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P型PERC雙面太陽能電池、組件和系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12725666閱讀:319來源:國知局
P型PERC雙面太陽能電池、組件和系統(tǒng)的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及太陽能電池領(lǐng)域,尤其涉及一種P型PERC雙面太陽能電池;本發(fā)明還涉及一種P型PERC雙面太陽能電池、組件和系統(tǒng)。



背景技術(shù):

晶硅太陽能電池是一種有效吸收太陽輻射能,利用光生伏打效應(yīng)把光能轉(zhuǎn)換成電能的器件,當(dāng)太陽光照在半導(dǎo)體P-N結(jié)上,形成新的空穴-電子對,在P-N結(jié)電場的作用下,空穴由N區(qū)流向P區(qū),電子由P區(qū)流向N區(qū),接通電路后就形成電流。

傳統(tǒng)晶硅太陽能電池基本上只采用正面鈍化技術(shù),在硅片正面用PECVD的方式沉積一層氮化硅膜,降低少子在前表面的復(fù)合速率,可以大幅度提升晶硅電池的開路電壓和短路電流,從而提升晶硅太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

隨著對晶硅電池的光電轉(zhuǎn)換效率的要求越來越高,人們開始研究PERC背鈍化太陽電池技術(shù)。目前業(yè)界主流廠家的焦點(diǎn)集中在單面PERC太陽能電池的量產(chǎn),而P型PERC雙面太陽能電池,由于光電轉(zhuǎn)換效率高,同時(shí)雙面吸收太陽光,發(fā)電量更高,在實(shí)際應(yīng)用中具有更大的使用價(jià)值。但是,目前P型PERC雙面太陽能電池也僅僅是一些研究機(jī)構(gòu)在實(shí)驗(yàn)室做的研究,如何將P型PERC雙面太陽能電池的結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化從而適應(yīng)大批量生產(chǎn),有待本領(lǐng)域技術(shù)人員進(jìn)一步探討和研究。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于,提供一種P型PERC雙面太陽能電池,可雙面吸收太陽光,擴(kuò)大太陽能電池的應(yīng)用范圍和提高光電轉(zhuǎn)換效率。

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于,提供一種P型PERC雙面太陽能電池、組件和系統(tǒng),可雙面吸收太陽光,擴(kuò)大太陽能電池的應(yīng)用范圍和提高光電轉(zhuǎn)換效率。

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種P型PERC雙面太陽能電池,包括背銀主柵、鋁柵線、背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面氮化硅膜和正銀電極;所述背面氮化硅膜、背面氧化鋁膜、P型硅、N型發(fā)射極、正面氮化硅膜和正銀電極從下至上依次層疊連接;

所述背面氮化硅膜和背面氧化鋁膜經(jīng)過激光開槽后形成若干個(gè)激光開槽區(qū),激光開槽區(qū)包括沿鋁柵線印刷線路開槽的鋁柵開槽區(qū),每個(gè)鋁柵開槽區(qū)內(nèi)設(shè)置至少1組激光開槽單元,所述鋁柵線通過鋁柵開槽區(qū)與P型硅相連;所述鋁柵線與背銀主柵垂直連接;所述鋁柵線之間的間距不相等。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,還包括柵線脊骨,柵線脊骨設(shè)置在鋁柵線上,所述柵線脊骨與背鋁柵線連接;

所述柵線脊骨的圖案為一條連續(xù)的直線或多個(gè)線段組成的虛線;

所述柵線脊骨的根數(shù)為1-20條;

