本發(fā)明涉及機(jī)械手領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的多頭獨(dú)立真空吸取機(jī)械手。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體，指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。無論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計(jì)算機(jī)、移動電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連。常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種。

在很多半導(dǎo)體設(shè)備中，都需要通過真空機(jī)械手將芯片吸取后再搬送至指定的不同位置，由于機(jī)械手上下運(yùn)動吸取芯片的時間比搬送芯片至指定位置的時間要短很多，因此若要提高機(jī)器的產(chǎn)能，就需要一種結(jié)構(gòu)緊湊且多頭可以獨(dú)立吸取的真空機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、多頭獨(dú)立工作的真空吸取機(jī)械手，每個吸盤的上下動作和真空吸取動作都可以單獨(dú)控制，因此能分次吸取多個產(chǎn)品后再逐個放在不同的指定位置，從而起到提高機(jī)器產(chǎn)能的作用。

本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體設(shè)備的多頭獨(dú)立真空吸取機(jī)械手，包括底座，所述底座的中部固接電機(jī)安裝板，所述電機(jī)安裝板上固接有若干個電機(jī)，電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有齒輪，所述齒輪的兩側(cè)分別設(shè)有與其相嚙合的圓齒條，所述齒輪和圓齒條位于底座內(nèi)；所述圓齒條的上下兩端為光軸導(dǎo)向端，分別設(shè)有直線軸承，所述圓齒條的頂端固接有氣管固定塊，底端固接有吸盤固定塊，所述氣管固定塊和吸盤固定塊分別位于底座的兩端；所述吸盤固定塊的兩端分別設(shè)有導(dǎo)向軸和圓齒條，導(dǎo)向軸和圓齒條的配合精確定位吸盤固定塊的位置，所述導(dǎo)向軸位于底座內(nèi)，所述吸盤固定塊的側(cè)邊設(shè)有吸盤安裝桿，所述吸盤安裝桿上固接有吸盤。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述導(dǎo)向軸的底端為光軸導(dǎo)向端，設(shè)有直線軸承。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述電機(jī)的數(shù)量為4～8個。

本發(fā)明采用的有益效果是：本結(jié)構(gòu)的多頭獨(dú)立真空吸取機(jī)械手，通過齒輪和圓齒條的嚙合，將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為圓齒條的上下直線運(yùn)動，從而驅(qū)動吸盤的上下運(yùn)動。配合真空吸取，達(dá)到分次吸取多個產(chǎn)品再逐個放在不同的指定位置，有效的提高工作效率。本發(fā)明控制精準(zhǔn)，使用方便，定位準(zhǔn)確，極大的提高了工作產(chǎn)能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明示意圖。

圖2為本發(fā)明側(cè)視圖。

圖中所示：1 底座，2 電機(jī)安裝板，3 電機(jī)，4 齒輪，5 圓齒條，6 氣管固定塊，7 吸盤固定塊，8 吸盤安裝桿，9 吸盤，10 直線軸承，11 導(dǎo)向軸。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合圖1和圖2，對本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。

如圖所示，一種半導(dǎo)體設(shè)備的多頭獨(dú)立真空吸取機(jī)械手，包括底座1，所述底座1的中部固接電機(jī)安裝板2，所述電機(jī)安裝板2上固接有若干個電機(jī)3，電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有齒輪4，所述齒輪4的兩側(cè)分別設(shè)有與其相嚙合的圓齒條5，所述齒輪4和圓齒條5位于底座1內(nèi)；所述圓齒條5的上下兩端為光軸導(dǎo)向端，分別設(shè)有直線軸承10，所述圓齒條5的頂端固接有氣管固定塊6，底端固接有吸盤固定塊7，所述氣管固定塊6和吸盤固定塊7分別位于底座1的兩端；所述吸盤固定塊7的兩端分別設(shè)有導(dǎo)向軸11和圓齒條5，導(dǎo)向軸11和圓齒條6的配合精確定位吸盤固定塊7的位置，所述導(dǎo)向軸11位于底座1內(nèi)，所述吸盤固定塊7的側(cè)邊設(shè)有吸盤安裝桿8，所述吸盤安裝桿8上固接有吸盤9。

