本發(fā)明屬于半導體照明領域,涉及一種led芯片結構及其制造方法,特別是涉及一種高壓倒裝led芯片結構及其制造方法。
背景技術:
發(fā)光二極管(lightemittingdiode,簡稱led)是一種半導體固態(tài)發(fā)光器件,利用半導體p-n結電致發(fā)光原理制成。led器件具有開啟電壓低、體積小、響應快、穩(wěn)定性好、壽命長、無污染等良好光電性能,因此在室外室內照明、背光、顯示、交通指示等領域具有越來越廣泛的應用。
led芯片結構有三種類型,分別為水平結構(正裝芯片)、垂直結構(垂直結構芯片)和倒裝結構(倒裝芯片);倒裝結構即芯片p、n電極在gan的同側,量子阱發(fā)出的光主要通過透明藍寶石面逸出,沒有正裝芯片和垂直芯片電極和封裝打金線遮光的問題,電流通過反射層金屬直接注入,電流分布均勻,電壓低亮度高,適用于大功率和大電流密度的芯片使用,倒裝芯片產品具有免打線、低電壓、高光效、低熱阻、高可靠性、高飽和電流密度等優(yōu)點,逐漸成為市場重點開發(fā)方向。
現有技術中,通常采用干法刻蝕方法刻蝕gan外延層形成溝槽隔離區(qū)3,利用該溝槽隔離區(qū)3來對芯片隔離,形成的led芯片結構如附圖1所示。這種形成溝槽隔離區(qū)來隔離相鄰芯片單元的方法,具有如下問題:
1、隔離溝槽區(qū)的gan外延層刻蝕不干凈會造成漏電;
2、長時間的干法刻蝕對gan外延層側壁有損傷,影響芯片性能;
3、在進行芯片單元間的金屬連接時,溝槽連接處可能發(fā)生金屬斷裂,導致芯片接觸不良;
4、倒裝芯片封裝時錫膏有可能滲進隔離溝槽區(qū),導致芯片n焊盤和p焊盤直接導通,封裝器件直接失效,另外,滲進隔離溝槽區(qū)的錫膏有可能進一步通過側壁滲進單顆芯片,造成漏電;
5、深刻蝕溝槽寬度太寬損失發(fā)光面積。
針對上述問題,本發(fā)明提供一種新的高壓倒裝led芯片結構及其制造方法是本領域技術人員需要解決的課題。
技術實現要素:
鑒于以上所述現有技術的缺點,本發(fā)明的目的在于提供一種高壓倒裝led芯片結構及其制造方法,用于解決現有技術中用深刻溝槽作為隔離區(qū),容易發(fā)生溝槽連接處金屬斷裂、芯片單元間漏電以及溝槽寬度太寬引起的發(fā)光面積減少等的問題。
為實現上述目的及其他相關目的,本發(fā)明提供一種高壓倒裝led芯片的制造方法,所述制造方法至少包括:
1)提供表面沉積有gan外延層的生長襯底,所述gan外延層包括n型gan層、生長在所述n型gan層表面的多量子阱層以及生長在所述多量子阱層表面的p型gan層;
2)在所述gan外延層中進行離子注入形成多個表面平坦的隔離區(qū),從而使所述gan外延層形成多個相互獨立的芯片單元;
3)刻蝕所述gan外延層,形成暴露所述n型gan層的開口;
4)在所述p型gan層表面形成金屬反射層,在所述金屬反射層上覆蓋阻擋層;
5)在所述步驟4)獲得的結構表面覆蓋第一絕緣層,在所述開口中第一絕緣層表面開孔,暴露出所述n型gan層,同時在所述第一絕緣層表面開孔,形成暴露所述阻擋層的互連窗口,以引出所述p型gan層的電性;
6)在所述第一絕緣層表面、開口以及互連窗口中制備金屬連接層,以使相鄰芯片單元的p型gan層與n型gan層相連,形成串聯結構;
7)在所述第一絕緣層和金屬連接層表面覆蓋第二絕緣層,并且在芯片單元表面的第二絕緣層上分別形成n電極接觸孔和p電極接觸孔;
8)在所述n電極接觸孔中和第二絕緣層表面制備n電極焊盤,在所述p電極接觸孔中和第二絕緣層表面制備p電極焊盤,所述n電極焊盤和p電極焊盤覆蓋至少一個所述隔離區(qū)。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,離子注入形成的所述隔離區(qū)的寬度范圍為1~20μm。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,離子注入形成的所述隔離區(qū)的寬度范圍為5~10μm。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述離子注入的元素選自p、he、ar、n、o、h或fe中的一種或多種的組合。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述離子注入的濃度范圍為1.0×1011cm-2~1.0×1016cm-2。