技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種電子源器件，包括射頻電源、射頻感抗匹配網(wǎng)絡(luò)、起輝維持極、射頻線圈、絕緣電離腔體和正離子收集極。射頻感抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接射頻電源和射頻線圈，絕緣電離腔體罩設(shè)于正離子收集極，且與正離子收集極圍合形成絕緣電離腔室；絕緣電離腔體開(kāi)設(shè)有發(fā)射孔，起輝維持極開(kāi)設(shè)有與發(fā)射孔對(duì)應(yīng)的通孔；正離子收集極開(kāi)設(shè)有用于通入惰性氣體的進(jìn)氣通道，以及連通進(jìn)氣通道和絕緣電離腔室之間的惰性氣體供氣孔，射頻線圈套設(shè)于絕緣電離腔體外側(cè)。將射頻電源作為電子源器件的驅(qū)動(dòng)電源，無(wú)需燈絲加熱，無(wú)耗材，工作時(shí)間超過(guò)1000小時(shí)以上，且對(duì)散熱要求低，提高了電子源器件的使用壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：劉偉基
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中山市博頓光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201621474934
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.06.30