技術(shù)編號：12724960
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及濕法刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種濕法刻蝕排氣系統(tǒng)及濕法刻蝕裝置。背景技術(shù)目前，在薄膜晶體管液晶顯示器的生產(chǎn)過程中，常采用濕法刻蝕工藝在基板上形成特定圖案，具體地，將光刻膠覆蓋在基板上的部分金屬膜層上，然后使未被光刻膠覆蓋部分的金屬膜層與酸性溶液進(jìn)行反應(yīng)，以去除多余的金屬膜層。通常上述濕法刻蝕反應(yīng)是在濕法刻蝕設(shè)備的腔體內(nèi)進(jìn)行的。如圖1所示，現(xiàn)有的濕法刻蝕設(shè)備包括腔體1，以及在腔體1的外側(cè)設(shè)置的抽氣裝置2，以利用抽氣裝置2將濕法刻蝕反應(yīng)產(chǎn)生的揮發(fā)性酸性氣體以及反應(yīng)副產(chǎn)物氣體抽離腔體1，以保證...
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