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一種TFT陣列基板及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11955997閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種TFT陣列基板,包括TFT結(jié)構(gòu)單元,其特征在于,還包括N型半導(dǎo)體單元,N型半導(dǎo)體單元與所述TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層通過金屬線串聯(lián)形成熱電單元。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT陣列基板,其特征在于,所述N型半導(dǎo)體單元與所述TFT結(jié)構(gòu)單元一一對(duì)應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的TFT陣列基板,其特征在于,所述N型半導(dǎo)體單元與所述TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層通過金屬線串聯(lián)形成熱電單元具體為:

N型半導(dǎo)體單元的兩端分別包括一條金屬引線和TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的兩端分別包括一條金屬引線,其中,位于N型半導(dǎo)體單元一端的金屬引線與位于TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的一端的金屬引線串聯(lián)形成熱電單元;位于N型半導(dǎo)體單元另一端的金屬引線和位于TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的另一端的金屬引線分別為熱電單元的正、負(fù)電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的TFT陣列基板,其特征在于,TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層兩端的金屬引線分別為TFT結(jié)構(gòu)單元的源極和漏極。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的TFT陣列基板,其特征在于,所述N型半導(dǎo)體單元位于襯底與所述TFT結(jié)構(gòu)單元之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的TFT陣列基板,其特征在于,所有熱電單元通過串聯(lián)和/或并聯(lián)的方式組成薄膜電池陣列。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的TFT陣列基板,其特征在于,進(jìn)一步包括儲(chǔ)電單元,所述儲(chǔ)電單元的兩端分別連接薄膜電池陣列的正、負(fù)極。

8.一種TFT陣列基板的制備方法,包括逐層制備TFT結(jié)構(gòu)層,其特征在于,進(jìn)一步包括:制備N型半導(dǎo)體單元,并將N型半導(dǎo)體單元與TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層通過金屬線串聯(lián)形成熱電單元。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的TFT陣列基板的制備方法,其特征在于,所述制備N型半導(dǎo)體單元包括:

對(duì)應(yīng)每一個(gè)TFT結(jié)構(gòu)單元制備一個(gè)N型半導(dǎo)體單元。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的TFT陣列基板的制備方法,其特征在于,所述制備N型半導(dǎo)體單元,并將N型半導(dǎo)體單元與TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層通過金屬線串聯(lián)形成熱電單元,具體包括:

在襯底上沉積N型半導(dǎo)體層,通過光刻形成N型半導(dǎo)體單元;

在N型半導(dǎo)體單元以及襯底上沉積第一金屬層,并通過一道光刻制程圖案化所述第一金屬層,形成位于每一個(gè)N型半導(dǎo)體單元兩端的金屬引線;制備TFT結(jié)構(gòu)層;

將N型半導(dǎo)體單元一端的金屬引線與與之對(duì)應(yīng)的TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的一端電連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的TFT陣列基板的制備方法,其特征在于,所述將N型半導(dǎo)體單元一端的金屬引線與與之對(duì)應(yīng)的TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的一端電連接包括:

將N型半導(dǎo)體單元一端的金屬引線與與之對(duì)應(yīng)的TFT結(jié)構(gòu)單元的源/漏極電連接。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的TFT陣列基板的制備方法,其特征在于,采用過孔的形式將N型半導(dǎo)體單元一端的金屬引線與與之對(duì)應(yīng)的TFT結(jié)構(gòu)單元中的P型半導(dǎo)體層的一端電連接。

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