所述柵線脊骨由銀漿制成,其寬度為30-60微米;或,所述柵線脊骨由鋁漿制成,其寬度為50-500微米。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,所述激光開槽區(qū)還包括沿柵線脊骨印刷線路開槽的脊骨開槽區(qū),每個(gè)脊骨開槽區(qū)內(nèi)設(shè)置至少1組激光開槽單元,所述柵線脊骨通過脊骨開槽區(qū)與P型硅相連。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,還包括鋁柵外框,所述鋁柵外框?yàn)樗姆竭吙?,鋁柵外框分別與鋁柵線和背銀主柵的端點(diǎn)連接;所述鋁柵外框的每條邊框的寬度為30-1000μm。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,所述激光開槽區(qū)還包括沿鋁柵外框印刷線路開槽的鋁框開槽區(qū),每個(gè)鋁框開槽區(qū)內(nèi)設(shè)置至少1組激光開槽單元,所述鋁柵外框通過鋁框開槽區(qū)與P型硅相連。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,每組激光開槽單元包括至少1個(gè)激光開槽單元,激光開槽單元的圖案為圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,當(dāng)每組激光開槽單元只有一個(gè)激光開槽單元時(shí),激光開槽單元的圖案為條狀長方形的激光開槽單元;當(dāng)每組激光開槽單元包括2個(gè)或2個(gè)以上激光開槽單元時(shí),同組激光開槽單元呈間隔式排布,相鄰兩個(gè)激光開槽單元的間隔距離為0.01-50mm。

作為所述P型PERC雙面太陽能電池的優(yōu)選技術(shù)方案,所述激光開槽區(qū)的寬度為10-500μm;鋁柵線的寬度為30-550μm;背銀主柵的寬度為0.5-5mm;所述鋁柵線的根數(shù)為30-500條;所述背銀主柵的根數(shù)為2-8條;

所述背銀主柵為連續(xù)直柵;或所述背銀主柵呈間隔分段設(shè)置;或所述背銀主柵呈間隔分段設(shè)置,各相鄰分段間通過連通區(qū)域連接。

相應(yīng)地,本發(fā)明還提供一種PERC雙面太陽能電池組件,包括PERC太陽能電池和封裝材料,所述PERC太陽能電池是本發(fā)明所述的P型PERC雙面太陽能電池。

相應(yīng)地,本發(fā)明還提供一種PERC太陽能系統(tǒng),包括PERC太陽能電池,所述PERC太陽能電池是本發(fā)明所述的P型PERC雙面太陽能電池。

實(shí)施本發(fā)明實(shí)施例,具有如下有益效果:

本發(fā)明所述P型PERC雙面太陽能電池在電池背面設(shè)有多條平行設(shè)置的鋁柵線,不僅替代現(xiàn)有單面太陽能電池中全鋁背電場,實(shí)現(xiàn)背面吸光的功能,還用作背銀電極中的副柵結(jié)構(gòu)用于傳導(dǎo)電子。所述鋁柵線之間的間距不相等,簡化了激光工藝和印刷工藝,降低了印刷設(shè)備調(diào)試的難度,提高了成品率。本發(fā)明在硅片背面還設(shè)有柵線脊骨和鋁柵外框,解決鋁柵線斷柵造成的EL測試斷柵和光電轉(zhuǎn)換效率低的問題。制作本發(fā)明所述P型PERC雙面太陽能電池,可節(jié)省銀漿和鋁漿的用量,降低生產(chǎn)成本,而且實(shí)現(xiàn)雙面吸收光能,顯著擴(kuò)大太陽能電池的應(yīng)用范圍和提高光電轉(zhuǎn)換效率。

采用所述P型PERC雙面太陽能電池的組件和系統(tǒng)同樣具有上述優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第二實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第三實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖5是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖6是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第二實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖7是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第三實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖8是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第四實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖9是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第五實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖10是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第六實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。

圖11是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的激光開槽區(qū)第七實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖12是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第四實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖13是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第五實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖;

圖14是本發(fā)明一種P型PERC雙面太陽能電池的第六實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

現(xiàn)有的單面太陽能電池在電池的背面設(shè)有全鋁背電場覆蓋在硅片的整個(gè)背面,全鋁背電場的作用是提高了開路電壓Voc和短路電流Jsc,迫使少數(shù)載流子遠(yuǎn)離表面,少數(shù)載流子復(fù)合率降低,從而整體上提高電池效率。然而,由于全鋁背電場不透光,因此,具有全鋁背電場的太陽能電池背面無法吸收光能,只能正面吸收光能,電池的綜合光電轉(zhuǎn)換效率難以大幅度的提高。

針對上述技術(shù)問題,如圖1所示,本發(fā)明提供一種P型PERC雙面太陽能電池,包括背銀主柵1、鋁柵線2、背面氮化硅膜3、背面氧化鋁膜4、P型硅5、N型發(fā)射極6、正面氮化硅膜7和正銀電極8;所述背面氮化硅膜3、背面氧化鋁膜4、P型硅5、N型發(fā)射極6、正面氮化硅膜7和正銀電極8從下至上依次層疊連接;

