技術(shù)編號(hào)：12369633
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體處理設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種電感耦合等離子體處理系統(tǒng)及處理方法。背景技術(shù)電感耦合等離子體處理系統(tǒng)包括射頻電源系統(tǒng)。其中，射頻電源系統(tǒng)包括源射頻電源系統(tǒng)和偏置射頻電源系統(tǒng)。其中，源射頻電源系統(tǒng)和偏置射頻電源系統(tǒng)均包括射頻電源和匹配網(wǎng)絡(luò)兩部分。其中，匹配網(wǎng)絡(luò)在射頻電源和電感耦合等離子體處理設(shè)備的負(fù)載之間，用于根據(jù)負(fù)載阻抗的變化情況，快速調(diào)整相應(yīng)的參數(shù)，使射頻電源和變化的負(fù)載之間一直處于阻抗匹配狀態(tài)。在電感耦合等離子體處理設(shè)備中，負(fù)載為反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體。對(duì)于現(xiàn)有的電感耦合等離子體處理設(shè)...
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