一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，包括制絨槽，制絨槽內(nèi)設(shè)有至少三個反應(yīng)道，反應(yīng)道內(nèi)由上往下依次設(shè)有位于制絨槽內(nèi)藥液液位下方的壓輪與滾輪，硅片在滾輪和壓輪之間移動并制絨；還包括儲液槽，儲液槽通過輸液管將儲液槽內(nèi)的藥液輸送到制絨槽內(nèi)，位于制絨槽內(nèi)的輸液管上設(shè)有若干噴孔，制絨槽通過溢流管以及回流管將制絨槽內(nèi)的藥液輸送到儲液槽內(nèi)，儲液槽內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管與一冰機(jī)形成熱交換，位于制絨槽兩端的反應(yīng)道之間的其他每條反應(yīng)道上各設(shè)有一噴淋裝置。其有益效果：有利于降低制絨槽內(nèi)中間的反應(yīng)道的溫度，從而使制絨槽內(nèi)的溫度均勻，使在制絨槽內(nèi)進(jìn)行制絨過程中的硅片減薄量均勻，顏色分布均勻，成品率高。
【專利說明】一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于晶體硅太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其是一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)的不斷提升，對于太陽能電池產(chǎn)品的質(zhì)量以及成本提出了新的要求。制絨工藝是太陽能電池整個工藝生產(chǎn)線中最為重要的一環(huán)，其目的是為了去除切割后硅片的表面損傷層，同時(shí)通過化學(xué)腐蝕的方法在硅片表面進(jìn)行織構(gòu)化處理，形成良好的陷光效應(yīng)，從而降低硅片表面反射率，提高短路電流，最終提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率。目前，對于鏈?zhǔn)蕉嗑Ч璧闹平q一般都是利用硝酸的強(qiáng)氧化性與氫氟酸的絡(luò)合性，對硅片進(jìn)行氧化和絡(luò)合剝離，導(dǎo)致硅片表面發(fā)生各向同性非均勻性腐蝕，形成蜂窩狀絨面，從而增加入射光的反射次數(shù)，有效增強(qiáng)了入射太陽光的利用率，提高了光生電流密度。目前，鏈?zhǔn)蕉嗑Ч璧闹平q設(shè)備主要采用多個反應(yīng)道同時(shí)進(jìn)行的制絨槽，其缺點(diǎn)在于:由于硝酸、氫氟酸與硅片反應(yīng)時(shí)放出大量熱量，導(dǎo)致制絨槽中心的反應(yīng)道溫度高于其他區(qū)域，而硅片與酸的反應(yīng)速率與溫度成正比關(guān)系，溫度分布不均勻會造成各反應(yīng)道減薄量的不均勻，不均勻減薄會造成不同的比表面積，PE端相同的沉積速率下，不同的比表面積生產(chǎn)不一致的膜厚，最終造成顏色分布離散，影響成品率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，使硅片在正常制絨過程中，各個反應(yīng)道內(nèi)的溫度分布均勻，確保各個反應(yīng)道內(nèi)的硅片減薄量的均勾性，提尚娃片成品率。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，包括制絨槽，所述制絨槽內(nèi)設(shè)有反應(yīng)道，所述反應(yīng)道內(nèi)由上往下依次設(shè)有位于制絨槽內(nèi)藥液液位下方的壓輪與滾輪，硅片在滾輪和壓輪之間移動并進(jìn)行制絨；還包括一儲液槽，所述儲液槽通過一輸液管將儲液槽內(nèi)的藥液輸送到所述制絨槽內(nèi)，位于所述制絨槽內(nèi)的輸液管上設(shè)有若干第一噴孔，所述制絨槽通過溢流管以及回流管將所述制絨槽內(nèi)的藥液輸送到儲液槽內(nèi)，所述儲液槽內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管與一冰機(jī)形成熱交換，所述反應(yīng)道至少有三個，位于制絨槽兩端的反應(yīng)道之間的其他每條反應(yīng)道上各設(shè)有一噴淋
目.ο
[0005]噴淋裝置的一種設(shè)置方式，所述噴淋裝置包括與所述儲液槽相連通的噴淋管道，位于反應(yīng)道上方的噴淋管道上設(shè)有若干第二噴孔，所述第二噴孔位于所述制絨槽內(nèi)的藥液液位上方。
[0006]進(jìn)一步，控制噴淋裝置中低溫藥液的流量，所述噴淋管道上還設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。
[0007]進(jìn)一步，所述噴淋管道通過第一泵浦與所述儲液槽相連接，第一泵浦為噴淋管道提供所述儲液槽內(nèi)的低溫藥液提供動力。
[0008]進(jìn)一步，所述輸液管上設(shè)有第二泵浦，所述第二泵浦為輸液管提供所述儲液槽內(nèi)的低溫藥液提供動力。
[0009]進(jìn)一步，所述輸液管上的若干第一噴孔位于所述滾輪下方。
