本發(fā)明涉及線圈部件。具體而言，本發(fā)明涉及層疊型線圈部件。

背景技術(shù)：

以往的層疊型線圈部件采用沿層疊方向經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接向一個(gè)方向纏繞的一個(gè)平面螺旋布線、和向與一個(gè)方向相反的方向纏繞的另一個(gè)平面螺旋布線的方式。專利文獻(xiàn)1公開了該一個(gè)平面螺旋布線的內(nèi)周端與該另一個(gè)平面螺旋布線的內(nèi)周端經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接的層疊型線圈部件。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2013－225718號(hào)公報(bào)

然而，如圖9所示在一個(gè)平面螺旋布線101的內(nèi)周端與另一個(gè)平面螺旋布線102的內(nèi)周端沿層疊方向經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接的情況下，有連接可靠性不充分的可能性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的一方式的目的在于能夠使沿層疊方向配置的一個(gè)平面螺旋布線與另一個(gè)平面螺旋布線的連接可靠性提高的線圈部件。

為了解決上述課題，在本發(fā)明的一方式中，提供線圈部件，

其具備第一平面螺旋布線、和位于該第一平面螺旋布線的層疊方向的上方并且經(jīng)由連接導(dǎo)通孔與該第一平面螺旋布線相互連接的第二平面螺旋布線，

上述第二平面螺旋布線從上述層疊方向觀察時(shí)向與上述第一平面螺旋布線的纏繞方向不同的方向纏繞，

上述第一平面螺旋布線以及上述第二平面螺旋布線分別在最內(nèi)周側(cè)，具有從上述層疊方向觀察時(shí)相互重合的最內(nèi)周重復(fù)部分，并且，

上述第一平面螺旋布線的上述最內(nèi)周重復(fù)部分的至少兩端部與上述第二平面螺旋布線的上述最內(nèi)周重復(fù)部分的至少兩端部經(jīng)由上述連接導(dǎo)通孔相互連接。

在上述方式的線圈部件中，從層疊方向觀察時(shí)相互重合的第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的至少兩端部與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的至少兩端部經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接。由此，各螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分經(jīng)由兩個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接，所以與內(nèi)周端彼此經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接的情況相比連接點(diǎn)增加。因此，能夠不實(shí)際改變這些平面螺旋布線的纏繞圈數(shù)、最外周直徑以及層數(shù)等，而使第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接可靠性提高。

在一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線各自的最內(nèi)周重復(fù)部分的一個(gè)端部定位在從第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線各自的最內(nèi)周重復(fù)部分的另一個(gè)端部纏繞半圈的部分。

換句話說，與以往的一個(gè)平面螺旋布線的內(nèi)周端與另一個(gè)平面螺旋布線的內(nèi)周端沿層疊方向經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接的方式相比，各平面螺旋布線的最內(nèi)周側(cè)進(jìn)一步纏繞四分之一圈。由此，能夠充分地確保布線間隔，并且能夠增大各平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的區(qū)域。因此，能夠確保以多個(gè)連接導(dǎo)通孔連接各最內(nèi)周重復(fù)部分彼此的區(qū)域。因此，能夠使第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接可靠性提高。

在一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部間與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部間還經(jīng)由一個(gè)以上的連接導(dǎo)通孔相互連接。由此，除了第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部以及第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部以外，在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部間與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部間也經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接。因此，能夠進(jìn)一步增加第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接點(diǎn)。因此，能夠使第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接可靠性進(jìn)一步提高。

在一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接。

換句話說，第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分之間被連接導(dǎo)通孔填滿。因此，能夠增加連接第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的區(qū)域。因此，能夠使第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接可靠性進(jìn)一步提高。

在一實(shí)施方式中，線圈部件還具備在第一平面螺旋布線的纏繞中心部以及第二平面螺旋布線的纏繞中心部延伸的磁芯部。在由導(dǎo)磁率較高的材料構(gòu)成該磁芯部的情況下，能夠進(jìn)一步增大線圈部件的電感。

在一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小，并且第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小。由此，能夠擴(kuò)大第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線的各纏繞中心部的區(qū)域。因此，能夠擴(kuò)大在第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線的各纏繞中心部延伸的磁芯部。因此，能夠進(jìn)一步增大線圈部件的電感。

在一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小，并且第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的外緣與第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的外緣無凹凸地連續(xù)。另外，第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小，并且第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的外緣與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的外緣無凹凸地連續(xù)。

