技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種像素結(jié)構(gòu)的制造方法。該制造方法包括：于基板上形成柵極及覆蓋柵極的柵絕緣層。于柵絕緣層上形成信道層，信道層的材料包括第一金屬氧化物半導(dǎo)體材料。于信道層的相對(duì)兩側(cè)上形成源極與漏極。于基板上形成覆蓋源極、漏極及信道層的絕緣層，其具有暴露出漏極的開口。于基板上依序形成第一及第二透明電極材料層，其中第一透明電極材料層的材料包括第二金屬氧化物半導(dǎo)體材料，第二透明電極材料層的材料包括金屬氧化物導(dǎo)電材料。利用同一掩模圖案化第一及第二透明電極材料層，以形成第一及第二透明電極層，其中第一透明電極層通過開口與漏極接觸。本發(fā)明的制造方法所制得的像素結(jié)構(gòu)具有良好的電性表現(xiàn)以及可靠度。

技術(shù)研發(fā)人員：張錫明;黃彥余
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中華映管股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.08
技術(shù)公布日：2017.07.18