1.一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板,其特征在于,包括轉(zhuǎn)接板基體,在所述轉(zhuǎn)接板基體內(nèi)有金屬柱陣列結(jié)構(gòu),所述金屬柱陣列間的空隙由納米氮化鋁增強(qiáng)的聚酰亞胺薄膜填充,所述金屬柱陣列垂直貫穿于所述轉(zhuǎn)接板基體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板,其特征在于,所述的金屬柱陣列的金屬為鉻、銅、金、鈦、鎳或合金的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板,其特征在于,所述的納米氮化鋁增強(qiáng)的聚酰亞胺薄膜中,氮化鋁的質(zhì)量含量為8-20%、厚度為100-300微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板,其特征在于,所述的氮化鋁的質(zhì)量含量為15-20%。
5.一種根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,所述方法通過在聚酰亞胺基體中引入納米氮化鋁增強(qiáng)體,獲得納米氮化鋁增強(qiáng)的聚酰亞胺復(fù)合懸浮液,進(jìn)而通過旋涂工藝制備納米氮化鋁增強(qiáng)的聚酰亞胺復(fù)合薄膜并應(yīng)用于轉(zhuǎn)接板中,從而得到基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,所述方法包括如下步驟:
第一步、用偶聯(lián)劑對(duì)納米氮化鋁進(jìn)行改性,通過超聲和高速球磨分散工藝,將改性后的納米氮化鋁分散于聚酰亞胺涂層膠中,獲得含有納米氮化鋁的聚酰亞胺懸浮液;
第二步、在玻璃基片上甩正膠作為犧牲層,并在犧牲層上濺射種子層,甩膠再光刻,對(duì)玻璃基片表面進(jìn)行圖形化處理,通過電鍍形成金屬柱陣列;去除圖形化留下的光刻膠,去除裸露的種子層,得到暴露的金屬柱陣列;
第三步、通過旋涂工藝將第一步制備得到的含有納米氮化鋁的聚酰亞胺懸浮液填充到金屬柱陣列,升溫固化,然后表面研磨處理使金屬柱頂端從聚酰亞胺復(fù)合薄膜中露出,去犧牲層光刻膠,將轉(zhuǎn)接板釋放出來,從而得到基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,第一步中:
對(duì)納米氮化鋁進(jìn)行預(yù)處理,用親水性溶劑配成氮化鋁懸浮液,經(jīng)超聲和球磨分散后加入聚酰亞胺涂層膠,再通過球磨工藝得到含有納米氮化鋁的聚酰亞胺懸浮液。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,所述高速球磨工藝,球磨轉(zhuǎn)速設(shè)置為450-600轉(zhuǎn)每分鐘。
9.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一項(xiàng)所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,所述偶聯(lián)劑為硅烷偶聯(lián)劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種基于納米氮化鋁/聚酰亞胺復(fù)合材料轉(zhuǎn)接板的制備方法,其特征在于,所述硅烷偶聯(lián)劑為KH550。