所述背面氮化硅膜3和背面氧化鋁膜4經(jīng)過激光開槽后形成若干個(gè)平行設(shè)置的激光開槽區(qū),激光開槽區(qū)包括沿鋁柵線2印刷線路開槽的鋁柵開槽區(qū),每個(gè)鋁柵開槽區(qū)內(nèi)設(shè)置至少1組激光開槽單元9,所述鋁柵線2通過鋁柵開槽區(qū)與P型硅5相連;所述鋁柵線2與背銀主柵1垂直連接;所述鋁柵線2之間的間距不相等。所述鋁柵線2之間的間距不相等,簡化了激光工藝和印刷工藝,降低了印刷設(shè)備調(diào)試的難度,提高了成品率。

本發(fā)明對現(xiàn)有的單面PERC太陽能電池進(jìn)行改進(jìn),不再設(shè)有全鋁背電場,而是將其變成許多的鋁柵線2,采用激光開槽技術(shù)在背面氮化硅膜3和背面氧化鋁膜4上開設(shè)激光開槽區(qū),激光開槽區(qū)包括沿鋁柵線印刷線路開槽的鋁柵開槽區(qū),而鋁柵線2印刷在這些平行設(shè)置的鋁柵開槽區(qū)上,從而能與P型硅5形成局部接觸,密集平行排布的鋁柵線2不僅能起到提高開路電壓Voc和短路電流Jsc,降低少數(shù)載流子復(fù)合率,提高電池光電轉(zhuǎn)換效率的作用,可替代現(xiàn)有單面電池結(jié)構(gòu)的全鋁背電場,而且鋁柵線2并未全面遮蓋硅片的背面,太陽光可從鋁柵線2之間投射至硅片內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)硅片背面吸收光能,大幅提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

優(yōu)選地,所述鋁柵線2的根數(shù)與鋁柵開槽區(qū)的個(gè)數(shù)對應(yīng),皆為30-500條,更佳地,所述鋁柵線2的根數(shù)為80-220條。所述鋁柵線2可以是直線,也可以是曲線形、弧形、波浪形、折線形等,鋁柵開槽區(qū)形狀與鋁柵線2對應(yīng),其實(shí)施方式并不局限于本發(fā)明所舉實(shí)施例。

如圖2所示為硅片背面,鋁柵線2與背銀主柵1呈垂直連接,其中背銀主柵1為連續(xù)直柵,由于背面氮化硅膜3和背面氧化鋁膜4設(shè)有鋁柵開槽區(qū),印刷鋁漿形成鋁柵線2時(shí),鋁漿填充至鋁柵開槽區(qū),使得鋁柵線2與P型硅5形成局部接觸,可將電子傳輸至鋁柵線2,與鋁柵線2相交的背銀主柵1則匯集鋁柵線2上的電子,由此可知,本發(fā)明所述鋁柵線2起到提高開路電壓Voc和短路電流Jsc,降低少數(shù)載流子復(fù)合率,以及傳輸電子的作用,可替代現(xiàn)有單面太陽能電池中全鋁背電場,不僅減少銀漿和鋁漿的用量,降低生產(chǎn)成本,而且實(shí)現(xiàn)雙面吸收光能,顯著擴(kuò)大太陽能電池的應(yīng)用范圍和提高光電轉(zhuǎn)換效率。

本發(fā)明所述背銀主柵1除了如圖2所示為連續(xù)直柵的設(shè)置外,還可以呈間隔分段設(shè)置,如圖3所示。也可以呈間隔分段設(shè)置,且各相鄰分段間通過連通區(qū)域連接,如圖4所示。連通區(qū)域可以是三角形、四邊形、五邊形、圓形、弧形或以上幾種圖形的組合,連通區(qū)域至少1個(gè),連通區(qū)域的寬度為0.01-4.5mm。

需要說明的是,當(dāng)每個(gè)激光開槽區(qū)內(nèi)設(shè)置2組或2組以上激光開槽單元9時(shí),各組激光開槽單元9平行設(shè)置,相鄰兩組激光開槽單元9之間的間距為5-480μm。

