技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種柔性O(shè)LED顯示屏的薄膜封裝方法，所述方法采用三甲基鋁作為有機鋁源，高純臭氧作為反應(yīng)氣體，高純氮氣作為清除氣體，在襯底上使用原子層沉積工藝制備Al2O3致密介質(zhì)膜層，然后涂覆聚對二甲苯層，通過固化的方法聚合成高分子膜。本發(fā)明提供上述方法有效克服OLED器件封裝保護層在折彎柔性顯示裝置時容易斷裂，從而使得水氧阻隔能力大幅降低，影響顯示效果，甚至可能導致OLED失效的技術(shù)缺陷，本發(fā)明提供上述方法過程中不需要加入干燥劑，制備的封裝結(jié)構(gòu)能夠有效的阻隔水氧對顯示屏的浸入，防止材料老化，延長了OLED器件壽命。

技術(shù)研發(fā)人員：陳慶;曾軍堂;王鐳迪
受保護的技術(shù)使用者：成都新柯力化工科技有限公司
文檔號碼：201611195482
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.22
技術(shù)公布日：2017.06.20