亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種寬禁帶III?VCMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制作方法

文檔序號(hào):12680935閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,包括P溝道晶體管和n溝道晶體管;P溝道晶體管在硅襯底上依次外延生長(zhǎng)第一多層晶格應(yīng)變緩沖層、GaSb溝道層及AlGaSb勢(shì)壘層,AlGaSb勢(shì)壘層上方生長(zhǎng)第一GaSb帽層和第二GaSb帽層,所述GaSb溝道層與AlGaSb勢(shì)壘層形成二維空穴氣;所述第一GaSb帽層上形成有第一漏極,且AlGaSb勢(shì)壘層上形成有第一柵極,第二GaSb帽層上形成有第一源極;n溝道晶體管在所述第二GaSb帽層上依次外延生長(zhǎng)第二多層晶格應(yīng)變緩沖層、In0.53Ga0.47As溝道層及In0.52Al0.48As勢(shì)壘層,In0.52Al0.48As勢(shì)壘層上方生長(zhǎng)第一In0.53Ga0.47As帽層和第二In0.53Ga0.47As帽層,所述In0.53Ga0.47As溝道層與In0.52Al0.48As勢(shì)壘層形成二維空穴氣,且第一In0.53Ga0.47As帽層上形成有第二源極,In0.52Al0.48As勢(shì)壘層上形成有第二柵極,第二In0.53Ga0.47As帽層上形成有第二漏極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述硅襯底為p型Si襯底,其材料為Si、SiC、GaN、藍(lán)寶石或金剛石。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第一多層晶格應(yīng)變緩沖層不摻雜,厚度為800~1800nm,從下至上先低溫生長(zhǎng)GaAs緩沖層,再高溫生長(zhǎng)GaAs/AlGaAs超晶格緩沖層,再采用梯度結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)GaAsySb1-y緩沖層,再生長(zhǎng)GaSb/AlGaSb超晶格緩沖層;y的值從1逐步降為0;GaSb/AlGaSb超晶格緩沖層中Al含量小于30%。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述GaSb溝道層不摻雜,厚度為50~100nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述AlGaSb勢(shì)壘層厚度為15~40nm,Al含量小于30%,采用p型摻雜,體摻雜材料為Be、C或Mg,摻雜劑量為1×1018cm-3~3×1018cm-3。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第一GaSb帽層和第二GaSb帽層的厚度為15~40nm,采用p型摻雜,體摻雜材料為Be、C或Mg,摻雜劑量為5×1018cm-3~2×1019cm-3。

7.根據(jù)權(quán)利要3所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第二多層晶格應(yīng)變緩沖層不摻雜,厚度600~1500nm,從下至上先采用梯度結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)GaAsySb1-y緩沖層,再生長(zhǎng)In0.53Ga0.47As/InP超晶格緩沖層;y的值從0逐步升為0.42。

8.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一權(quán)項(xiàng)所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述In0.53Ga0.47As溝道層不摻雜,厚度為50~100nm。

9.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一權(quán)項(xiàng)所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述In0.52Al0.48As勢(shì)壘層的厚度為15~40nm,采用n型摻雜,體摻雜Si的劑量為2×1018cm-3~6×1018cm-3

10.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一權(quán)項(xiàng)所述的寬禁帶III-V CMOS應(yīng)變場(chǎng)效應(yīng)晶體管,其特征在于,所述第一In0.53Ga0.47As帽層和第二In0.53Ga0.47As帽層的厚度為15~40nm,采用n型摻雜,體摻雜Si的劑量為5×1018cm-3~2×1019cm-3。

當(dāng)前第2頁(yè)1 2 3 
網(wǎng)友詢問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1