1.一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：包括去損傷槽體（1）、第一溢流清洗槽（2）、制絨槽體（3）、第二溢流清洗槽（4）、第一酸槽體（5）、第三溢流清洗槽（6）、機械臂（7）、花籃和卡爪（8），六個槽體并排排列，所述機械臂（7）水平移動地設置于各個槽體的上方，所述卡爪（8）設置于所述機械臂（7）上，所述機械臂（7）上還一體連接有一由控制器控制的噴淋裝置（9），所述花籃的兩端均延伸設置有與所述卡爪（8）卡接的延伸端（81），所述硅片放置于所述花籃中，所述機械臂（7）、所述噴淋裝置（9）和所述卡爪（8）上下抬升運動時帶動所述花籃上下運動，實現(xiàn)放置在花籃中的硅片在各個槽體內(nèi)的清洗。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：所述6個槽體相互之間均設置有用于隔離的隔板。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：所述6個槽體上方均自動開合連接有一槽蓋。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：所述機械臂的兩端對稱固定設置有兩對卡爪，所述卡爪（8）為倒7字型，每對所述卡爪的下端分別開設有一用于掛設所述花籃的延伸端（81）。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：所述噴淋裝置（9）上設置有噴嘴，所述噴嘴連接至清洗劑供給管路。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：所述噴淋裝置（9）包括至少一根管路，每個所述管路上均開設有多個用于噴射的噴孔，每個所述管路為耐腐蝕的管路。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片清洗制絨裝置，其特征在于：還包括并排排列的第四溢流清洗槽、第二酸槽體和第三酸槽體。