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述步驟4)中,形成所述金屬反射層之前,于所述p型gan層表面先形成透明電極層。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述阻擋層為金屬阻擋層,包括cr、al、tiw、pt、ti、au、ni中的一種或幾種的組合。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述金屬反射層為ni、al、ti、pt或者au中的一種或多種的組合。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片的制造方法的一種優(yōu)化的方案,所述第一絕緣層和第二絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅。
本發(fā)明還提供一種高壓倒裝led芯片結構,利用上述制備方法所制備形成,所述芯片結構包括:生長襯底、gan外延層、隔離區(qū)、金屬反射層、阻擋層、第一絕緣層、金屬連接層、第二絕緣層、p電極焊盤以及n電極焊盤;
所述gan外延層沉積在所述生長襯底表面,所述gan外延層包括n型gan層、生長在所述n型gan層表面的多量子阱層以及生長在所述多量子阱層表面的p型gan層;
所述隔離區(qū)離子注入形成于所述gan外延層中;
所述gan外延層中形成有暴露所述n型gan層的開口;
所述金屬反射層形成于所述p型gan層表面;
所述阻擋層覆蓋于所述金屬反射層表面;
所述第一絕緣層覆蓋于所述gan外延層及阻擋層的表面,并且在所述第一絕緣層中形成于暴露所述n型gan層的開口以及暴露所述阻擋層的互連窗口;
所述金屬連接層形成于所述第一絕緣層表面、開口以及互連窗口中,使相鄰芯片單元的p型gan層與n型gan層相連,形成串聯結構;
所述第二絕緣層覆蓋于所述第一絕緣層和金屬連接層表面,并且在芯片單元表面的第二絕緣層上分別形成n電極接觸孔和p電極接觸孔;
所述n電極焊盤制備在所述n電極接觸孔中和第二絕緣層表面,所述p電極焊盤制備在所述p電極接觸孔中和第二絕緣層表面,所述n電極焊盤和p電極焊盤覆蓋至少一個所述隔離區(qū)。
作為本發(fā)明高壓倒裝led芯片結構的一種優(yōu)化的方案,所述p型gan層和金屬反射層之間還包括透明電極層。
如上所述,本發(fā)明的高壓倒裝led芯片結構及其制造方法,具有以下有益效果:
1、與深刻蝕形成的隔離槽相比,本發(fā)明的離子注入形成的隔離區(qū)可以大大降低因刻蝕造成的發(fā)光二極管的發(fā)光面積的損失,刻蝕的寬度一般在20um以上,寬度太寬,而離子注入形成的隔離區(qū)寬度可以根據實際設計需求,調整在合適的范圍內。
2、采用本發(fā)明的隔離區(qū),由于隔離區(qū)表面非常平坦,芯片之間的橋接可以更加平緩,更易于芯片之間的橋接。
3、本發(fā)明的芯片隔離區(qū)與其它區(qū)域高度差小,隔離區(qū)絕緣效果好,芯片封裝時良率高,降低封裝工藝難度,與封裝支架的兼容性更強。
4、與在深刻蝕溝槽中填滿氧化硅作為芯片隔離相比,利用本發(fā)明離子注入形成的隔離區(qū),其芯片的vf4(1ua下電壓)更好。
附圖說明
圖1為現有技術中高壓倒裝led芯片結構示意圖。
圖2~圖10為本發(fā)明高壓倒裝led芯片制造方法的結構流程圖。
元件標號說明
1生長襯底
2gan外延層
21n型gan層
22多量子阱層和p型gan層
3隔離區(qū)
4開口
5金屬反射層
6阻擋層
7第一絕緣層
8互連窗口
9金屬連接層
10第二絕緣層
11n電極接觸孔
12p電極接觸孔
13n電極焊盤
14p電極焊盤
具體實施方式
以下通過特定的具體實例說明本發(fā)明的實施方式,本領域技術人員可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點與功效。本發(fā)明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應用,本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用,在沒有背離本發(fā)明的精神下進行各種修飾或改變。