每組激光開槽單元9包括至少1個(gè)激光開槽單元9,激光開槽單元9的圖案為圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形。

下面通過具體實(shí)例進(jìn)一步說明:

1.每個(gè)激光開槽區(qū)的激光開槽單元9的圖案相同的情況:

1.1同組激光開槽單元9圖案相同

1.1.1如圖5,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有1組激光開槽單元9,激光開槽單元9為連續(xù)的條狀長方形,激光開槽單元9的長度與鋁柵線長度相同;或激光開槽單元9的長度比鋁柵線長度短0.01-5mm;或激光開槽單元9的長度比鋁柵線長度長0.01-5mm。

1.1.2如圖6,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有2組或2組以上激光開槽單元9(圖中示例為3組),各組激光開槽單元平行設(shè)置,相鄰兩組激光開槽單元之間的間距為5-480μm。激光開槽單元9為連續(xù)的條狀長方形,激光開槽單元9的長度與鋁柵線長度相同;或激光開槽單元9的長度比鋁柵線長度短0.01-5mm;或激光開槽單元9的長度比鋁柵線長度長0.01-5mm。

1.1.3如圖7,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有1組激光開槽單元9,激光開槽單元9沿鋁柵線延伸方向間隔式排列,同組激光開槽單元9圖案可為圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形,圖中示例為長方形。

1.1.4如圖8,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有2組或2組以上激光開槽單元9(圖中示例為3組),各組激光開槽單元平行設(shè)置,相鄰兩組激光開槽單元之間的間距為5-480μm。激光開槽單元9按間隔式排列,激光開槽單元9圖案可為圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形,圖中示例為長方形。

1.2同組激光開槽單元9圖案不相同

1.2.1如圖9,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有1組激光開槽單元9,激光開槽單元9按間隔式排列,激光開槽單元9圖案可為圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形,激光開槽單元9圖案不完全相同。

1.2.2如圖10,每個(gè)激光開槽區(qū)設(shè)有2組或2組以上激光開槽單元9,激光開槽單元9沿鋁柵線延伸方向間隔式排列,激光開槽單元9圖案可為連續(xù)長線段、圓形、橢圓形、三角形、四邊形、五邊形、六邊形、十字形或星形,不同組激光開槽單元9中的激光開槽單元9排列部分不同或全部不同,圖中示例為不同組激光開槽單元9全部不同的情況。

2.不同激光開槽區(qū)的激光開槽單元9的圖案不完全相同的情況:

上述圖5-圖10中取單個(gè)激光開槽區(qū)進(jìn)行組合,如圖11,或者除激光開槽單元9為連續(xù)的長線段情況外,1.1.1-1.1.4以及1.2.1-1.2.2情況中以其中一種情況對不同激光開槽區(qū)進(jìn)行不同的排列。

需要說明的是,上面不同情況下激光開槽區(qū)之間的間隔距離可以相同,也可不同。同組激光開槽單元9的相鄰兩個(gè)激光開槽單元9的間隔距離為0.01-50mm,同組激光開槽單元9之間的間隔距離可以相同,也可不同。

本發(fā)明所述激光開槽區(qū)的寬度為10-500μm;位于激光開槽區(qū)下方的鋁柵線2的寬度大于激光開槽區(qū)的寬度,鋁柵線2的寬度為30-550μm。在上述鋁柵線2寬度選擇較大數(shù)值如500μm,而激光開槽區(qū)寬度選擇較小數(shù)值如40μm,可將多組激光開槽區(qū)并排設(shè)在同一鋁柵線2之上,保證鋁柵線2與P型硅5有足夠的接觸面積。

此外,在印刷過程中,由于鋁漿的粘度較大,網(wǎng)版的線寬又比較窄,會偶爾出現(xiàn)鋁柵線2斷柵的情況。鋁柵線2斷柵會導(dǎo)致EL測試的圖像出現(xiàn)黑色斷柵,同時(shí),鋁柵線2斷柵還會影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率,不利于提升電池品質(zhì)和性能。