由此，能夠分別使第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的內(nèi)緣與第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的內(nèi)緣非連續(xù)。換句話說，能夠分別在第一平面螺旋布線以及第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的內(nèi)邊緣側(cè)形成朝向外側(cè)方向膨脹的區(qū)域。因此，線圈部件在還具備在第一平面螺旋布線的纏繞中心部以及第二平面螺旋布線的纏繞中心部延伸的磁芯部的情況下，能夠?qū)⒋判静康闹睆皆龃笱厣鲜鰠^(qū)域的膨脹的量。其結(jié)果，能夠進(jìn)一步增大線圈部件的電感。

根據(jù)上述方式的線圈部件，能夠使第一平面螺旋布線與第二平面螺旋布線的連接可靠性提高。

附圖說明

圖1是示意地表示一實(shí)施方式所涉及的線圈部件的示意剖視圖。

圖2是示意地表示在圖1所示的線段a－a’從層疊方向觀察相互重合的第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接的方式的示意俯視圖。

圖3a是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的方式的示意俯視圖。

圖3b是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的方式的示意俯視圖。

圖4a是示意地表示連接導(dǎo)通孔在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分配置多個(gè)的方式的示意俯視圖。

圖4b是示意地表示連接導(dǎo)通孔在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分配置多個(gè)的方式的示意俯視圖。

圖5a是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域的方式的示意俯視圖。

圖5b是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域的方式的示意俯視圖。

圖6a是示意地表示第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小的方式的示意俯視圖。

圖6b是示意地表示第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小的方式的示意俯視圖。

圖7a是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的其它的方式的示意俯視圖。

圖7b是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的其它的方式的示意俯視圖。

圖8a是示意地表示在絕緣層形成第一平面螺旋布線的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8b是示意地表示在絕緣層形成第二平面螺旋布線的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8c是示意地表示進(jìn)一步形成覆蓋第二平面螺旋布線的絕緣層的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8d是示意地表示形成用于設(shè)置磁芯部的貫導(dǎo)通孔的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8e是示意地表示在絕緣層形成端子的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8f是示意地表示形成磁芯部以及磁性體層的狀態(tài)的示意剖視圖。

圖8g是示意地表示最終得到的線圈部件的示意剖視圖。

圖9是示意地表示以往的線圈部件的示意俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)作為本發(fā)明的一方式的多個(gè)實(shí)施方式所涉及的線圈部件進(jìn)行說明。

此外，在本說明書中“層疊方向”是指層堆積的方向?！暗谝黄矫媛菪季€”以及“第二平面螺旋布線”是指纏繞為螺旋狀的布線。在本說明書中“平面螺旋布線向不同的方向纏繞”例如是指從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向(或者從內(nèi)側(cè)朝向外側(cè)方向)，一個(gè)平面螺旋布線順時(shí)針地纏繞，另一個(gè)平面螺旋布線逆時(shí)針地纏繞的狀態(tài)。此外，不僅是布線在線寬度方向完全重合的情況，即使是布線在線寬度方向的一部分重合的情況下，該重復(fù)位置也能夠成為最內(nèi)周重復(fù)部分。

[第一實(shí)施方式]

首先，參照?qǐng)D1～圖3b對(duì)作為本發(fā)明的一方式的第一實(shí)施方式所涉及的線圈部件1進(jìn)行說明。

圖1是示意地表示第一實(shí)施方式所涉及的線圈部件的示意剖視圖。圖2是示意地表示在圖1所示的線段a－a’從層疊方向觀察相互重合的第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部與第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部經(jīng)由連接導(dǎo)通孔相互連接的方式的示意俯視圖。圖3a是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的方式的示意俯視圖。圖3b是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的方式的示意俯視圖。

第一實(shí)施方式的線圈部件1例如能夠利用于智能手機(jī)、汽車的導(dǎo)航等電子設(shè)備。第一實(shí)施方式所涉及的線圈部件1如圖1所示具備配置在絕緣層12內(nèi)的第一平面螺旋布線2和第二平面螺旋布線3。另外，如圖1以及圖2所示，磁芯部13以在第一平面螺旋布線2的纏繞中心部以及第二平面螺旋布線3的纏繞中心部延伸的方式配置。另外，如圖1所示，該磁芯部13以其兩端部分別與磁性體層14連接的方式配置。第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3以第二平面螺旋布線3沿層疊方向位于第一平面螺旋布線2的上方，并且第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的纏繞中心部重合的方式配置。另外，如圖3a、圖3b所示，第一、第二平面螺旋布線2、3具有從各螺旋形狀的外周端直線狀地引出的引出部2a、3a。另外，如圖1所示，線圈部件1作為外部連接用的端子，具備一對(duì)外部端子39。外部端子39的一個(gè)經(jīng)由連接導(dǎo)通孔，和與第一平面螺旋布線2的引出部2a電連接的引出部3b電連接，外部端子39的另一個(gè)經(jīng)由連接導(dǎo)通孔，與第二平面螺旋布線3的引出部3a電連接。此外，第二平面螺旋布線3與引出部3b雖然配置在同一層，但在該層不連接。

