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一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12478725閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu),包括有P型襯底(1),其特征在于:在P型襯底(1)上形成PWell阱(2)NWell阱(3),其中PWell阱(2)設(shè)在中間位置, PWell阱(2)兩側(cè)形成NWell阱(3);一側(cè)的NWell阱(3)里形成第一N+注入?yún)^(qū)(4)和第一P+注入?yún)^(qū)(5),另一側(cè)的NWell阱(3)里形成第二N+注入?yún)^(qū)(6)和第二P+注入?yún)^(qū)(7);在中間的PWell阱(2)與兩側(cè)的NWell阱(3)交界處分別形成第三N+注入?yún)^(qū)(8)或第四N+注入?yún)^(qū)(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu),包括有P型襯底(1),其特征在于:所述的第三N+注入?yún)^(qū)(8)與第四N+注入?yún)^(qū)(9)之間形成浮空的柵氧化層多晶硅柵(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu),包括有P型襯底(1),其特征在于:所述的第一N+注入?yún)^(qū)(4)和第一P+注入?yún)^(qū)(5)構(gòu)成T1端口,第二N+注入?yún)^(qū)(6)和第二P+注入?yún)^(qū)(7)構(gòu)成T2端口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu),包括有P型襯底(1),其特征在于:從T1到T2,正向ESD電流泄放路徑SCR2為,由第一P+注入?yún)^(qū)(5)依次經(jīng)過NWell阱(3)、PWell阱(2)、NWell阱(3),最后到第二N+注入?yún)^(qū)(6);從T2到T1,反向ESD電流泄放路徑SCR1為,由第二P+注入?yún)^(qū)(7)依次經(jīng)過NWell阱(3)、PWell阱(2)、NWell阱(3),最后到第一N+注入?yún)^(qū)(4)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種NMOS低壓觸發(fā)的雙向SCR結(jié)構(gòu),包括有P型襯底(1),其特征在于:所述的SCR1與SCR2通路長度一致,且為對稱性的結(jié)構(gòu)。

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