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一種帶ITO薄膜結構的LED芯片的制作方法

文檔序號:11990401閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種帶ITO薄膜結構的LED芯片,包括GaAs襯底,在GaAs襯底的上面依次設有緩沖層、n?AIGaInP限制層、多量子阱(MQW)有源層、p?AIGaInP限制層和p?GaP窗口層,在p?GaP窗口層上設有ITO薄膜層,在GaAs襯底的下面制作背電極,其特征在于:在ITO薄膜層上設有金屬電極層;金屬電極層包括主電極和擴展電極,主電極連接在p?GaP窗口層上,擴展電極連接在ITO薄膜層上。本實用新型提高了整個金屬電極層的附著性,確保發(fā)光器件工作電壓穩(wěn)定,提高產品的焊線可靠性,極大地提升了產品的質量和良率。

技術研發(fā)人員:張銀橋;潘彬
受保護的技術使用者:南昌凱迅光電有限公司
文檔號碼:201620569290
技術研發(fā)日:2016.06.13
技術公布日:2016.12.07

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