一種新型pecvd上鍍膜載板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型PECVD上鍍膜載板，屬于太陽(yáng)能光伏電池制造【技術(shù)領(lǐng)域】，包括載板本體，載板本體為石墨材質(zhì)的框架形結(jié)構(gòu)，載板本體的邊框內(nèi)沿均為斜面，邊框外沿保持原有的截面，載板本體的內(nèi)角處均設(shè)有卡角，所述卡角為1/4的圓弧板，其兩個(gè)端面與斜面的下端平齊。本實(shí)用新型對(duì)載板邊緣結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化處理，在保證載板承載電池片的前提下，可以減少電池片與載板的接觸范圍，從而減少電池片的紅邊現(xiàn)象，能夠解決電池片片內(nèi)色差問(wèn)題。
【專利說(shuō)明】一種新型PECVD上鍍膜載板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種新型PECVD上鍍膜載板，屬于太陽(yáng)能光伏電池制造【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)電池經(jīng)過(guò)制絨、擴(kuò)散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個(gè)電極。PECVD工序是在硅片表面鍍SiNx(或AlOx/a-Si，等)，而硅片需要特制的載板將硅片放置在載板上再送入PECVD機(jī)臺(tái)，使用氮化硅氣體對(duì)硅片表面進(jìn)行上鍍膜。
[0003]現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池載板式PECVD鍍膜設(shè)備,均米用石墨材質(zhì)的載板,載板厚度較大。目前，在太陽(yáng)能板制造企業(yè)中，載板的邊緣棱角分明，厚度一般在5.0±0.2毫米，由于所使用的硅片厚度為0.2毫米，當(dāng)使用此種上鍍膜載板載入電池片時(shí)，由于載板厚度比電池片厚，當(dāng)使用載板載入硅片進(jìn)行鍍膜時(shí)緊挨硅片邊緣的載板由于厚度較大會(huì)有部分氮化硅沉積受影響而導(dǎo)致沉積的不均勻，使緊貼鍍膜載板的電池片邊緣因沉積的氮化硅厚度較薄而變紅，從而出現(xiàn)色差現(xiàn)象，影響電池外觀，降低了電池片良率和轉(zhuǎn)換效率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種新型PECVD上鍍膜載板，該載板對(duì)其邊緣結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化處理，在保證載板承載電池片的前提下，可以減少電池片與載板的接觸范圍，從而減少電池片的紅邊現(xiàn)象，能夠解決電池片片內(nèi)色差問(wèn)題。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種新型PECVD上鍍膜載板，包括載板本體，所述載板本體為石墨材質(zhì)的框架形結(jié)構(gòu)，其特征在于所述載板本體的邊框內(nèi)沿均為斜面，邊框外沿保持原有的截面，載板本體的內(nèi)角處均設(shè)有卡角，所述卡角為1/4的圓弧板，其兩個(gè)端面與斜面的下端平齊。
[0006]對(duì)上述結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說(shuō)明，處于所述載板本體內(nèi)部的框架，其表面為兩個(gè)對(duì)稱的斜面，兩個(gè)斜面的上端重合。
[0007]對(duì)上述結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說(shuō)明，所述卡角的兩個(gè)直角邊長(zhǎng)相等，并且直角邊與內(nèi)框的長(zhǎng)度比例為:1/10?1/15。
[0008]對(duì)上述結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說(shuō)明，所述斜面的垂直方向高度與所承載的硅片高度相同，斜面的水平方向?qū)挾葹樵蚣軐挾鹊?/2。
[0009]對(duì)上述結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說(shuō)明，所述圓弧板的直角邊向弧形邊中線過(guò)渡中，其板的厚度逐漸減小，使弧形板形成中線處的厚度小于直線邊處厚度。