請參閱附圖。需要說明的是,本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發(fā)明的基本構想,遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關的組件而非按照實際實施時的組件數目、形狀及尺寸繪制,其實際實施時各組件的型態(tài)、數量及比例可為一種隨意的改變,且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。
本發(fā)明提供一種高壓倒裝led芯片的制造方法,所述制造方法至少包括以下步驟:
首先執(zhí)行步驟1),如圖2所示,提供表面沉積有gan外延層2的生長襯底1,所述gan外延層2包括n型gan層21、生長在所述n型gan層表面的多量子阱層以及生長在所述多量子阱層表面的p型gan層22。
在步驟1)中,所述生長襯底1可以是藍寶石襯底等低導熱率襯底,當然,根據工藝需要,也可以是其他適合制作led芯片的襯底,例如尖晶石(mgal2o4)、sic、zns、zno或gaas襯底等等,在此不限。本實施例中所述生長襯底1優(yōu)選為藍寶石襯底。
沉積所述n型gan層21、多量子阱層及p型gan層22的工藝是常規(guī)工藝,在此不再一一贅述。
其次執(zhí)行步驟2),如圖3所示,在所述gan外延層2中進行離子注入形成多個表面平坦的隔離區(qū)3,從而使所述gan外延層2形成多個相互獨立的芯片單元。
在步驟2)中,通過掩膜版設計對規(guī)定的gan外延層2區(qū)域進行離子注入,根據所述gan外延層2厚度,調節(jié)離子注入所需的能量和注入角度,以使所述隔離區(qū)3貫穿整個gan外延層,從而起到隔離作用。
作為示例,采用p、he、ar、n、o、h或fe等中的一種或多種離子進行離子注入,在所述gan外延層形成所述多個隔離區(qū)3。所述離子注入的濃度選擇在1.0×1011cm-2~1.0×1016cm-2范圍內,以使形成的隔離區(qū)3起到隔離作用。
作為示例,離子注入形成的所述隔離區(qū)3的寬度范圍為1~20μm。優(yōu)選地,離子注入形成的所述隔離區(qū)的寬度范圍為5~10μm。例如,所述隔離區(qū)的寬度可以是5μm、8μm、15μm、18μm等等。現有技術中,如圖1所示,采用刻蝕工藝在gan外延層中形成溝槽隔離區(qū)3來隔離芯片單元,而刻蝕形成的溝槽寬度一般在20μm以上,寬度太寬造成發(fā)光二極管發(fā)光面積損失,而本申請可以根據實際設計需求,采用離子注入形成隔離區(qū)3,寬度較小,可以大大降低因刻蝕造成的發(fā)光二極管發(fā)光面積的損失。另外,由于離子注入形成的隔離區(qū)非常平坦,因此后續(xù)制備形成的金屬連接層、p電極焊盤和n電極焊盤,其覆蓋在隔離區(qū)上的部分不容易斷裂。
接著執(zhí)行步驟3),如圖4所示,刻蝕所述gan外延層2,形成暴露所述n型gan層21的開口4。
如圖4所示,可以采用干法刻蝕或者濕法刻蝕工藝對獨立的每一個芯片進行刻蝕,在每一個芯片表面形成貫穿p型gan層22、多量子阱層直到n型gan層21表面的開口4。
本實施例中,采用干法刻蝕工藝,例如icp或者pie工藝進行刻蝕,形成暴露所述n型gan層21的開口4。
接著執(zhí)行步驟4),如圖5~圖6所示,在所述p型gan層22表面形成金屬反射層5,在所述金屬反射層5上覆蓋阻擋層6。
可以采用蒸鍍和負膠剝離技術或者蒸鍍和刻蝕技術在p型gan層22的表面形成金屬反射層5。所述金屬反射層5的材質采用ni、al、ti、pt或者au等中的一種或多種的組合,厚度范圍為
可以采用蒸鍍和負膠剝離技術或者蒸鍍和刻蝕技術形成阻擋層6。形成的阻擋層6將所述金屬反射層5的表面和側面全部包覆,用于保護金屬反射層5。所述阻擋層6采用金屬阻擋層,采用cr、al、tiw、pt、ti、au、ni等中的一種或幾種的組合。
作為優(yōu)選的方案,在形成所述金屬反射層5之前,于所述p型gan層22表面先形成透明電極層(未予以圖示),以在透明電極層5與外延層2之間形成良好的歐姆接觸,更有利于電流擴展。
再執(zhí)行步驟5),如圖7所示,在所述步驟4)獲得的結構表面覆蓋第一絕緣層7,在所述開口4中第一絕緣層7表面開孔,暴露出所述n型gan層21,同時在所述第一絕緣層7表面開孔,形成暴露所述阻擋層6的互連窗口8,以引出所述p型gan層22的電性。
所述第一絕緣層7選自sio2或si3n4等。本實施例中,所述第一絕緣層7為sio2材料。
接著執(zhí)行步驟6),如圖8所示,在所述第一絕緣層7表面、開口4以及互連窗口8中制備金屬連接層9,以使相鄰芯片單元的p型gan層22與n型gan層21相連,形成串聯結構。
