技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種電感耦合等離子體的處理系統(tǒng)，其包括射頻電源系統(tǒng)，所述射頻電源系統(tǒng)包括源射頻電源系統(tǒng)和偏置射頻電源系統(tǒng)，所述源射頻電源系統(tǒng)包括源射頻電源和源匹配網(wǎng)絡(luò)，所述偏置射頻電源系統(tǒng)包括偏置射頻電源和偏置匹配網(wǎng)絡(luò)，其中，所述源射頻電源為固定頻率的電源，所述偏置射頻電源為調(diào)頻電源，所述源匹配網(wǎng)絡(luò)為自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)，所述偏置匹配網(wǎng)絡(luò)為具有寬頻帶工作的固定匹配網(wǎng)絡(luò)。本發(fā)明提供的電感耦合等離子體處理系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)射頻電源和等離子體之間的阻抗快速準(zhǔn)確地匹配。此外，本發(fā)明還提供了一種電感耦合等離子體的處理方法。

技術(shù)研發(fā)人員：羅偉義;劉驍兵;倪圖強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號(hào)碼：201510253317
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.18
技術(shù)公布日：2017.01.04