技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種具有低線電阻結(jié)構(gòu)的超高密度薄膜晶體管基板及制造方法，其具有在控制顯示裝置的像素的操作的柵極線、公共線、數(shù)據(jù)線中的一個或更多個中的降低的電阻。通過以在柵極線、公共線和/或數(shù)據(jù)線上形成附加金屬層和/或金屬合金層的這樣的方式來獲得減小的電阻，使得這些線的橫截面積增加。因此，在對準(zhǔn)層的摩擦工藝中不引起缺陷的情況下，每一個這樣的線被形成為比其本來獲得的厚度厚。此外，不需要加寬這些線，從而保持設(shè)備的開口率。柵極絕緣層和半導(dǎo)體層也可以被納入到考慮增加線的厚度的設(shè)計中，柵極絕緣層和半導(dǎo)體層部分地構(gòu)成幫助控制設(shè)備的像素的操作的薄膜晶體管。

技術(shù)研發(fā)人員：鄭英敃;申承煥;徐大榮;李素榮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：樂金顯示有限公司
文檔號碼：201511010019
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.29
技術(shù)公布日：2017.01.25