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制作光敏區(qū)布線層的方法與流程

文檔序號:12275059閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種制作光敏區(qū)布線層的方法,所述光敏區(qū)布線層的材料采用多晶硅,光敏區(qū)布線層的層數不少于兩層;制作過程中,前一多晶硅層制作好后,采用腐蝕工藝對前一多晶硅層進行腐蝕,以去除殘留在前一多晶硅層邊沿的多余多晶硅,然后再進行后續(xù)操作,其特征在于:

所述腐蝕工藝采用濕法腐蝕,腐蝕操作按如下步驟進行:

1)配制腐蝕液;所述腐蝕液為硝酸、氫氟酸和醋酸的混合溶液;

2)制作激活材料;所述激活材料為生長有多晶硅介質的硅片;

3)將激活材料浸入腐蝕液內,激活材料足量,待腐蝕液內的亞硝酸離子飽和后,將激活材料從腐蝕液中取出,獲得激活后的腐蝕液;

4)將激活后的腐蝕液用于前述光敏區(qū)布線層制作過程中的腐蝕操作。

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