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薄膜晶體管、陣列基板及顯示面板的制作方法

文檔序號(hào):12737380閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜晶體管,其特征在于,包括:柵極、有源層、源極和漏極;

其中,所述柵極形成于柵極金屬層,所述有源層形成于氧化物半導(dǎo)體層,所述源極和所述漏極形成于源漏金屬層,所述源漏金屬層位于所述氧化物半導(dǎo)體層遠(yuǎn)離所述柵極金屬層的一側(cè),且所述源極和所述漏極與所述有源層相接觸;

所述柵極與所述有源層之間設(shè)有柵極絕緣層;

所述柵極絕緣層對(duì)任意波長(zhǎng)為λ1的光的透過率低于對(duì)任意波長(zhǎng)為λ2的光的透過率;

其中400nm≤λ1≤480nm,480nm<λ2≤780nm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述柵極絕緣層的厚度為d,所述柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n10,所述柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n20;

對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>10</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>10</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <mi>d</mi> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&lt;</mo> <mn>0.5</mn> <mo>,</mo> </mrow>

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其中,[a]表示不大于a的正整數(shù),

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述柵極絕緣層的厚度為d,所述柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n10,所述柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n20;

對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>10</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <mi>d</mi> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>10</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <mi>d</mi> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&gt;</mo> <mn>0.5</mn> <mo>,</mo> </mrow>

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其中,[b]表示不大于b的正整數(shù),

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述柵極絕緣層的材料為二氧化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述柵極絕緣層包括第一柵極絕緣層和第二柵極絕緣層;

所述第二柵極絕緣層位于所述第一柵極絕緣層遠(yuǎn)離所述柵極金屬層的一側(cè);

所述第一柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ1的光的折射率大于所述第二柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ1的光的折射率;

所述第一柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ2的光的折射率大于所述第二柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ2的光的折射率。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層對(duì)任意波長(zhǎng)為λ1的光的透過率高于對(duì)任意波長(zhǎng)為λ2的光的透過率;

所述第二柵極絕緣層對(duì)任意波長(zhǎng)為λ1的光的透過率高于對(duì)任意波長(zhǎng)為的λ2的光的透過率。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ3的光的折射率為n1,所述第二柵極絕緣層對(duì)于任意波長(zhǎng)為λ3的光的折射率為n2,1.88≤n1≤2.15,1.45≤n2≤1.60;

其中,400nm≤λ3≤780nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的厚度為d1,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n11,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n12;

對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

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其中,[x]表示不大于x的正整數(shù),

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的厚度為d1,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n11,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n12;

對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>11</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>11</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&gt;</mo> <mn>0.5</mn> <mo>,</mo> </mrow>

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其中,[x]表示不大于x的正整數(shù),

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第二柵極絕緣層的厚度為d2,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n21,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n22;對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>21</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>21</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&lt;</mo> <mn>0.5</mn> <mo>,</mo> </mrow>

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其中,[y]表示不大于y的正整數(shù),

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第二柵極絕緣層的厚度為d2,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n21,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n22;對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

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<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>22</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>22</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&gt;</mo> <mn>0.5</mn> <mo>,</mo> </mrow>

<mrow> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>21</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>21</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>1</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>&gt;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>22</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msub> </mfrac> <mo>-</mo> <mo>&lsqb;</mo> <mfrac> <mrow> <mn>2</mn> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>n</mi> <mn>22</mn> </msub> <mo>&times;</mo> <msub> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> <msub> <mi>&lambda;</mi> <mn>2</mn> </msub> </mfrac> <mo>&rsqb;</mo> <mo>;</mo> </mrow>

其中,[y]表示不大于y的正整數(shù),

12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的厚度為d1,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n11,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n12;所述第二柵極絕緣層的厚度為d2,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n21,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n22;對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

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其中,[z]表示不大于z的正整數(shù),

13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的厚度為d1,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n11,所述第一柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n12;所述第二柵極絕緣層的厚度為d2,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ1的光的折射率為n21,所述第二柵極絕緣層對(duì)波長(zhǎng)為λ2的光的折射率為n22;對(duì)于任意的λ1,λ2,滿足:

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其中,[z]表示不大于z的正整數(shù),

14.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的厚度為d1,所述第二柵極絕緣層的厚度為d2;

當(dāng)70nm≤d1≤90nm時(shí),90nm≤d2≤110nm;

當(dāng)200nm≤d1≤220nm時(shí),100nm≤d2≤150nm,或270nm≤d2≤300nm;

當(dāng)75nm≤d1≤85nm時(shí),105nm≤d2≤115nm;

當(dāng)200nm≤d1≤210nm時(shí),105nm≤d2≤115nm,或270nm≤d2≤280nm。

15.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄膜晶體管,其特征在于,所述第一柵極絕緣層的材料為氮化硅,所述第二柵極絕緣層的材料為二氧化硅。

16.一種陣列基板,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-15任一項(xiàng)所述的薄膜晶體管。

17.一種顯示面板,其特征在于,包括如權(quán)利要求16所述的陣列基板。

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