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半導(dǎo)體器件的制作方法

文檔序號(hào):12275062閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
公開了一種半導(dǎo)體器件。該半導(dǎo)體器件包括設(shè)置在基板上的電極以及穿透電極的多個(gè)垂直圖案。該垂直圖案包括布置為形成菱形的第一垂直圖案以及布置為形成不規(guī)則梯形或菱形的第二垂直圖案。

技術(shù)研發(fā)人員:李憲國
受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星電子株式會(huì)社
文檔號(hào)碼:201610632687
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.04
技術(shù)公布日:2017.02.22

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