第二平面螺旋布線3(參照?qǐng)D3b)沿層疊方向經(jīng)由連接導(dǎo)通孔與第一平面螺旋布線2(參照?qǐng)D3a)相互連接。該第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的內(nèi)周端分別定位在超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈的位置。具體而言，在線圈部件1，第一平面螺旋布線2如圖3a所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向在逆時(shí)針方向纏繞1.5圈。另外，在線圈部件1，第二平面螺旋布線3如圖3b所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向在順時(shí)針方向纏繞1.5圈。另外，以在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周側(cè)的端部7、10開始相當(dāng)于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布線2與磁芯部13的間隔、和第二平面螺旋布線3與磁芯部13的間隔大致相等的方式進(jìn)行定位。并且，第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3分別遍布整個(gè)周地具有彼此相等的寬度尺寸。

在這種情況下，如圖2所示，第一平面螺旋布線2的部分5和第二平面螺旋布線3的部分6在最內(nèi)周側(cè)，成為從層疊方向觀察相互實(shí)際上重合的最內(nèi)周重復(fù)部分。換句話說，在線圈部件1中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別具有最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。

如以上那樣，在第一實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3各自的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的一個(gè)端部定位在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3各自的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的另一個(gè)端部纏繞半圈的部分。換句話說，與圖9所示的以往的一個(gè)平面螺旋布線101的內(nèi)周端與另一個(gè)平面螺旋布線102的內(nèi)周端沿層疊方向經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接的方式相比，在線圈部件1中，第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周側(cè)進(jìn)一步纏繞四分之一圈。此時(shí)，能夠充分地確保與外側(cè)一圈的平面螺旋布線2、3的布線間隔，并且能夠增大各平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的區(qū)域。

另外，在第一實(shí)施方式中，如圖2所示形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第一端部7和第二平面螺旋布線3的第一端部8經(jīng)由第一連接導(dǎo)通孔4相互連接。另外，形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的另一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第二端部9和第二平面螺旋布線3的第二端部10經(jīng)由第二連接導(dǎo)通孔11相互連接。換句話說，第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的兩端部7、9與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的兩端部8、10經(jīng)由兩個(gè)連接導(dǎo)通孔4、11相互連接。由此，與如圖9那樣經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接內(nèi)周端彼此的情況相比連接點(diǎn)增加。因此，與以往的經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接相互層疊配置的平面螺旋布線101、102的內(nèi)周端彼此的情況相比，能夠使第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的連接可靠性提高。

另外，在線圈部件1中經(jīng)由兩個(gè)連接導(dǎo)通孔4、11相互連接各平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6，所以與以往的沿層疊方向經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接平面螺旋布線101、102的內(nèi)周端彼此的情況相比，使第一、第二螺旋布線2、3的最內(nèi)周側(cè)沿各纏繞方向延長(zhǎng)。由此，從層疊方向觀察在最內(nèi)周重復(fù)部分5、6，平面螺旋布線2、3成為雙層。并且，第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的寬度尺寸與第一、第二螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6以外的部分的寬度尺寸相等。由此，實(shí)際上第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的剖面積增大。因此，能夠減小第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的直流電阻值(rdc)。因此，進(jìn)而能夠減小由第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3構(gòu)成的線圈的直流電阻值。另外，在第一實(shí)施方式中，與圖9比較，能夠不改變線圈的纏繞圈數(shù)，而形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。因此，即使不改變纏繞圈數(shù)，也能夠使連接可靠性提高，另外減小由第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3構(gòu)成的線圈的直流電阻值。并且，在第一實(shí)施方式中，如圖2所示，與圖9的構(gòu)成比較，各平面螺旋布線2、3的最外周部分的位置以及層數(shù)并不改變，能夠不實(shí)際改變最外周徑以及層數(shù)等，而使連接可靠性提高，另外減小由第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3構(gòu)成的線圈的直流電阻值。換句話說，能夠以實(shí)際相同的外形起到這些效果。此外，如上述那樣第二平面螺旋布線3從層疊方向觀察時(shí)向與第一平面螺旋布線2的纏繞方向(從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向向逆時(shí)針方向)不同的方向(從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向向順時(shí)針方向)纏繞。由此，第一、在第二平面螺旋布線2、3流通電流的情況下產(chǎn)生的磁通成為相同的方向，能夠得到比第一平面螺旋布線2或者第二平面螺旋布線3的單獨(dú)結(jié)構(gòu)大的電感(l)。

