技術(shù)總結(jié)
一種用于超薄硅片加工的工藝夾具，所述工藝夾具由邊框、托板和限位環(huán)組成；本發(fā)明的有益技術(shù)效果是：提供了一種用于超薄硅片加工的工藝夾具，該工藝夾具可以在加工過程中對硅片起到較好的保護作用，提高成品率。

技術(shù)研發(fā)人員：王曉強;楊璟徽;朱夢楠
受保護的技術(shù)使用者：中國電子科技集團公司第四十四研究所
文檔號碼：201610962409
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.28
技術(shù)公布日：2017.02.22