1.一種濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，包括：抽換氣管道和罩在濕法刻蝕設(shè)備的腔體的腔門上的真空罩體；其中，所述抽換氣管道與所述腔體相連，所述真空罩體與所述抽換氣管道相連；
所述抽換氣管道通過第一閥控單元與所述腔體連通，所述抽換氣管道通過第二閥控單元與所述真空罩體連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述濕法刻蝕排氣系統(tǒng)還包括設(shè)置在所述真空罩體外，且與所述真空罩體相連的大氣壓鼓風(fēng)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空罩體與所述腔體的接觸位置還設(shè)置有密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述濕法刻蝕排氣系統(tǒng)還包括用于控制所述真空罩體升降的升降架，所述升降架與所述真空罩體相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空罩體的材質(zhì)為耐酸性材質(zhì)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一閥控單元和所述第二閥控單元沿氣體排出方向依次安裝在所述抽換氣管道上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一閥控單元包括沿氣體排出方向依次安裝在所述抽換氣管道上的第一過濾冷卻裝置和第一控制閥門。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述第二閥控單元包括沿氣體排出方向依次安裝在所述抽換氣管道上的第二過濾冷卻裝置和第二控制閥門。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空罩體通過可伸縮軟管與所述抽換氣管道相連。
10.一種濕法刻蝕裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的濕法刻蝕排氣系統(tǒng)。