另外，也敘述線圈部件1所使用的材料。首先，作為線圈部件1的構(gòu)成要素的第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的材料雖然并不特別限定，但從能夠?qū)崿F(xiàn)低電阻并且窄螺距的觀點(diǎn)來看由cu(銅)、ag(銀)、au(金)等金屬構(gòu)成較好。另外，作為線圈部件1的構(gòu)成要素的絕緣層12的材料雖然并不特別限定，但由環(huán)氧類樹脂、雙馬來酰亞胺、液晶聚合物、聚酰亞胺等有機(jī)絕緣材構(gòu)成，或者，由該有機(jī)絕緣材與二氧化硅填料等無機(jī)填充料以及/或者有機(jī)系填充料的組合構(gòu)成較好。例如，作為線圈部件1的構(gòu)成要素的絕緣層12的材料由環(huán)氧類樹脂和二氧化硅填料的組合構(gòu)成較好。另外，作為線圈部件1的構(gòu)成要素的磁芯部13以及磁性體層14的材料雖然并不特別限定，但由包含由fe、si、cr等構(gòu)成的金屬磁性材料而成的環(huán)氧類樹脂構(gòu)成較好。此外，磁芯部13以及磁性體層14從使電感值以及直流重疊特性提高的觀點(diǎn)來看優(yōu)選包含由fe、si、cr等構(gòu)成的金屬磁性材料在90重量％以上。并且，磁芯部13以及磁性體層14的材料從使填充性提高的觀點(diǎn)來看優(yōu)選使粒度分布不同的兩種以上的金屬磁性材料混合。

接下來，參照?qǐng)D8a～圖8g對(duì)線圈部件1的制造方法的一個(gè)例子進(jìn)行說明。

首先，在能夠剝離以及除去的虛設(shè)基板31(帶金屬箔基板)的兩側(cè)使用真空層壓機(jī)、沖壓裝置等對(duì)絕緣性薄片進(jìn)行熱粘合、熱固化，如圖8a所示在虛設(shè)基板31的兩側(cè)形成絕緣層32。接下來，在該絕緣層32通過無電解電鍍、濺射、蒸鍍等形成供電膜。接下來，在該供電膜涂覆感光性抗蝕劑，并通過光刻等進(jìn)行圖案化，之后通過電解電鍍形成金屬布線。金屬布線形成后，通過藥液剝離除去感光性抗蝕劑，接下來通過蝕刻除去供電膜，從而如圖8a所示，在絕緣層32上形成第一平面螺旋布線2。

接下來，以覆蓋第一平面螺旋布線2的方式在絕緣層32使用真空層壓機(jī)、沖壓裝置等對(duì)絕緣性薄片進(jìn)行熱粘合、熱固化，如圖8b所示進(jìn)一步形成絕緣層33。接下來，在絕緣層33利用激光加工等形成沿層疊方向分別到達(dá)第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周側(cè)的端部7、相當(dāng)于從該端部纏繞了半圈的位置的部分9以及第一平面螺旋布線2的引出部2a的外側(cè)端部上的貫通孔。接下來，在該貫通孔內(nèi)以及絕緣層33上通過無電解電鍍、濺射、蒸鍍等形成供電膜。接下來，在該供電膜涂覆感光性抗蝕劑，并通過光刻等進(jìn)行圖案化，之后通過電解電鍍形成金屬布線。金屬布線形成后，通過藥液剝離除去感光性抗蝕劑，接下來通過蝕刻除去供電膜，從而如圖8b所示在絕緣層33內(nèi)以及絕緣層上形成第一連接導(dǎo)通孔4、第二連接導(dǎo)通孔11、經(jīng)由連接導(dǎo)通孔4、11與第一平面螺旋布線2連接的第二平面螺旋布線3以及引出部3b。

接下來，以覆蓋第二平面螺旋布線3的方式在絕緣層33設(shè)置絕緣性薄片，并使用真空層壓機(jī)、沖壓裝置等對(duì)該絕緣性薄片進(jìn)行熱粘合、熱固化，如圖8c所示進(jìn)一步形成絕緣層35。

