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一種半導(dǎo)體激光器的制作方法

文檔序號:12843897閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體激光器,其特征是:包括有從下至上依次設(shè)置的n型襯底、n型第一下光學(xué)限制層、n型第一波導(dǎo)層、n型第二下光學(xué)限制層、n型第二下波導(dǎo)層、多量子阱有源區(qū)、p型第二上波導(dǎo)層、p型第二上光學(xué)限制層和p型接觸層;所述n型第一波導(dǎo)層的平面尺寸大于n型第二波導(dǎo)層的平面尺寸;所述n型襯底、n型第一下光學(xué)限制層和n型第一波導(dǎo)層的平面尺寸相同;所述n型第二下波導(dǎo)層、多量子阱有源區(qū)、p型第二上波導(dǎo)層、p型第二上光學(xué)限制層和p型接觸層的平面尺寸相同;所述n型第二下光學(xué)限制層下端面的平面尺寸與n型第一波導(dǎo)層的平面尺寸相同;所述n型第二下光學(xué)限制層上端面的平面尺寸與n型第二下波導(dǎo)層的平面尺寸相同。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器,其特征是:激光器的后腔面上鍍有高反射膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器,其特征是:所述激光器的前腔面上鍍有抗反射膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體激光器,其特征是:從n型第二波導(dǎo)層到p型接觸層的區(qū)間靠近出光區(qū)的區(qū)域刻蝕成布拉格光柵。

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