技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種LED電極結(jié)構(gòu)的去除方法，通過物理超聲初步降低金屬電極層與P?GaN層之間的粘附性，然后使用氫氟酸腐蝕掉表面保護(hù)層，最后使用鹽酸與雙氧水的混合溶液去掉金屬電極層中以鉻、鋁金屬為底層的所有金屬(包括鈦、金鈹、金、鉑、銀、鎳、鍺)。本發(fā)明主要利用金屬鋁與稀酸反應(yīng)，特定環(huán)境下將最底層較薄的鉻帶掉，位于鋁頂層的金屬也會(huì)隨著鋁的脫落而脫離本發(fā)明步驟簡(jiǎn)潔，操作簡(jiǎn)單，在不使用專門的鉻腐蝕液、金腐蝕液等的條件下，在完全保證不受損傷的前提下，實(shí)現(xiàn)了整個(gè)金屬電極層的完全有效的腐蝕返工，腐蝕清洗后的LED電極結(jié)構(gòu)表面潔凈，無任何金屬殘?jiān)t層底膜殘留。

技術(shù)研發(fā)人員：徐曉強(qiáng);彭璐;閆寶華;劉琦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：山東浪潮華光光電子股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610488340
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.27
技術(shù)公布日：2016.11.16