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用于透射?電子背散射衍射的工具及衍射圖像成像方法與流程

文檔序號:12827182閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明涉及一種用于透射?電子背散射衍射的工具及衍射圖像成像方法,通過在傳統(tǒng)的樣品臺基礎上加了一個透射電鏡樣品安裝夾,并固定其衍射角度(70°),對材料進行透射?電子背散射衍射圖像成像。提供了一種新的分析方法。透射電鏡樣品不僅可以在透射電鏡上分析,還可以用在EBSD上利用背散射電子,同時,樣品臺傾角的精準確定固定了樣品的位置,更容易安裝,是更多的電子束轟擊目標區(qū)域,減少了其它部分的影響,同時還可以清晰的獲得花樣與材料的對應關系,弄清顯微圖像對應的樣品實際區(qū)域。本方法中所使用的樣品臺可以固定樣品,并有固定的傾角,減少樣品臺帶來的實驗誤差,提高成像的空間分辨率,同時也方便了操作者的實際操作。

技術研發(fā)人員:陳忠偉;田博文;謝斌;李昊波;韓一帆;張念;褚陸嘉
受保護的技術使用者:西北工業(yè)大學
技術研發(fā)日:2017.02.17
技術公布日:2017.07.07
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