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薄膜晶體管、陣列基板及顯示面板的制作方法

文檔序號(hào):12737380閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了薄膜晶體管、陣列基板及顯示面板。薄膜晶體管的一具體實(shí)施方式包括:柵極、有源層、源極和漏極;其中,柵極形成于柵極金屬層,有源層形成于氧化物半導(dǎo)體層,源極和漏極形成于源漏金屬層,源漏金屬層位于氧化物半導(dǎo)體層遠(yuǎn)離柵極金屬層的一側(cè),且源極和漏極與有源層相接觸;柵極與有源層之間設(shè)有柵極絕緣層;柵極絕緣層對(duì)任意波長(zhǎng)為λ1的光的透過(guò)率低于對(duì)任意波長(zhǎng)為λ2的光的透過(guò)率;其中400nm≤λ1≤480nm,480nm<λ2≤780nm。采用本申請(qǐng)的方案,可以提升薄膜晶體管的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員:應(yīng)變;符鞠建;何澤尚
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海天馬微電子有限公司
文檔號(hào)碼:201710172101
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.22
技術(shù)公布日:2017.06.27

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