為此,如圖12-14,本發(fā)明背面電極還設(shè)有柵線脊骨10和/或鋁柵外框11,柵線脊骨10與鋁柵線2相交,最優(yōu)的方案是,柵線脊骨10與鋁柵線2垂直相交。所述柵線脊骨的圖案為一條連續(xù)的直線或多個(gè)線段組成的虛線,當(dāng)為虛線時(shí),每個(gè)線段的長度可以相等也可以不相等;所述柵線脊骨的根數(shù)為1-20條;所述柵線脊骨由銀漿制成,其寬度為30-60微米;或,所述柵線脊骨由鋁漿制成,其寬度為50-500微米。

所述鋁柵外框?yàn)樗姆竭吙颍X柵外框分別與鋁柵線和背銀主柵的端點(diǎn)連接;所述鋁柵外框的每條邊框的寬度為30-1000μm。鋁柵外框11由于其形狀為四方邊框,既能與水平方向上的鋁柵線2連接,也能與豎直方向上的背銀主柵1連接。

當(dāng)鋁柵線2出現(xiàn)斷柵無法將電子傳輸?shù)奖炽y主柵1時(shí),電子可通過柵線脊骨10或鋁柵外框11傳輸?shù)狡渌X柵線2,再通過其他鋁柵線2將電子傳輸至背銀主柵1上;或者電子可通過鋁柵外框11直接傳輸至背銀主柵1上,從而解決鋁柵線2斷柵造成的EL測試斷柵和光電轉(zhuǎn)換效率低的問題。

在背面氮化硅膜和背面氧化鋁膜對應(yīng)鋁柵外框11、柵線脊骨10的位置還設(shè)有鋁框開槽區(qū)和脊骨開槽區(qū),所述鋁柵外框11通過鋁框開槽區(qū)與P型硅5相連,所述柵線脊骨10通過脊骨開槽區(qū)與P型硅5相連。鋁框開槽區(qū)和脊骨開槽區(qū)內(nèi)激光開槽單元的排布與鋁柵開槽區(qū)內(nèi)激光開槽單元的排布相同,此處不再贅述。

需要說明的是,可視實(shí)際情況而定是否設(shè)置鋁框開槽區(qū)和脊骨開槽區(qū)。

綜上,本發(fā)明所述P型PERC雙面太陽能電池改變設(shè)有多條平行設(shè)置的鋁柵線2,不僅替代現(xiàn)有單面太陽能電池中全鋁背電場實(shí)現(xiàn)背面吸光,還用于背銀電極中的副柵結(jié)構(gòu)用作傳導(dǎo)電子。所述鋁柵線2之間的間距不相等,簡化了激光工藝和印刷工藝,降低了印刷設(shè)備調(diào)試的難度,提高了成品率。本發(fā)明在硅片背面還設(shè)有柵線脊骨和鋁柵外框,解決鋁柵線斷柵造成的EL測試斷柵和光電轉(zhuǎn)換效率低的問題。制作本發(fā)明所述P型PERC雙面太陽能電池,可節(jié)省銀漿和鋁漿的用量,降低生產(chǎn)成本,而且實(shí)現(xiàn)雙面吸收光能,顯著擴(kuò)大太陽能電池的應(yīng)用范圍和提高光電轉(zhuǎn)換效率。

相應(yīng)地,本發(fā)明還提供P型PERC雙面太陽能電池的制備方法,包括以下步驟:

(1)在硅片正面和背面形成絨面,所述硅片為P型硅。

選用濕法或者干法刻蝕技術(shù),通過制絨設(shè)備在硅片表面形成絨面。

(2)在硅片正面進(jìn)行擴(kuò)散,形成N型發(fā)射極。

本發(fā)明所述制備方法采用的擴(kuò)散工藝是將硅片置于熱擴(kuò)散爐中進(jìn)行擴(kuò)散,在P型硅的上方形成N型發(fā)射極,擴(kuò)散時(shí)應(yīng)控制控制溫度在800℃-900℃范圍內(nèi),目標(biāo)方塊電阻為90-150歐/□。

擴(kuò)散過程中會在硅片的正面和背面形成磷硅玻璃層,磷硅玻璃層的形成是由于在擴(kuò)散過程中,POCl3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和磷原子,這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2,稱之為磷硅玻璃。所述磷硅玻璃層可以在擴(kuò)散時(shí)收集硅片中的雜質(zhì),可進(jìn)一步降低太陽能電池的雜質(zhì)含量。