[0010]進(jìn)一步，所述熱交換毛細(xì)管位于所述儲液槽內(nèi)的藥液液位下方，熱交換效率高。
[0011]進(jìn)一步，所述輸液管上設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)節(jié)通過輸液管噴射的藥液噴射流量。
[0012]儲液槽內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管與冰機(jī)形成熱交換，降低儲液槽內(nèi)的藥液溫度從而形成低溫藥液，硅片與酸在反應(yīng)過程中，釋放出大量熱量，提高了制絨槽藥液的溫度從而形成高溫藥液，為了使制絨槽的各個反應(yīng)道的溫度均勻，通過輸液管以及噴淋管道將儲液槽內(nèi)的低溫藥液噴射到反應(yīng)道上，由于輸液管位于滾輪下方，噴淋管道位于制絨槽的藥液液位上方，可以有效的降低中間的每條反應(yīng)道的溫度，使制絨槽的溫度更均勻。
[0013]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下有益效果:1、通過噴淋管道與輸液管的噴射低溫藥液，有利于降低制絨槽內(nèi)中間的反應(yīng)道的溫度，從而使制絨槽內(nèi)的溫度均勻，使在制絨槽內(nèi)進(jìn)行制絨過程中的硅片減薄量均勻，顏色分布均勻，成品率高；2、整個系統(tǒng)簡單，操作方便，成本低；3、在系統(tǒng)內(nèi)安裝有第一調(diào)節(jié)閥與第二調(diào)節(jié)閥，流量的控制更加可靠，成品率更佳。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是實(shí)施例1中系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0015]圖2是實(shí)施例1中系統(tǒng)的俯視圖。
[0016]圖3是實(shí)施例2中系統(tǒng)的俯視圖。
[0017]圖4是實(shí)施例3中系統(tǒng)的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0019]實(shí)施例1:
[0020]如圖1、2所示，本發(fā)明一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，包括制絨槽1，所述制絨槽I內(nèi)設(shè)有五個反應(yīng)道，所述反應(yīng)道內(nèi)由上往下依次設(shè)有位于制絨槽I內(nèi)藥液液位下方的壓輪2與滾輪3，硅片4在滾輪3和壓輪2之間移動并進(jìn)行制絨；還包括一儲液槽5，所述儲液槽5通過一輸液管6將儲液槽5內(nèi)的藥液輸送到所述制絨槽I內(nèi)，位于所述制絨槽I內(nèi)的輸液管6上設(shè)有若干第一噴孔7，所述第一噴孔7位于所述滾輪3下方，所述輸液管6上設(shè)有第二泵浦14，為輸液管提供所述儲液槽5內(nèi)的低溫藥液提供動力，所述輸液管6上設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥15，用于調(diào)節(jié)通過輸液管6內(nèi)的藥液流量，從而控制第一噴孔7的藥液噴射量，所述制絨槽I通過溢流管8以及回流管9將所述制絨槽I內(nèi)的藥液輸送到儲液槽5內(nèi)，所述儲液槽5內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管10與一冰機(jī)形成熱交換，所述熱交換毛細(xì)管10位于所述儲液槽5內(nèi)的藥液液位下方，位于藥液下方可以提高熱交換效率，位于制絨槽I兩端的反應(yīng)道之間的其他三條反應(yīng)道上各設(shè)有一噴淋裝置。
[0021]本實(shí)施例中，所述噴淋裝置包括與所述儲液槽5相連通的噴淋管道11，位于反應(yīng)道上方的噴淋管道11上設(shè)有若干第二噴孔12，所述第二噴孔12位于所述制絨槽I內(nèi)的藥液液位上方，所述噴淋管道11上還設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥13用于調(diào)節(jié)通過噴淋管道11內(nèi)的藥液流量，從而控制第二噴孔12的藥液噴射量。
[0022]所述噴淋管道11通過第一泵浦13與所述儲液槽5相連接，第一泵浦13為噴淋管道11提供所述儲液槽5內(nèi)的低溫藥液提供動力。
