技術(shù)總結(jié)
諸如基座之類的制品包括熱傳導(dǎo)材料的主體，所述主體由所述主體表面上方的第一保護(hù)層與第二保護(hù)層涂覆。第一保護(hù)層是熱傳導(dǎo)陶瓷。第二保護(hù)層覆蓋第一保護(hù)層，并且是可在650℃溫度下抵抗破裂的耐等離子體的陶瓷薄膜。

技術(shù)研發(fā)人員：V·菲魯茲多爾;B·P·卡農(nóng)戈;J·Y·孫;M·J·薩里納斯;J·A·李
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
文檔號(hào)碼：201580017814
技術(shù)研發(fā)日：2015.04.23
技術(shù)公布日：2016.11.16