1.一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述高頻結(jié)構(gòu)包括螺旋線、夾持桿和管殼;
在與所述螺旋線相對應(yīng)的所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有通過曝光光刻并金屬化的第一金屬化鍍層,所述螺旋線的外側(cè)壁與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接;所述夾持桿的外側(cè)壁與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁連接固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述夾持桿的外側(cè)壁上設(shè)有第二金屬化鍍層,所述夾持桿的外側(cè)壁上的第二金屬化鍍層與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁通過壓力擴散焊連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,在與所述夾持桿相對應(yīng)的所述螺旋線的外側(cè)壁上設(shè)有第三金屬化鍍層;該第三金屬化鍍層與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬化鍍層的厚度為0.5-10μm;所述第二金屬化鍍層的厚度為0.5-10μm;所述第三金屬化鍍層的厚度為1-10μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述管殼為金屬材質(zhì)的管殼。
6.一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,該方法包括如下步驟:
S1、與所述螺旋線相對應(yīng)的夾持桿內(nèi)側(cè)壁曝光光刻,并得到焊點圖形;
S2、圖形化后的夾持桿內(nèi)側(cè)壁金屬化,得到第一金屬化鍍層;
S3、夾持桿內(nèi)側(cè)壁去除剩余光刻膠;
S6、利用定位模具將螺旋線、夾持桿和管殼進行組裝和定位;
S7、利用擠壓法將螺旋線和夾持桿裝配至管殼內(nèi);并通過壓力擴散焊連接獲得一體化高頻結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,該方法進一步的包括如下步驟:
S4、夾持桿的外側(cè)壁金屬化,得到第二金屬化鍍層。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,該方法進一步的包括如下步驟:
S5、與所述夾持桿相對應(yīng)的螺旋線外側(cè)壁金屬化,得到第三金屬化鍍層。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述夾持桿的外側(cè)壁上的第二金屬化鍍層與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁通過壓力擴散焊連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,所述第三金屬化鍍層與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接。