[0023]本實(shí)施例中，第一硅片與第五硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道的溫度較第二、三、四硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道的無難度要低，硅片4與酸反應(yīng)釋放出來的大量的熱量容易積累在第二、三、四硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道上，尤其是第三硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道區(qū)域內(nèi)，因此在第三硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道中間上方設(shè)有噴淋裝置，在第二硅片、第四硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道上的遠(yuǎn)離制絨槽I中間的一側(cè)上設(shè)有噴淋裝置，可以有效的降低第二、第三、第四硅片所應(yīng)反應(yīng)道內(nèi)的溫度，從而使制絨槽I內(nèi)的溫度更加均勻，硅片4的成品率更高。
[0024]本實(shí)施例的原理如下:儲液槽5內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管10與冰機(jī)形成熱交換，降低儲液槽5內(nèi)的藥液溫度從而形成低溫藥液，硅片4與酸在反應(yīng)過程中，釋放出大量熱量，提高了制絨槽I藥液的溫度從而形成高溫藥液，為了使制絨槽I的各個反應(yīng)道的溫度均勻，通過輸液管6以及噴淋管道11將儲液槽內(nèi)的低溫藥液噴射到反應(yīng)道上，由于輸液管6位于滾輪3下方，噴淋管道11位于制絨槽I的藥液液位上方，可以有效的降低中間的每條反應(yīng)道的溫度，使制絨槽I的溫度更均勻，硅片4的成品率更好。
[0025]實(shí)施例2:
[0026]如圖3所示，本實(shí)施例中，所述制絨槽I內(nèi)設(shè)有三條反應(yīng)道，在第二硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道中間設(shè)有噴淋裝置，其他同實(shí)施例1.
[0027]實(shí)施例3:
[0028]如圖4所示，本實(shí)施例中，所述制絨槽I內(nèi)設(shè)有十條反應(yīng)道，在第五硅片與第六硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道的中間以及第二、三、四、七、八、九硅片所對應(yīng)的反應(yīng)道遠(yuǎn)離制絨槽中間的一側(cè)上設(shè)有噴淋裝置，其他同實(shí)施例1。
【權(quán)利要求】
1.一種用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，包括制絨槽，所述制絨槽內(nèi)設(shè)有反應(yīng)道，所述反應(yīng)道內(nèi)由上往下依次設(shè)有位于制絨槽內(nèi)藥液液位下方的壓輪與滾輪，硅片在滾輪和壓輪之間移動并進(jìn)行制絨；還包括一儲液槽，所述儲液槽通過一輸液管將儲液槽內(nèi)的藥液輸送到所述制絨槽內(nèi)，位于所述制絨槽內(nèi)的輸液管上設(shè)有若干第一噴孔，所述制絨槽通過溢流管以及回流管將所述制絨槽內(nèi)的藥液輸送到儲液槽內(nèi)，所述儲液槽內(nèi)的藥液通過熱交換毛細(xì)管與一冰機(jī)形成熱交換，其特征在于:所述反應(yīng)道至少有三個，位于制絨槽兩端的反應(yīng)道之間的其他每條反應(yīng)道上各設(shè)有一噴淋裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述噴淋裝置包括與所述儲液槽相連通的噴淋管道，位于反應(yīng)道上方的噴淋管道上設(shè)有若干第二噴孔，所述第二噴孔位于所述制絨槽內(nèi)的藥液液位上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述噴淋管道上還設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述噴淋管道通過第一泵浦與所述儲液槽相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述輸液管上設(shè)有第二泵浦。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述輸液管上的若干第一噴孔位于所述滾輪下方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述熱交換毛細(xì)管位于所述儲液槽內(nèi)的藥液液位下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的用于調(diào)節(jié)硅片制絨槽內(nèi)減薄量均勻性的系統(tǒng)，其特征在于:所述輸液管上進(jìn)一步設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥。
【文檔編號】H01L31/18GK104465878SQ201410771098
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月11日
【發(fā)明者】陳波, 崔紅星, 張文鋒, 胡應(yīng)全, 林海峰 申請人:東方日升新能源股份有限公司