(3)去除擴(kuò)散過程形成的磷硅玻璃和周邊PN結(jié),并對硅片背面進(jìn)行拋光。

本發(fā)明將經(jīng)擴(kuò)散后的硅片置于體積比為1:5的HF(質(zhì)量分?jǐn)?shù)40%-50%)和HNO3(質(zhì)量分?jǐn)?shù)60%-70%)混合溶液酸槽中浸泡15s去除磷硅玻璃和周邊PN結(jié)。磷硅玻璃層的存在容易導(dǎo)致PECVD的色差及SixNy的脫落,而且所述磷硅玻璃層中含有大量的磷以及從硅片中遷移的雜質(zhì),因此需要去除磷硅玻璃層。

需要說明的是,對硅片背面進(jìn)行拋光的步驟視實(shí)際情況考慮是否進(jìn)行。

(4)在硅片背面沉積氧化鋁膜和氮化硅膜。

(5)在硅片正面沉積氮化硅膜。

上述氧化鋁膜和氮化硅膜沉積步驟可采用常規(guī)的PECVD設(shè)備、ALD設(shè)備或APCVD設(shè)備依次在硅片背面和正面上沉積氮化硅膜。需要說明的是,步驟(4)和步驟(5)順序可顛倒互換。

(6)對硅片背面的氮化硅膜和氧化鋁膜上進(jìn)行激光開槽。

采用激光開槽技術(shù)在硅片背面的氮化硅膜和氧化鋁膜上開槽,開槽深度直至P型硅下表面。優(yōu)選地,所述激光開槽區(qū)的寬度為10-500μm。

(7)在硅片背面印刷背銀主柵漿料,烘干。

根據(jù)背銀主柵的圖案印刷背銀主柵漿料。所述背銀主柵的圖案為連續(xù)直柵;或所述背銀主柵呈間隔分段設(shè)置;或所述背銀主柵呈間隔分段設(shè)置,各相鄰分段間通過連通區(qū)域連接。

(8)在激光開槽區(qū)上印刷鋁漿,使之與背銀主柵漿料垂直連接。

印刷鋁柵線時(shí)可對激光開槽區(qū)進(jìn)行精確定位,方法簡單,定位精度高。

(9)在硅片正面印刷正銀電極漿料。

(10)對硅片進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),形成背銀主柵、鋁柵線和正銀電極。

優(yōu)選地,鋁柵線的寬度為30-550μm;背銀主柵的寬度為0.5-5mm;所述鋁柵線的根數(shù)為30-500條;所述背銀主柵的根數(shù)為2-8條。

(11)對硅片進(jìn)行抗LID退火,制得P型PERC雙面太陽能電池。

相應(yīng)的,本發(fā)明還公開一種P型PERC雙面太陽能電池組件,包括P型PERC雙面太陽能電池和封裝材料,所述PERC太陽能電池是上述任一的P型PERC雙面太陽能電池。具體的,作為P型PERC雙面太陽能電池組件的一實(shí)施例,其由上至下依次連接的高透鋼化玻璃、乙烯-醋酸乙烯共聚物EVA、PERC太陽能電池、乙烯-醋酸乙烯共聚物EVA和高透鋼化玻璃組成。

相應(yīng)的,本發(fā)明還公開一種P型PERC雙面太陽能系統(tǒng),包括P型PERC雙面太陽能電池,所述PERC太陽能電池是上述任一的P型PERC雙面太陽能電池。作為PERC太陽能系統(tǒng)的一優(yōu)選實(shí)施例,包括PERC太陽能電池、蓄電池組,充放電控制器逆變器,交流配電柜和太陽跟蹤控制系統(tǒng)。其中,PERC太陽能系統(tǒng)可以設(shè)有蓄電池組、充放電控制器逆變器,也可以不設(shè)蓄電池組、充放電控制器逆變器,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。

需要說明的是,PERC太陽能電池組件、PERC太陽能系統(tǒng)中,除了P型PERC雙面太陽能電池之外的部件,參照現(xiàn)有技術(shù)設(shè)計(jì)即可。

最后所應(yīng)當(dāng)說明的是,以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制,盡管參照較佳實(shí)施例對本發(fā)明作了詳細(xì)說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本發(fā)明技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。

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