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防打滑硅片傳送裝置的制作方法

文檔序號:11136467閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種防打滑硅片傳送裝置,包括支架和帶輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu),帶輪傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和皮帶,主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均回轉(zhuǎn)支承于支架上,主動(dòng)輪由驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng),主動(dòng)輪通過皮帶與從動(dòng)輪構(gòu)成傳動(dòng),支架上依次設(shè)有清洗盒、擦干盒和風(fēng)機(jī),位于主動(dòng)輪和從動(dòng)輪下方的皮帶穿過清洗盒和擦干盒,風(fēng)機(jī)設(shè)置在皮帶的下方。本發(fā)明的硅片傳送裝置在主動(dòng)輪下方依次設(shè)置清洗盒、擦干盒和風(fēng)機(jī),將硅片掉落在皮帶表面的鋁粉清理干凈,防止硅片在皮帶上傳送時(shí)打滑偏移,提高傳送平穩(wěn)性和效率。

技術(shù)研發(fā)人員:王少華;吳佳俊;吳俊;鄒海軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者:常州億晶光電科技有限公司
文檔號碼:201610475032
技術(shù)研發(fā)日:2016.06.24
技術(shù)公布日:2017.02.15

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