1.一種半導(dǎo)體器件,包括:
基板;
在所述基板上的電極結(jié)構(gòu),所述電極結(jié)構(gòu)包括層疊在所述基板上的電極,所述電極平行于第一方向延伸;以及
穿透所述電極結(jié)構(gòu)的多個垂直圖案,
所述垂直圖案包括在所述第一方向上布置的第一垂直圖案、在所述第一方向上布置的第二垂直圖案以及在所述第一方向上布置的第三垂直圖案,
所述第二垂直圖案在交叉所述第一方向的第二方向上與所述第一垂直圖案相鄰并且與所述第一垂直圖案間隔開,
所述第三垂直圖案在所述第二方向上與所述第二垂直圖案相鄰并且與所述第二垂直圖案間隔開,
所述第一垂直圖案和所述第二垂直圖案布置為使得所述第一垂直圖案和所述第二垂直圖案當(dāng)中的三個最相鄰的垂直圖案的中心位于正三角形的頂點(diǎn),以及
所述第二垂直圖案和所述第三垂直圖案布置為使得所述第二垂直圖案和所述第三垂直圖案當(dāng)中的三個最相鄰的垂直圖案的中心位于不等邊三角形的頂點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中所述第二垂直圖案在所述第一方向上從所述第一垂直圖案偏移的距離不同于所述第三垂直圖案在所述第一方向上從所述第二垂直圖案偏移的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其中
所述垂直圖案還包括在所述第一方向上布置的第四垂直圖案,
所述第四垂直圖案與所述第三垂直圖案相鄰,
所述第四垂直圖案在所述第二方向上與所述第三垂直圖案間隔開,
所述第三垂直圖案和所述第四垂直圖案布置為使得所述第三垂直圖案和所述第四垂直圖案當(dāng)中的三個最相鄰的垂直圖案的中心位于第二正三角形的頂點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其中所述第一垂直圖案與所述電極結(jié)構(gòu)的邊緣相鄰。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體器件,其中
所述垂直圖案還包括在所述第一方向上布置的虛設(shè)垂直圖案,
所述虛設(shè)垂直圖案與所述第四垂直圖案相鄰,以及
所述虛設(shè)垂直圖案在所述第二方向上與所述第四垂直圖案間隔開。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其中所述第四垂直圖案和所述虛設(shè)垂直圖案布置為使得所述第四垂直圖案和所述虛設(shè)垂直圖案當(dāng)中的三個最相鄰的垂直圖案的中心位于第三正三角形的頂點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其中所述垂直圖案還包括分別與所述第一垂直圖案、第二垂直圖案、第三垂直圖案和第四垂直圖案關(guān)于所述虛設(shè)垂直圖案對稱地布置的第五垂直圖案、第六垂直圖案、第七垂直圖案和第八垂直圖案。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,還包括:
第一輔助線,分別將所述第三垂直圖案連接至所述第六垂直圖案;以及
第二輔助線,分別將所述第四垂直圖案連接至所述第五垂直圖案,
其中所述第一輔助線和所述第二輔助線具有在所述第二方向上延伸的條狀結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件,其中當(dāng)在平面圖中看時,所述第一輔助線分別交疊所述虛設(shè)垂直圖案。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件,其中所述第一輔助線和所述第二輔助線在所述第一方向上交替地布置。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體器件,還包括:
另外的電極結(jié)構(gòu),在與所述第二方向相反的方向上與所述電極結(jié)構(gòu)間隔開;以及
第三輔助線,其中,
所述另外的電極結(jié)構(gòu)包括與所述電極結(jié)構(gòu)基本上相同的構(gòu)造,以及
所述第三輔助線分別將所述另外的電極結(jié)構(gòu)的第八垂直圖案連接至所述電極結(jié)構(gòu)的所述第一垂直圖案,以及
所述第三輔助線包括在所述第二方向上延伸的條狀結(jié)構(gòu)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體器件,還包括:
第四輔助線,分別將所述另外的電極結(jié)構(gòu)的第七垂直圖案連接至所述電極結(jié)構(gòu)的所述第二垂直圖案,其中
所述第四輔助線包括在所述第二方向上延伸的條狀結(jié)構(gòu)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體器件,還包括:
第一位線、第二位線、第三位線和第四位線,分別連接到所述第一輔助線、第二輔助線、第三輔助線和第四輔助線,
其中所述第一位線、第二位線、第三位線和第四位線在所述第二方向上延伸。
14.一種半導(dǎo)體器件,包括:
基板;
