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一種硅片傳送裝置的制作方法

文檔序號:12121398閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種硅片傳送裝置,其特征在于:包括機架及連續(xù)式結構的皮帶輸送線,所述皮帶輸送線包括第一主動輪、第二主動輪、第一從動輪、第二從動輪、第一皮帶、第二皮帶及驅動電機,所述第一主動輪、第二主動輪均安裝于主動軸上,所述第一從動輪、第二從動輪均安裝于從動軸上,所述主動軸與驅動電機傳動連接,所述第一皮帶環(huán)繞于第一主動輪、第一從動輪上,所述第二皮帶環(huán)繞于第二主動輪、第二從動輪上,所述第一皮帶、第二皮帶平行布置,且第一皮帶與第二皮帶之間設置有間隙,所述機架上設置有防止硅片偏轉的定位機構。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片傳送裝置,其特征在于:所述定位機構包括第一定位板、第二定位板,所述第一定位板由第一驅動裝置驅動,并可左右移動的設置于皮帶輸送線的左側,所述第二定位板由第二驅動裝置驅動,并可左右移動的設置于皮帶輸送線的右側,所述第一定位板上設置有多個沿皮帶輸送線輸送方向排布的第一定位輪,所述第二定位板上設置有多個沿皮帶輸送線輸送方向排布的第二定位輪。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片傳送裝置,其特征在于:所述第一定位輪、第二定位輪均由橡膠材料制成。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片傳送裝置,其特征在于:所述第一驅動裝置、第二驅動裝置均為氣缸。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片傳送裝置,其特征在于:所述機架上設置有計數(shù)裝置,所述計數(shù)裝置為光電傳感器。

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