本發(fā)明涉及一種襯套結(jié)構(gòu)，尤其是傳片通道襯套，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體設(shè)備在裝調(diào)時，發(fā)現(xiàn)門閥與傳片腔縫隙之間會有很多顆粒存在，不好清理。長時間顆粒會有集聚爆發(fā)的現(xiàn)象，導(dǎo)致晶圓不合格。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種傳片通道襯套。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：傳片通道襯套，為中空的鏟型結(jié)構(gòu)，在空腔內(nèi)壁上設(shè)有螺孔。

本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊合理，襯套是鋁材料，螺釘選用耐腐蝕的高鎳合金。襯套安裝反應(yīng)腔內(nèi)部，超出傳片腔與閥門縫隙7mm。這樣可以阻擋顆粒進入縫隙內(nèi)，以滿足使用要求。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本發(fā)明安裝在門閥與傳片腔內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部 分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1所示：一種傳片通道襯套，為中空的鏟型結(jié)構(gòu)，在空腔1內(nèi)壁上設(shè)有螺孔2。

通過螺釘將傳片通道襯套3固定在傳片腔5和門閥4之間，可以阻擋顆粒進入到傳片腔5和門閥4之間的縫隙內(nèi)。