[0010]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型中載板主體中的棱角進(jìn)行修改，對(duì)其進(jìn)行平面化處理，用平面代替棱角，可以減小PE上鍍膜載板邊緣的厚度，這樣可以減少電池片邊緣附近的石墨載板對(duì)氮化硅沉積的影響，讓電池片充分且均勻的沉積氮化硅，均勻鍍膜，從而改善電池片邊緣紅邊問(wèn)題，減少電池片片內(nèi)色差；本實(shí)用新型中的卡角在保證承載安全的情況下，盡量使其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且與硅片的接觸面積小，因此設(shè)計(jì)為圓弧形結(jié)構(gòu)，并且上下端面與斜邊下邊緣平且，這樣可以保證硅片能夠置于框架內(nèi)部，避免晃動(dòng)，防止損壞硅片；另外，可以把卡角的上下端面設(shè)計(jì)為曲面，從邊緣向中線逐漸減薄，這樣可以使弧形板的上下端面與硅片表面貼合，實(shí)現(xiàn)支撐。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0012]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1中卡角的另一種結(jié)構(gòu)形式；
[0014]其中:1、邊框內(nèi)沿，2、卡角，3、邊框外沿。
【具體實(shí)施方式】
[0015]根據(jù)附圖1可知，本實(shí)用新型具體涉及一種新型PECVD上鍍膜載板，包括載板本體，所述載板本體為石墨材質(zhì)的框架形結(jié)構(gòu)，載板本體的邊框內(nèi)沿I均為斜面，邊框外沿3保持原有的截面，載板本體的內(nèi)角處均設(shè)有卡角2，卡角2為1/4的圓弧板，其上下兩個(gè)端面與斜面的下端平齊，卡角2的兩個(gè)直角邊長(zhǎng)相等，并且直角邊與內(nèi)框的長(zhǎng)度比例為:1/10?1/15。
[0016]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是對(duì)載板棱角分明的邊緣進(jìn)行修改，用斜面代替棱角，處于所述載板本體內(nèi)部的框架，其表面為兩個(gè)對(duì)稱的斜面，兩個(gè)斜面的上端重合。該結(jié)構(gòu)可以減小PE上鍍膜載板邊緣的厚度，在不影響載板裝載電池片后的正常運(yùn)輸，可用此方法減小載板厚度，減少石墨載板邊緣對(duì)氮化硅膜沉積的影響，導(dǎo)致電池片邊緣的色差。
[0017]本實(shí)用新型PECVD鍍膜載板的框架上斜面的垂直方向高度與所承載的硅片高度相同，斜面的水平方向?qū)挾葹樵蚣軐挾鹊?/2。原PECVD上鍍膜載板邊緣厚度為一般為
5.0±0.2毫米，現(xiàn)將其邊緣棱角磨成平角，厚度為4.2±0.2毫米，與卡角同一厚度(此厚度也可根據(jù)電池片要求進(jìn)行更改)?，F(xiàn)本公司所使用的硅片厚度為0.2毫米，當(dāng)使用改后的PECVD上鍍膜載板載入電池片時(shí)，載板邊緣和電池片高度相對(duì)縮小，使用本方案，在載板可以成功載入電池片進(jìn)行正常運(yùn)輸時(shí)，可減少載板邊緣對(duì)電池片附近氮化硅沉積的影響，從而讓電池片充分且均勻的沉積氮化硅，均勻鍍膜，從而改善電池片邊緣紅邊問(wèn)題，減少電池片片內(nèi)色差。
[0018]如附圖2所示，為開(kāi)膠的另一種結(jié)構(gòu)形式，該圓弧板的直角邊向弧形邊中線過(guò)渡中，其板的厚度逐漸減小，使弧形板形成中線處的厚度小于直線邊處厚度。從邊緣向中線逐漸減薄，這樣可以使弧形板的上下端面與硅片表面貼合，實(shí)現(xiàn)支撐，不影響硅片的運(yùn)輸。
【權(quán)利要求】
1.一種新型PECVD上鍍膜載板，包括載板本體,所述載板本體為石墨材質(zhì)的框架形結(jié)構(gòu)，其特征在于所述載板本體的邊框內(nèi)沿(I)均為斜面，邊框外沿(3)保持原有的截面，載板本體的內(nèi)角處均設(shè)有卡角(2)，所述卡角(2)為1/4的圓弧板，其上下兩個(gè)端面與斜面的下端平齊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型PECVD上鍍膜載板，其特征在于處于所述載板本體內(nèi)部的框架，其表面為兩個(gè)對(duì)稱的斜面，兩個(gè)斜面的上端重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種新型PECVD上鍍膜載板，其特征在于所述卡角(2)的兩個(gè)直角邊長(zhǎng)相等，并且直角邊與內(nèi)框的長(zhǎng)度比例為:1/10?1/15。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型PECVD上鍍膜載板，其特征在于所述斜面的垂直方向高度與所承載的硅片高度相同，斜面的水平方向?qū)挾葹樵蚣軐挾鹊?/2。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型PECVD上鍍膜載板，其特征在于所述圓弧板的直角邊向弧形邊中線過(guò)渡中，其板的厚度逐漸減小，使弧形板形成中線處的厚度小于直線邊處厚度。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK203820885SQ201420236062
【公開(kāi)日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年5月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月9日
【發(fā)明者】武同樂(lè), 張金偉, 陳哲 申請(qǐng)人:英利能源（中國(guó)）有限公司