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LED芯片及其制造方法與流程

文檔序號:11870186閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種LED芯片,其特征在于,所述LED芯片包括:

襯底;

位于所述襯底上的N型半導體層,N型半導體層上形成有N型臺面;

位于所述N型半導體層上的發(fā)光層;

位于所述發(fā)光層上的P型半導體層;

位于所述P型半導體層上的電流阻擋層、以及位于P型半導體層上且覆蓋電流阻擋層的電流擴散層;

位于未被電流阻擋層與電流擴散層覆蓋的P型半導體層上方且與P型半導體層電性連接的P電極、位于電流擴散層上方且與P電極電性連接的擴展電極、以及位于N型臺面上且與N型半導體層電性連接的N電極。

2.根據(jù)權利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述電流擴散層的厚度為1~600?。

3.根據(jù)權利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述電流阻擋層的平面面積大于所述擴展電極的平面面積。

4.根據(jù)權利要求3所述的LED芯片,其特征在于,所述擴展電極的正投影位于電流阻擋層內(nèi)。

5.根據(jù)權利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述襯底為藍寶石、Si、SiC、GaN、ZnO中的一種。

6.根據(jù)權利要求1所述的LED芯片,其特征在于,所述P型半導體層為P形GaN,所述N型半導體層為N型GaN,所述發(fā)光層為GaN或InGaN。

7.一種LED芯片的制造方法,其特征在于,所述方法包括以下步驟:

提供一襯底;

在襯底上外延生長形成N型半導體層、發(fā)光層和P型半導體層;

刻蝕N型半導體層形成N型臺面;

在P型半導體層上形成電流阻擋層;

在電流阻擋層上形成覆蓋電流阻擋層的電流擴散層;

在未被電流阻擋層與電流擴散層覆蓋的P型半導體層上方形成與P型半導體層電性連接的P電極,在電流擴散層上方形成與P電極電性連接的擴展電極,在N型臺面上形成與N型半導體層電性連接的N電極。

8.根據(jù)權利要求7所述的LED芯片的制造方法,其特征在于,所述電流擴散層通過磁控濺射形成。

9.根據(jù)權利要求7所述的LED芯片的制造方法,其特征在于,所述電流擴散層的厚度為1~600?。

10.根據(jù)權利要求9所述的LED芯片的制造方法,其特征在于,所述方法還包括:

對電流擴散層進行退火處理。

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