技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種激勵(lì)砷化鎵中金屬原子擴(kuò)散的方法，是在室溫環(huán)境下對(duì)砷化鎵材料或砷化鎵器件進(jìn)行電感耦合等離子體(ICP)處理，激勵(lì)砷化鎵中的金屬原子發(fā)生擴(kuò)散。該方法簡單快捷，在室溫環(huán)境下實(shí)現(xiàn)，不僅可用于改善砷化鎵材料的性能，還可用于改善砷化鎵器件的性能。

技術(shù)研發(fā)人員：秦國剛;李磊;侯瑞祥;姚利;徐萬勁
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京大學(xué)
文檔號(hào)碼：201510977322
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.23
技術(shù)公布日：2017.06.30