接下來，如圖8d所示，從虛設(shè)基板31分離具備第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的結(jié)構(gòu)體。接下來，如圖8d所示，通過激光加工等在具備第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的結(jié)構(gòu)體形成用于設(shè)置磁芯部13的貫通孔36。

接下來，通過激光加工等在絕緣層35形成沿層疊方向分別到達(dá)引出部3b以及第二平面螺旋布線3的引出部3a的外側(cè)端部上的貫通孔。接下來，在該貫通孔內(nèi)以及絕緣層35上通過無電解電鍍、濺射、蒸鍍等形成供電膜。接下來，在該供電膜涂覆感光性抗蝕劑，并通過光刻等進(jìn)行圖案化，之后通過半加法形成端子前驅(qū)體。端子前驅(qū)體形成后，通過藥液剝離除去感光性抗蝕劑，接下來通過蝕刻除去供電膜，從而如圖8e所示在絕緣層35形成經(jīng)由連接導(dǎo)通孔37分別與引出部3b以及第二平面螺旋布線3的引出部3a電連接的端子38。

接下來，在包含貫通孔36內(nèi)以及端子38的絕緣層35上設(shè)置包含金屬磁性材料而成的環(huán)氧類樹脂部，并使用真空層壓機(jī)、沖壓裝置等對(duì)該樹脂部進(jìn)行熱粘合、熱固化，如圖8f所示分別形成磁芯部13以及磁性體層14。

接下來，以端子38露出的方式實(shí)施磨削、研磨等處理，接下來，實(shí)施切割、劃線等處理。此時(shí)，端子38作為外部端子39形成。通過以上，如圖8g所示最終得到線圈部件1。

[第二實(shí)施方式]

首先，參照?qǐng)D4a以及圖4b對(duì)作為本發(fā)明的一方式的第二實(shí)施方式所涉及的線圈部件進(jìn)行說明。

圖4a是示意地表示連接導(dǎo)通孔在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分配置多個(gè)的方式的示意俯視圖。圖4b是示意地表示連接導(dǎo)通孔在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分配置多個(gè)的方式的示意俯視圖。

在第二實(shí)施方式中，與上述第一實(shí)施方式相同，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的內(nèi)周端分別定位在超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈的位置。具體而言，在第二實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式相同第一平面螺旋布線2如圖4a所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向逆時(shí)針纏繞1.5圈。另外，第二平面螺旋布線3如圖4b所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向順時(shí)針纏繞1.5圈。圖4b所示的第二平面螺旋布線3沿層疊方向位于圖4a所示的第一平面螺旋布線2的上方，并且以第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的纏繞中心部重合的方式配置。另外，以在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周側(cè)的端部7、10開始相當(dāng)于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布線2與磁芯部13的間隔、和第二平面螺旋布線3與磁芯部13的間隔大致相等的方式進(jìn)行定位。并且，第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3分別遍及整個(gè)周地具有彼此相等的寬度尺寸。在這種情況下，圖4a所示的第一平面螺旋布線2的部分5與圖4b所示的第二平面螺旋布線3的部分6在最內(nèi)周側(cè)，成為從層疊方向觀察相互實(shí)際上重合的最內(nèi)周重復(fù)部分。換句話說，在第二實(shí)施方式的線圈部件中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3也分別具有最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。

在第二實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式相同，形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第一端部7和第二平面螺旋布線3的第一端部8經(jīng)由第一連接導(dǎo)通孔4相互連接。另外，形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的另一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第二端部9和第二平面螺旋布線3的第二端部10經(jīng)由第二連接導(dǎo)通孔11相互連接。除此之外，在第二實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的第一端部7與第二端部9之間、和第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的第一端部8與第二端部10之間還經(jīng)由一個(gè)以上的連接導(dǎo)通孔相互連接。例如，如圖4a以及圖4b所示，可以在第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的第一端部7與第二端部9之間、和第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的第一端部8與第二端部10之間還經(jīng)由第三連接導(dǎo)通孔15以及第四連接導(dǎo)通孔16相互連接。換句話說，各平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6可以經(jīng)由四個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接。由此，與使用兩個(gè)連接導(dǎo)通孔的第一實(shí)施方式相比能夠進(jìn)一步使連接點(diǎn)增加。因此，能夠使第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的連接可靠性進(jìn)一步提高。此外，對(duì)于第三連接導(dǎo)通孔15以及第四連接導(dǎo)通孔16，在設(shè)置第一連接導(dǎo)通孔4以及第二連接導(dǎo)通孔11時(shí)，在與第三連接導(dǎo)通孔15以及第四連接導(dǎo)通孔16對(duì)應(yīng)的位置形成貫導(dǎo)通孔之后一并設(shè)置即可。