在所述基板上的電極結(jié)構(gòu),所述電極結(jié)構(gòu)在第一方向上延伸,所述電極結(jié)構(gòu)包括地選擇電極、串選擇電極以及順序?qū)盈B在所述地選擇電極和所述串選擇電極之間的單元電極;以及
穿透所述電極結(jié)構(gòu)的多個垂直圖案,所述垂直圖案包括第一垂直圖案和第二垂直圖案,所述第一垂直圖案布置為具有位于至少一個正三角形的頂點(diǎn)處的中心,所述第二垂直圖案布置為具有位于至少一個不等邊三角形的頂點(diǎn)處的中心。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體器件,其中所述第一垂直圖案的所述中心之間的距離是相同的,并且所述第二垂直圖案的中心之間的距離的至少之一不同于所述第一垂直圖案的中心之間的所述距離。
16.一種半導(dǎo)體器件,包括:
基板;
在所述基板上的電極結(jié)構(gòu);
在所述基板上布置成行的垂直圖案,
所述垂直圖案在垂直于所述基板的頂表面的方向上延伸穿過所述電極結(jié)構(gòu),
在所述行的同一行的所述垂直圖案在第一方向上彼此間隔開,
所述垂直圖案包括在第一行的第一垂直圖案、在第二行的第二垂直圖案以及在第三行的第三垂直圖案,
所述第一行至第三行的垂直圖案在第二方向上從所述電極結(jié)構(gòu)的相同邊緣順序地布置,使得在平面圖中,所述第一垂直圖案至第三垂直圖案全部沿所述第二方向延伸穿過所述電極結(jié)構(gòu)的第一半,
兩個相鄰的第一垂直圖案的每個中心與相鄰的第二垂直圖案的中心間隔開一對角距離,該對角距離與所述兩個相鄰的第一垂直圖案的中心在所述第一方向上彼此間隔開的距離相同,
所述垂直圖案包括延伸穿過所述電極結(jié)構(gòu)的垂直圖案的虛設(shè)行,以及
所述第三垂直圖案在所述第二方向上與所述虛設(shè)行的垂直圖案中的相應(yīng)的虛設(shè)垂直圖案間隔開。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體器件,其中
所述垂直圖案還包括在第四行的第四垂直圖案、在第五行的第五垂直圖案、在第六行的第六垂直圖案、在第七行的第七垂直圖案以及在第八行的第八垂直圖案,
所述第四行的垂直圖案在所述虛設(shè)行的垂直圖案與所述第三行的垂直圖案之間,
所述第五行至第八行的垂直圖案在所述第二方向上從所述虛設(shè)行的垂直圖案順序地布置,使得在所述平面圖中,所述第五行至第八行的垂直圖案全部沿所述第二方向延伸穿過所述電極結(jié)構(gòu)的第二半。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導(dǎo)體器件,其中
所述第五垂直圖案、所述第六垂直圖案、所述第七垂直圖案和所述第八垂直圖案分別與所述第一垂直圖案、所述第二垂直圖案、所述第三垂直圖案和所述第四垂直圖案關(guān)于所述虛設(shè)垂直圖案對稱地布置,以及
兩個相鄰的第三垂直圖案的每個中心與鄰近的第二垂直圖案的中心間隔開一對角距離,該對角距離不同于所述兩個相鄰的第三垂直圖案的中心在所述第一方向上彼此間隔開的距離。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導(dǎo)體器件,其中
所述第五垂直圖案、所述第六垂直圖案、所述第七垂直圖案和所述第八垂直圖案分別與所述第一垂直圖案、所述第二垂直圖案、所述第三垂直圖案和所述第四垂直圖案關(guān)于所述虛設(shè)垂直圖案對稱地布置,以及
兩個相鄰的第三垂直圖案的每個中心與鄰近的第二垂直圖案的中心間隔開一對角距離,該對角距離等于所述兩個相鄰的第三垂直圖案的中心在所述第一方向上彼此間隔開的距離。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的半導(dǎo)體器件,還包括:
在所述第二方向上與所述電極結(jié)構(gòu)間隔開的另一電極結(jié)構(gòu);以及
輔助線,其中
所述電極結(jié)構(gòu)是第一電極結(jié)構(gòu)并且所述另一電極結(jié)構(gòu)是第二電極結(jié)構(gòu),
所述垂直圖案包括延伸穿過所述第二電極結(jié)構(gòu)并與延伸穿過所述第一電極結(jié)構(gòu)的所述垂直圖案具有相同布置的另外的垂直圖案,使得所述垂直圖案包括延伸穿過所述第二電極結(jié)構(gòu)的第一至第八垂直圖案以及虛設(shè)垂直圖案,
所述輔助線包括第一輔助線、第二輔助線、第三輔助線以及第四輔助線,
所述第一輔助線每個將所述第一垂直圖案中的延伸穿過所述第一電極的其中一個第一垂直圖案連接到所述第八垂直圖案中的延伸穿過所述第二電極并且在所述第二方向上間隔開的相應(yīng)一個第八垂直圖案,
所述第二輔助線每個將所述第二垂直圖案中的延伸穿過所述第一電極的其中一個第二垂直圖案連接到所述第七垂直圖案中的延伸穿過所述第二電極并且在所述第二方向上間隔開的相應(yīng)一個第七垂直圖案,
所述第三輔助線將延伸穿過所述第一電極的所述第三垂直圖案連接到延伸穿過所述第一電極并且在所述第二方向上間隔開的相應(yīng)的第六垂直圖案,
所述第四輔助線將延伸穿過所述第一電極的所述第四垂直圖案連接到延伸穿過所述第一電極并且在所述第二方向上間隔開的相應(yīng)的第五垂直圖案,以及
當(dāng)在平面圖中看時,所述第三輔助線和第四輔助線跨過所述垂直圖案的行。