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一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu)及該高頻結(jié)構(gòu)的制備方法與流程

文檔序號:11869295閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述高頻結(jié)構(gòu)包括螺旋線、夾持桿和管殼;

在與所述螺旋線相對應(yīng)的所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有通過曝光光刻并金屬化的第一金屬化鍍層,所述螺旋線的外側(cè)壁與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接;所述夾持桿的外側(cè)壁與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁連接固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述夾持桿的外側(cè)壁上設(shè)有第二金屬化鍍層,所述夾持桿的外側(cè)壁上的第二金屬化鍍層與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁通過壓力擴散焊連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,在與所述夾持桿相對應(yīng)的所述螺旋線的外側(cè)壁上設(shè)有第三金屬化鍍層;該第三金屬化鍍層與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一金屬化鍍層的厚度為0.5-10μm;所述第二金屬化鍍層的厚度為0.5-10μm;所述第三金屬化鍍層的厚度為1-10μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu),其特征在于,所述管殼為金屬材質(zhì)的管殼。

6.一種螺旋線行波管用一體化高頻結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,該方法包括如下步驟:

S1、與所述螺旋線相對應(yīng)的夾持桿內(nèi)側(cè)壁曝光光刻,并得到焊點圖形;

S2、圖形化后的夾持桿內(nèi)側(cè)壁金屬化,得到第一金屬化鍍層;

S3、夾持桿內(nèi)側(cè)壁去除剩余光刻膠;

S6、利用定位模具將螺旋線、夾持桿和管殼進行組裝和定位;

S7、利用擠壓法將螺旋線和夾持桿裝配至管殼內(nèi);并通過壓力擴散焊連接獲得一體化高頻結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,該方法進一步的包括如下步驟:

S4、夾持桿的外側(cè)壁金屬化,得到第二金屬化鍍層。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法,其特征在于,該方法進一步的包括如下步驟:

S5、與所述夾持桿相對應(yīng)的螺旋線外側(cè)壁金屬化,得到第三金屬化鍍層。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,所述夾持桿的外側(cè)壁上的第二金屬化鍍層與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁通過壓力擴散焊連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法,其特征在于,所述第三金屬化鍍層與所述夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上的第一金屬化鍍層通過壓力擴散焊連接。

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