[第三實(shí)施方式]

接下來，參照?qǐng)D5a以及圖5b對(duì)作為本發(fā)明的一方式的第三實(shí)施方式所涉及的線圈部件進(jìn)行說明。

圖5a是表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域的方式的示意俯視圖。圖5b是表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的整個(gè)區(qū)域的方式的示意俯視圖。

在第三實(shí)施方式中，與上述第一實(shí)施方式相同，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的內(nèi)周端分別定位在超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈的位置。具體而言，在第三實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式相同第一平面螺旋布線2如圖5a所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向逆時(shí)針纏繞1.5圈。另外，第二平面螺旋布線3如圖5b所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向順時(shí)針纏繞1.5圈。圖5b所示的第二平面螺旋布線3沿層疊方向位于圖5a所示的第一平面螺旋布線2的上方，并且以第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的纏繞中心部重合的方式配置。另外，以在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周側(cè)的端部開始相當(dāng)于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布線2與磁芯部13的間隔、和第二平面螺旋布線3與磁芯部13的間隔大致相等的方式進(jìn)行定位。并且，第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3分別遍布整個(gè)周地具有彼此相等的寬度尺寸。在該配置方式中，圖5a所示的第一平面螺旋布線2的部分5與圖5b所示的第二平面螺旋布線3的部分6在最內(nèi)周側(cè)，成為從層疊方向觀察相互重合的最內(nèi)周重復(fù)部分。換句話說，在第三實(shí)施方式的線圈部件中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3也分別具有最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。

另一方面，在第三實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式不同，圖5a所示的第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的整個(gè)區(qū)域與圖5b所示的第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的整個(gè)區(qū)域經(jīng)由連接導(dǎo)通孔30相互連續(xù)地連接。此外，連接導(dǎo)通孔30由與第一連接導(dǎo)通孔4以及第二連接導(dǎo)通孔11相同的材料構(gòu)成，將第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3電連接。換句話說，第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6之間被連接導(dǎo)通孔30填滿。換句話說，第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的整個(gè)區(qū)域與連接導(dǎo)通孔30不是“點(diǎn)”連接而是“面”連接，并且，第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的整個(gè)區(qū)域與連接導(dǎo)通孔30不是“點(diǎn)”連接而是“面”連接。因此，能夠增加連接第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的區(qū)域。因此，能夠使第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的連接可靠性進(jìn)一步提高。此外，連接導(dǎo)通孔30例如，形成在螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5上延伸的形狀的貫通孔之后進(jìn)行設(shè)置即可。具體而言，代替上述的第一實(shí)施方式的制造方法中的到達(dá)第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周側(cè)的端部以及相當(dāng)于從該端部纏繞半圈的位置的部分的貫通孔的形成，而在絕緣層33利用激光加工等形成到達(dá)第一平面螺旋布線2的該兩端部間的大致整個(gè)面上的貫通孔。接下來，在該貫通孔內(nèi)填充連接導(dǎo)通孔30的材料。與此同時(shí)，在形成金屬布線之后，通過藥液剝離除去感光性抗蝕劑并蝕刻除去供電膜，最終以第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的整個(gè)區(qū)域與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的整個(gè)區(qū)域經(jīng)由連接導(dǎo)通孔30相互連續(xù)地連接的方式，在絕緣層上形成第二平面螺旋布線3。

接下來，參照?qǐng)D6a以及圖6b對(duì)作為本發(fā)明的一方式的第四實(shí)施方式所涉及的線圈部件進(jìn)行說明。

[第四實(shí)施方式]

圖6a是示意地表示第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小的方式的示意俯視圖。圖6b是示意地表示第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的寬度尺寸比第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的寬度尺寸小的方式的示意俯視圖。

