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碳化硅接面能障蕭特基整流器的制作方法

文檔序號(hào):11836934閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種碳化硅接面能障蕭特基整流器,包含一碳化硅基板、一漂移層、一p型摻雜區(qū)域、多個(gè)接面場(chǎng)效應(yīng)區(qū)域、一第一金屬層以及一第二金屬層。所述漂移層設(shè)置于所述碳化硅基板上,所述接面場(chǎng)效應(yīng)區(qū)域設(shè)置于所述漂移層內(nèi),且由所述p型摻雜區(qū)域環(huán)繞,所述第一金屬層設(shè)置于所述漂移層上,所述第二金屬層設(shè)置于所述碳化硅基板遠(yuǎn)離所述漂移層的一側(cè)。本發(fā)明借由于所述接面場(chǎng)效應(yīng)區(qū)域設(shè)置N個(gè)圓區(qū)域以及(N-1)個(gè)連接于兩所述圓區(qū)域之間的連接區(qū)域,利用所述圓區(qū)域及所述連接區(qū)域的幾何特性,有效降低元件的漏電流并提升耐壓,改善現(xiàn)有蕭特基障壁二極管具有較大漏電流的問題。

技術(shù)研發(fā)人員:顏誠(chéng)廷;洪建中;李傳英;李隆盛
受保護(hù)的技術(shù)使用者:瀚薪科技股份有限公司
文檔號(hào)碼:201510162864
技術(shù)研發(fā)日:2015.04.08
技術(shù)公布日:2016.11.23

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