所述金屬連接層9的材料為cr、al、ti、ni、pt或者au中的一種或多種的組合,厚度范圍為
由于采用了離子注入形成的區(qū)域作為芯片單元的隔離區(qū)3,該隔離區(qū)3表面與gan外延層的表面高度相等,當利用金屬連接層9進行電性連接時,芯片單元之間的橋接更加平緩,降低了金屬連接層9斷裂的風險。
繼續(xù)執(zhí)行步驟7),如圖9所示,在所述第一絕緣層7和金屬連接層9表面覆蓋第二絕緣層10,并且在芯片單元表面的第二絕緣層10上分別形成n電極接觸孔11和p電極接觸孔12。
所述第二絕緣層10選自sio2或si3n4等。本實施例中,所述第二絕緣層10為sio2材料。
所述n電極接觸孔11和p電極接觸孔12的形狀和尺寸不限。所述n電極接觸孔11用于將n型gan層21電性引出,所述p電極接觸孔12用于將p型gan層22電性引出。
最后執(zhí)行步驟8),如圖10所示,在所述n電極接觸孔11中和第二絕緣層10表面制備n電極焊盤13,在所述p電極接觸孔12中和第二絕緣層10表面制備p電極焊盤14,所述n電極焊盤13和p電極焊盤14覆蓋至少一個所述隔離區(qū)。
由于芯片隔離區(qū)3與其它區(qū)域幾乎沒有高度差,隔離區(qū)絕緣效果好,芯片封裝時良率也大幅度提高,從而降低了封裝工藝難度,與封裝支架的兼容性更強。
如圖10所示,n電極焊盤13和p電極焊盤14覆蓋了2~3個隔離區(qū)3,由于隔離區(qū)3很平坦,所以利用隔離區(qū)3,可以很好的避免現有技術中深溝槽的漏電的問題。
如圖10所示,本發(fā)明還提供一種高壓倒裝led芯片結構,所述芯片結構至少包括:生長襯底1、gan外延層2、隔離區(qū)3、金屬反射層5、阻擋層6、第一絕緣層7、金屬連接層9、第二絕緣層10、p電極焊盤14以及n電極焊盤13。
所述gan外延層2沉積在所述生長襯底1表面,所述gan外延層包括n型gan層21、生長在所述n型gan層21表面的多量子阱層以及生長在所述多量子阱層表面的p型gan層22。
所述隔離區(qū)3離子注入形成于所述gan外延層2中。作為示例,離子注入形成的所述隔離區(qū)3的寬度范圍為1~20μm。優(yōu)選地,離子注入形成的所述隔離區(qū)3的寬度范圍為5~10μm。
所述gan外延層2中形成有暴露所述n型gan層21的開口4,所述金屬反射層5形成于所述p型gan層22表面;所述阻擋層6覆蓋于所述金屬反射層5表面;所述第一絕緣層7覆蓋于所述gan外延層2及阻擋層6的表面,并且在所述第一絕緣層7中形成于暴露所述n型gan層21的開口以及暴露所述阻擋層6的互連窗口8;所述金屬連接層9形成于所述第一絕緣層7表面、開口4以及互連窗口8中,使相鄰芯片單元的p型gan層22與n型gan層21相連,形成串聯結構;所述第二絕緣層10覆蓋于所述第一絕緣層7和金屬連接層9表面,并且在芯片單元表面的第二絕緣層10上分別形成n電極接觸孔11和p電極接觸孔12;所述n電極焊盤13制備在所述n電極接觸孔11中,所述p電極焊盤14制備在所述p電極接觸孔12中。
作為示例,所述p型gan層22和金屬反射層5之間還包括透明電極層(未予以圖示)。
綜上所述,本發(fā)明提供一種高壓倒裝led芯片結構及其制造方法,包括:沉積有gan外延層的生長襯底;離子注入形成多個隔離區(qū),從而使所述gan外延層形成多個相互獨立的芯片單元,之后進行mesa臺階刻蝕、形成反射金屬層;形成阻擋層;形成第一絕緣層;形成互連金屬層;形成第二絕緣層;制作n、p電極焊盤等。本發(fā)明高壓倒裝led芯片通過在gan外延層中進行離子注入形成多個隔離區(qū),可以大大降低因刻蝕造成的發(fā)光二極管發(fā)光面積的損失,并且利用離子注入形成的隔離區(qū),可以使芯片之間的橋接可以更加平緩,更易于芯片之間的橋接;另外,芯片隔離區(qū)與其它區(qū)域高度差小,n、p電極焊盤之間不易導通,絕緣效果好,芯片封裝時良率高,降低封裝工藝難度,與封裝支架的兼容性更強。
所以,本發(fā)明有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業(yè)利用價值。
上述實施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對上述實施例進行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應由本發(fā)明的權利要求所涵蓋。