在第四實(shí)施方式中，與上述第一實(shí)施方式相同，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的內(nèi)周端分別定位在超過n圈(n：自然數(shù))且小于n+1圈的位置。具體而言，在第四實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式相同第一平面螺旋布線2如圖5a所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向逆時(shí)針纏繞1.5圈。另外，第二平面螺旋布線3如圖5b所示從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向順時(shí)針纏繞1.5圈。圖5b所示的第二平面螺旋布線3以沿層疊方向位于第一平面螺旋布線2的上方的方式配置，并且以第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的纏繞中心部重合的方式配置。另外，以在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周側(cè)的端部7、10開始相當(dāng)于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布線2與磁芯部13的間隔、和第二平面螺旋布線3與磁芯部13的間隔大致相等的方式進(jìn)行定位。并且，第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3在上述半周部分上彼此具有相等的寬度尺寸。在這種情況下，圖6a所示的部分5和圖6b所示的部分6在最內(nèi)周側(cè)，成為從層疊方向觀察相互實(shí)際上重合的最內(nèi)周重復(fù)部分。換句話說，在第四實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3也分別具有最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。

另一方面，在第四實(shí)施方式中，與上述第一實(shí)施方式不同，如圖6a所示第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的寬度尺寸比第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5以外的部分的寬度尺寸小。具體而言，如圖6a所示，第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的寬度尺寸比第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5以外的部分的寬度尺寸小，并且第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的外緣17與第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5以外的部分的外緣18無凹凸地連續(xù)。該情況下，能夠使第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的內(nèi)緣19與第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5以外的內(nèi)緣20非連續(xù)。換句話說，能夠在第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的內(nèi)緣20側(cè)的絕緣層12形成朝向外側(cè)方向膨脹的區(qū)域21。此外，本說明書所說的“外緣”、“內(nèi)緣”分別指從層疊方向觀察各平面螺旋布線時(shí)的外周側(cè)的邊緣、內(nèi)周側(cè)的邊緣。

同樣地，如圖6b所示第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的寬度尺寸比第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6以外的部分的寬度尺寸小。具體而言，如圖6b所示，第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的寬度尺寸比第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6以外的部分的寬度尺寸小，并且第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的外緣22與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6以外的部分的外緣23無凹凸地連續(xù)。該情況下，能夠使第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的內(nèi)緣24與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6以外的內(nèi)緣25非連續(xù)。換句話說，能夠在第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的內(nèi)緣24側(cè)的絕緣層12形成朝向外側(cè)方向膨脹的區(qū)域26。因此，在沿層疊方向在第一平面螺旋布線2的上方配置第二平面螺旋布線3的情況下，能夠使在第一平面螺旋布線2的纏繞中心部27以及第二平面螺旋布線3的纏繞中心部28延伸的磁芯部29的范圍增大沿區(qū)域21、26的膨脹的量。因此，能夠進(jìn)一步增大線圈部件的電感(l)。此外，優(yōu)選第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的寬度尺寸與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的寬度尺寸的合計(jì)在各平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6以外的部分的寬度尺寸以上。該情況下，與圖9相比能夠抑制直流電阻值的減少。另外，優(yōu)選第一平面螺旋布線2的最內(nèi)周重復(fù)部分5的寬度尺寸與第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分6的寬度尺寸相等。該情況下，不會(huì)由于任意一個(gè)最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的寬度尺寸而限定磁芯部29的范圍。

最后，參照?qǐng)D7a以及圖7b對(duì)作為本發(fā)明的一方式的第五實(shí)施方式所涉及的線圈部件進(jìn)行說明。

[第五實(shí)施方式]

圖7a是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的其它的方式的示意俯視圖。圖7b是示意地表示連接導(dǎo)通孔配置在第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的兩端部的其它的方式的示意俯視圖。

在第五實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞n圈。具體而言，在第五實(shí)施方式中第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3分別纏繞一圈。如圖7a所示，第一平面螺旋布線2從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向逆時(shí)針纏繞一圈。另外，如圖7b所示，第二平面螺旋布線3從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)方向順時(shí)針纏繞一圈。此外，與第一～第三實(shí)施方式相同，磁芯部13以在第一平面螺旋布線2的纏繞中心部以及第二平面螺旋布線3的纏繞中心部延伸的方式配置。第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3以第二平面螺旋布線3沿層疊方向位于第一平面螺旋布線2的上方，并且第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3的纏繞中心部重合的方式配置。另外，相當(dāng)于從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周側(cè)的端部9、8開始半圈的部分5、6以第一平面螺旋布線2與磁芯部13的間隔、和第二平面螺旋布線3與磁芯部13的間隔大致相等的方式進(jìn)行定位。并且，第一平面螺旋布線2與第二平面螺旋布線3分別遍布整個(gè)周地具有彼此相等的寬度尺寸。

