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可縮放的固定占用面積的電容器結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12598992閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及可縮放的固定占用面積的電容器結(jié)構(gòu)。在一個(gè)實(shí)施例中,電容器結(jié)構(gòu)包括基板、電介質(zhì)疊層、第一導(dǎo)體段、第二導(dǎo)體段和屏蔽導(dǎo)體段。電介質(zhì)疊層在基板上形成。電介質(zhì)疊層的第一層包括僅在第一方向上被路由的多個(gè)導(dǎo)體段。在多個(gè)導(dǎo)體段之中的第一導(dǎo)體段可被偏置到第一電壓。在多個(gè)導(dǎo)體段之中的第二導(dǎo)體段可被偏置到第二電壓。屏蔽導(dǎo)體段可被偏置到第二電壓并在第一導(dǎo)體段的端部形成。除此之外,在電容器結(jié)構(gòu)的占用面積被固定時(shí),電容器結(jié)構(gòu)的電容可被調(diào)整。

技術(shù)研發(fā)人員:Y·崔;Q·S·I·利姆;S·陳
受保護(hù)的技術(shù)使用者:阿爾特拉公司
文檔號(hào)碼:201611106097
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.29
技術(shù)公布日:2017.06.09

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