圓齒條、齒輪和導(dǎo)向軸都位于底座內(nèi)，有效確保了整個機(jī)械手不會因外物侵入而停止工作和影響工作精度。圓齒條和導(dǎo)向軸為別位于吸盤固定塊的兩側(cè)，相互配合精確定位吸盤固定塊的位置，吸盤固定塊的位置能夠精準(zhǔn)定位，固接其上的吸盤就能精準(zhǔn)定位。每個電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上設(shè)有1個齒輪，齒輪的兩側(cè)分別連接有圓齒條，通過電機(jī)的正反轉(zhuǎn)運(yùn)動，驅(qū)動圓齒條運(yùn)動，從而帶動吸盤做交替的上下運(yùn)動，同時通過控制電機(jī)的轉(zhuǎn)動角度就可以調(diào)整吸盤上下的位移量。從而確保每個吸盤的上下動作和真空吸取動作都可以單獨(dú)控制，因此能分次吸取多個產(chǎn)品后再逐個放在不同的指定位置，從而起到提高機(jī)器產(chǎn)能的作用。

為進(jìn)一步提高吸盤的精準(zhǔn)定位，所述導(dǎo)向軸11的底端為光軸導(dǎo)向端，設(shè)有直線軸承，直線軸承來實(shí)現(xiàn)精密直線運(yùn)動。

為進(jìn)一步提高整個設(shè)備的工作效率，增加產(chǎn)能，所述電機(jī)的數(shù)量為4～8個。

為進(jìn)一步加深理解，特選取實(shí)施例做進(jìn)一步描述。

實(shí)施例1，4個電機(jī)通過電機(jī)安裝板一起安裝在固定座上，每個電機(jī)的轉(zhuǎn)軸上安裝一個齒輪，每個齒輪分別與左右兩根圓齒條嚙合，圓齒條的上下兩端是光軸導(dǎo)向端，通過直線軸承來實(shí)現(xiàn)精密直線運(yùn)動，每根圓齒條與導(dǎo)向軸下面安裝一個吸盤固定塊，吸盤通過吸盤安裝桿裝在吸盤固定塊上，這樣通過電機(jī)的正反轉(zhuǎn)帶動齒輪正反轉(zhuǎn)，通過齒輪與圓齒條的嚙合，左右兩根圓齒條交替向下運(yùn)動，帶動吸盤交替向下運(yùn)動來吸取芯片。

齒輪齒條的模數(shù)都是0.5，齒輪的齒數(shù)是18，分度圓直徑9mm，圓齒條直徑為8mm，分度高為7mm，中間有效齒數(shù)長度為50mm，這樣吸盤向下最大的運(yùn)動行程就是25mm，兩根圓齒條之間的間距為16mm，由上述技術(shù)參數(shù)可以看出該機(jī)械手結(jié)構(gòu)緊湊，且每個吸盤都可以獨(dú)立取放。

本結(jié)構(gòu)的多頭獨(dú)立真空吸取機(jī)械手，通過齒輪和圓齒條的嚙合，將電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為圓齒條的上下直線運(yùn)動，從而驅(qū)動吸盤的上下運(yùn)動。配合真空吸取，達(dá)到分次吸取多個產(chǎn)品再逐個放在不同的指定位置，有效的提高工作效率。本發(fā)明控制精準(zhǔn)，使用方便，定位準(zhǔn)確，極大的提高了工作產(chǎn)能。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)知曉，本發(fā)明的保護(hù)方案不僅限于上述的實(shí)施例，還可以在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行各種排列組合與變換，在不違背本發(fā)明精神的前提下，對本發(fā)明進(jìn)行的各種變換均落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。