在該配置方式中，圖7a所示的第一平面螺旋布線2的部分5與圖7b所示的第二平面螺旋布線3的部分6在最內(nèi)周側(cè)，成為從層疊方向觀察相互實(shí)際上重合的最內(nèi)周重復(fù)部分。換句話說，在第五實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3也分別具有最內(nèi)周重復(fù)部分5、6。

換句話說，在第五實(shí)施方式中，第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3各自的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的一個(gè)端部定位在從第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的另一個(gè)端部分別纏繞半圈的部分。換句話說，與以往的一個(gè)平面螺旋布線101的內(nèi)周端與另一個(gè)平面螺旋布線102的內(nèi)周端沿層疊方向經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接的方式相比，第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周側(cè)進(jìn)一步纏繞四分之一圈。因此，能夠充分地確保布線間隔，并且能夠增大各平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的區(qū)域。

在該方式中，在第五實(shí)施方式中，如圖7a以及圖7b所示形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第一端部7與第二平面螺旋布線3的第一端部8經(jīng)由第一連接導(dǎo)通孔4相互連接。另外，形成最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的另一個(gè)端部的、第一平面螺旋布線2的第二端部9與第二平面螺旋布線3的第二端部10經(jīng)由第二連接導(dǎo)通孔11相互連接。換句話說，各平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6經(jīng)由兩個(gè)連接導(dǎo)通孔相互連接。由此，能夠使第一平面螺旋布線2和第二平面螺旋布線3的連接可靠性提高。另外，在第五實(shí)施方式中，與圖9那樣以往的沿層疊方向各平面螺旋布線101、102的內(nèi)周端彼此經(jīng)由一個(gè)連接導(dǎo)通孔103相互連接的方式相比，使第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周側(cè)沿各纏繞方向延長(zhǎng)。由此，從層疊方向觀察在最內(nèi)周重復(fù)部分5、6平面螺旋布線2、3成為兩層。并且，第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的寬度尺寸與第一、第二螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6以外的部分的寬度尺寸相等。由此，實(shí)際上第一、第二平面螺旋布線2、3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的剖面積增大。因此，能夠減小第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3的最內(nèi)周重復(fù)部分5、6的直流電阻值。因此，進(jìn)而能夠減小由第一平面螺旋布線2以及第二平面螺旋布線3構(gòu)成的線圈的直流電阻值。

以上，對(duì)本發(fā)明的一方式所涉及的線圈部件及其制造方法進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，應(yīng)該理解通過本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠不脫離權(quán)利要求書所規(guī)定的發(fā)明的范圍進(jìn)行各種變更。例如，可以根據(jù)需要適當(dāng)?shù)亟M合上述所示的實(shí)施方式。此時(shí)組合可以組合各實(shí)施方式的一部分彼此。

符號(hào)說明

1…線圈部件，2…第一平面螺旋布線，2a…第一平面螺旋布線的引出部，3…第二平面螺旋布線，3a…第二平面螺旋布線的引出部，3b…引出部，4…第一連接導(dǎo)通孔，5…第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分，6…第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分，7…最內(nèi)周重復(fù)部分上的第一平面螺旋布線的第一端部(相當(dāng)于第一平面螺旋布線的內(nèi)周端)，8…最內(nèi)周重復(fù)部分上的第二平面螺旋布線的第一端部，9…最內(nèi)周重復(fù)部分上的第一平面螺旋布線的第二端部，10…最內(nèi)周重復(fù)部分上的第二平面螺旋布線的第二端部(相當(dāng)于第二平面螺旋布線的內(nèi)周端)，11…第二連接導(dǎo)通孔，12…絕緣層，13…磁芯部，14…磁性體層，15…第三連接導(dǎo)通孔，16…第四連接導(dǎo)通孔，17…第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的外緣，18…第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的外緣，19…第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的內(nèi)緣，20…第一平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的內(nèi)緣，21…區(qū)域，22…第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的外緣，23…第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的外緣，24…第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分的內(nèi)緣，25…第二平面螺旋布線的最內(nèi)周重復(fù)部分以外的部分的內(nèi)緣，26…區(qū)域，27…纏繞中心部，28…纏繞中心部，29…磁芯部，30…連接導(dǎo)通孔，31…虛設(shè)基板，32…絕緣層，33…絕緣層，35…絕緣層，36…貫通孔，37…連接導(dǎo)通孔，38…端子，39…外部端子，101…一個(gè)螺旋布線，102…另一個(gè)螺旋布線，103…連接導(dǎo)通孔。