板定位輸送模組35，對(duì)載板進(jìn)行夾緊定位，輸送到升降模組36；

所述升降模組36將放好硅片的載板傳輸?shù)絉IE干法制絨機(jī)4；

所述下料載板定位輸送模組39對(duì)RIE干法制絨機(jī)4制絨后的載板進(jìn)行夾緊定位，輸送載板到所述下料移載模組38；

所述下料移載模組38將載板上的載板上的硅片放置到晶片進(jìn)給流水線上；

所述下料晶片進(jìn)給模組37將流水線上的硅片輸送到打包流水線上。

所述RIE干法制絨機(jī)4包括腔體系統(tǒng)41、離子源系統(tǒng)42、載板上傳輸機(jī)構(gòu)43和載板下傳輸機(jī)構(gòu)44，所述腔體系統(tǒng)41、離子源系統(tǒng)42、載板上傳輸機(jī)構(gòu)43依次連接；

所述腔體系統(tǒng)41包括五個(gè)單獨(dú)的腔體，分別為裝載腔411、緩存腔412、工藝腔413、冷卻腔414和卸載腔415。

所述載板下傳輸機(jī)構(gòu)44設(shè)置在所述腔體系統(tǒng)41、離子源系統(tǒng)42、載板上傳輸機(jī)構(gòu)43的下方。

設(shè)備工作時(shí)，載板在設(shè)備內(nèi)部循環(huán)。在空載板進(jìn)入裝載腔411前由自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3將硅片精確的放置在載板上的指定位置，然后載板循環(huán)進(jìn)入各個(gè)腔體，完成硅片的制絨工藝。載板出了腔體后再由自動(dòng)化上下料機(jī)構(gòu)3將硅片從載板上取下，放置到輸送機(jī)上，直至輸送至后面的疊料機(jī)構(gòu)。

所述自動(dòng)疊片機(jī)21包括輸送設(shè)備211、硅片放料機(jī)構(gòu)212、直線升降機(jī)構(gòu)213、氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置214；

所述硅片放料機(jī)構(gòu)212布置在所述輸送設(shè)備211的前端，所述氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置214設(shè)置在所述硅片放料機(jī)構(gòu)212下方，用于對(duì)硅片的位置進(jìn)行校正；

所述直線升降機(jī)構(gòu)213設(shè)置在所述氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置214下方。

制絨完成的硅片由卸料機(jī)械手從載板上取下，放置到輸送設(shè)備211上。硅片放料機(jī)構(gòu)212布置在輸送設(shè)備211的前端。硅片依靠自身的慣性沖入硅片放料機(jī)構(gòu)212中的尼龍夾塊上。硅片放料機(jī)構(gòu)212通過(guò)氣動(dòng)夾爪使兩塊尼龍夾塊分開，硅片在重力作用下掉入升降平臺(tái)上。為了糾正硅片的掉入位置，需要?dú)飧鬃詣?dòng)傾斜對(duì)中裝置214對(duì)硅片的位置進(jìn)行校正。氣缸自動(dòng)傾斜對(duì)中裝置214主要由一個(gè)氣缸和一塊可以繞銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)的托板進(jìn)行組成，利用硅片掉入平板上硅片和平板上有一層空氣的原理，依靠平板形成的一定的角度的傾斜，硅片會(huì)自動(dòng)靠一個(gè)方向進(jìn)行定位，達(dá)到硅片定位的目的。直線升降機(jī)構(gòu)213的主要作用就是將收料平臺(tái)帶著一起上下移動(dòng)，直線升降機(jī)構(gòu)213配合光電開關(guān)可以讓最上層硅片放料機(jī)構(gòu)212中的尼龍夾塊始終保持恒定的距離，防止硅片高度太高導(dǎo)致硅片損傷。硅片會(huì)經(jīng)過(guò)光電計(jì)數(shù)開關(guān)進(jìn)行計(jì)數(shù)，當(dāng)達(dá)到設(shè)定值后，直線升降機(jī)構(gòu)213升降到人工取料工位，方便人工對(duì)疊好的硅片取出。

另外，本發(fā)明還提供了一種生產(chǎn)線，包括上述集合式干法制絨裝置。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。