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電子源器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12782252

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本實(shí)用新型涉及真空加工技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種電子源器件。背景技術(shù)電子源器件普遍應(yīng)用在真空加工領(lǐng)域,其主要作用是在真空環(huán)境中產(chǎn)生持續(xù)的自由電子。經(jīng)過一系列的電場(chǎng)磁場(chǎng)作用控制電子空間分布,高能電子與物體作用能產(chǎn)生巨大的熱能,對(duì)材料表面進(jìn)行包括熔解在內(nèi)的熱處理。電子源能使真空環(huán)境處于電子云狀態(tài),有效中和空間的正電荷,防止正電荷導(dǎo)致的打火放電。傳統(tǒng)的電子源器件是通過在燈絲兩端加上數(shù)伏電壓,產(chǎn)生10A以上的電流。電流產(chǎn)生的高溫使金屬表面能產(chǎn)生大量自由電子。通過對(duì)燈絲加熱產(chǎn)生高溫,連續(xù)工作數(shù)小時(shí)燈絲就燒斷...
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