技術特征：

1.一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述方法采用三甲基鋁作為有機鋁源，高純臭氧作為反應氣體，高純氮氣作為清除氣體在襯底上制備Al₂O₃介質致密膜層，然后涂覆聚對二甲苯層，包括以下步驟：

（1）清洗塑料襯底，獲得清潔的塑料襯底；

（2）在所述清潔塑料襯底上，采用250-320℃的襯底溫度，真空度下，采用三甲基鋁作為鋁源、高純臭氧分子為反應氣體，高純氮氣為清除氣體，通過原子層沉積Al₂O₃介質致密膜層；

（3）對二甲苯二聚體進行140-180℃高溫裂解產生雙自由基二甲苯，再在Al₂O₃介質致密膜層表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對二甲苯薄膜，作為阻擋水汽和氧氣的屏障；

（4）將所述塑料襯底粘帖在OLED的金屬陰極層上，壓緊后，周圍涂上PMMA，完成器件封裝。

2.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述清洗塑料襯底包括以下步驟：

在乙醇溶液中超聲清洗10-15分鐘，去除塑料襯底表面的油脂，然后用去離子水沖洗，去除塑料襯底表面的鹽，在40-50℃的氬氣保護下烘干塑料襯底；

所述氬氣為純度為99.9%，氬氣的環(huán)境氣壓為100-1000Pa。

3.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述原子層沉積三甲基鋁的流量為10-20sccm，高純臭氧的流量為20-50sccm，高純氮氣的流量為50-100sccm。

4.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述高純臭氧的純度為99.999%，高純氮氣的純度為99.999%。

5.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，在所述原子層沉積的時間為30-50分鐘。

6.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述Al₂O₃介質致密膜層的厚度為10-50nm。

7.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述聚對二甲苯薄膜的沉積溫度為40-60℃。

8.根據權利要求1所述的一種柔性OLED顯示屏的薄膜封裝方法，其特征在于，所述聚對二甲苯薄膜的沉積厚度為20-120nm。