技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種上電極組件及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括設(shè)置在腔室蓋板上的介質(zhì)桶、環(huán)繞在該介質(zhì)桶周圍的線圈、用于加熱介質(zhì)桶的加熱機(jī)構(gòu)、上加熱帶和下加熱帶，其中，上加熱帶和下加熱帶分別套設(shè)在介質(zhì)桶的外周壁的頂部和底部，且分別位于線圈的上方和下方。本發(fā)明提供的上電極組件，其不僅可以提高介質(zhì)桶的溫控準(zhǔn)確性和溫度均勻性，而且還可以提高熱傳遞效率，從而可以提高工藝質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：李雪菲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510778993
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.13
技術(shù)公布日：2017.05.24