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一種圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11924992閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,包括碳納米管、導(dǎo)電底座、絕緣罩、鈹窗、導(dǎo)電環(huán)和球管,所述球管的頂端開口,底端封閉,所述鈹窗通過所述導(dǎo)電環(huán)密封蓋合在所述球管的開口端,并形成一真空腔體,所述碳納米管、導(dǎo)電底座和絕緣罩均設(shè)置在所述真空腔體內(nèi),所述導(dǎo)電底座的頂端設(shè)有凹槽,所述碳納米管通過所述絕緣罩固定在所述凹槽內(nèi),所述導(dǎo)電底座連接有第一電極,所述鈹窗朝向所述碳納米管的一面設(shè)有金屬薄膜,所述金屬薄膜與所述導(dǎo)電環(huán)連接,所述導(dǎo)電環(huán)連接有第二電極。

2.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述碳納米管是利用微納加工技術(shù)制作出一定高度的微柱,然后利用CVD工藝在其表面生長一定高度的碳管,通過精確控制碳管生長高度,以及微柱表面的催化劑沉積,進(jìn)而長出3D圖案化的碳納米管。

3.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述凹槽的尺寸與所述碳納米管的尺寸匹配。

4.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述絕緣罩設(shè)有與所述碳納米管相對的通孔。

5.如權(quán)利要求4所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述絕緣罩與所述導(dǎo)電底座的頂端通過螺紋結(jié)構(gòu)連接;所述絕緣罩與所述導(dǎo)電底座連接時,所述通孔的邊緣壓緊所述碳納米管。

6.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一電極為電極桿,所述第一電極的一端固定連接于所述導(dǎo)電底座的底端,所述球管的封閉端設(shè)有第一電極孔,所述第一電極的另一端穿過所述第一電極孔并伸至X射線源結(jié)構(gòu)外部連接電源,所述第一電極與所述第一電極孔密封固定,所述電源對所述導(dǎo)電底座施加負(fù)電位。

7.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第二電極為電極桿,所述第二電極的一端固定連接于所述導(dǎo)電環(huán),所述球管的封閉端設(shè)有第二電極孔,所述第二電極的另一端穿過所述第二電極孔并伸至X射線源結(jié)構(gòu)外部連接電源,所述第二電極與所述第二電極孔密封固定,所述電源對所述導(dǎo)電環(huán)施加零電位。

8.如權(quán)利要求1所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)電底座的底端為掏空結(jié)構(gòu)。

9.如權(quán)利要求1至8任一項所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括有冷卻容器,所述冷卻容器的頂端開口,底端封閉,所述鈹窗通過所述導(dǎo)電環(huán)密封蓋合在所述冷卻容器的開口端,并在所述球管外周圍合形成一冷卻腔體。

10.如權(quán)利要求9所述的圖案化碳納米管陰極的透射式X射線源結(jié)構(gòu),其特征在于,所述冷卻容器設(shè)有與所述冷卻腔體連通的進(jìn)油孔和出油孔。

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