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一種LED電極結(jié)構(gòu)的去除方法與流程

文檔序號(hào):11870113閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種LED電極結(jié)構(gòu)的去除方法,通過物理超聲初步降低金屬電極層與P?GaN層之間的粘附性,然后使用氫氟酸腐蝕掉表面保護(hù)層,最后使用鹽酸與雙氧水的混合溶液去掉金屬電極層中以鉻、鋁金屬為底層的所有金屬(包括鈦、金鈹、金、鉑、銀、鎳、鍺)。本發(fā)明主要利用金屬鋁與稀酸反應(yīng),特定環(huán)境下將最底層較薄的鉻帶掉,位于鋁頂層的金屬也會(huì)隨著鋁的脫落而脫離本發(fā)明步驟簡(jiǎn)潔,操作簡(jiǎn)單,在不使用專門的鉻腐蝕液、金腐蝕液等的條件下,在完全保證不受損傷的前提下,實(shí)現(xiàn)了整個(gè)金屬電極層的完全有效的腐蝕返工,腐蝕清洗后的LED電極結(jié)構(gòu)表面潔凈,無任何金屬殘?jiān)t層底膜殘留。

技術(shù)研發(fā)人員:徐曉強(qiáng);彭璐;閆寶華;劉琦
受保護(hù)的技術(shù)使用者:山東浪潮華光光電子股份有限公司
文檔號(hào)碼:201610488340
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.27
技術(shù)公布日:2016.11.16

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